12 అంగుళాల SIC సబ్స్ట్రేట్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రైమ్ గ్రేడ్ వ్యాసం 300 మిమీ పెద్ద పరిమాణం 4H-N అధిక శక్తి పరికరం వేడి వెదజల్లడానికి అనువైనది
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
1. అధిక ఉష్ణ వాహకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత సిలికాన్ కంటే 3 రెట్లు ఎక్కువ, ఇది అధిక శక్తి పరికర ఉష్ణ వెదజల్లడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
2. అధిక విచ్ఛిన్న క్షేత్ర బలం: విచ్ఛిన్న క్షేత్ర బలం సిలికాన్ కంటే 10 రెట్లు, అధిక పీడన అనువర్తనాలకు అనువైనది.
3.వైడ్ బ్యాండ్గ్యాప్: బ్యాండ్గ్యాప్ 3.26EV (4H-SIC), ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పౌన frequency పున్య అనువర్తనాలకు అనువైనది.
4. అధిక కాఠిన్యం: మోహ్స్ కాఠిన్యం 9.2, రెండవది డైమండ్, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలం.
5. రసాయన స్థిరత్వం: బలమైన తుప్పు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన వాతావరణంలో స్థిరమైన పనితీరు.
6. పెద్ద పరిమాణం: 12 అంగుళాల (300 మిమీ) ఉపరితలం, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి, యూనిట్ ఖర్చును తగ్గించండి.
7. తక్కువ లోపం సాంద్రత: తక్కువ లోపం సాంద్రత మరియు అధిక స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అధిక నాణ్యత గల సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ టెక్నాలజీ.
ఉత్పత్తి ప్రధాన అనువర్తన దిశ
1. పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్:
మోస్ఫెట్స్: ఎలక్ట్రిక్ వాహనాలు, ఇండస్ట్రియల్ మోటార్ డ్రైవ్లు మరియు పవర్ కన్వర్టర్లలో ఉపయోగిస్తారు.
డయోడ్లు: షాట్కీ డయోడ్లు (ఎస్బిడి) వంటివి, సమర్థవంతమైన సరిదిద్దడానికి మరియు విద్యుత్ సరఫరాకు మారడానికి ఉపయోగిస్తారు.
2. RF పరికరాలు:
RF పవర్ యాంప్లిఫైయర్: 5G కమ్యూనికేషన్ బేస్ స్టేషన్లు మరియు ఉపగ్రహ సమాచార మార్పిడిలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మైక్రోవేవ్ పరికరాలు: రాడార్ మరియు వైర్లెస్ కమ్యూనికేషన్ సిస్టమ్లకు అనువైనది.
3. కొత్త శక్తి వాహనాలు:
ఎలక్ట్రిక్ డ్రైవ్ సిస్టమ్స్: ఎలక్ట్రిక్ వాహనాల కోసం మోటార్ కంట్రోలర్లు మరియు ఇన్వర్టర్లు.
ఛార్జింగ్ పైల్: ఫాస్ట్ ఛార్జింగ్ పరికరాల కోసం పవర్ మాడ్యూల్.
4. పారిశ్రామిక అనువర్తనాలు:
అధిక వోల్టేజ్ ఇన్వర్టర్: పారిశ్రామిక మోటార్ కంట్రోల్ మరియు ఎనర్జీ మేనేజ్మెంట్ కోసం.
స్మార్ట్ గ్రిడ్: హెచ్విడిసి ట్రాన్స్మిషన్ మరియు పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ ట్రాన్స్ఫార్మర్స్ కోసం.
5. ఏరోస్పేస్:
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఎలక్ట్రానిక్స్: ఏరోస్పేస్ పరికరాల అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలకు అనువైనది.
6. పరిశోధన క్షేత్రం:
వైడ్ బ్యాండ్గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ రీసెర్చ్: కొత్త సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు మరియు పరికరాల అభివృద్ధి కోసం.
12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ అనేది అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ సబ్స్ట్రేట్, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత, అధిక విచ్ఛిన్న క్షేత్ర బలం మరియు వైడ్ బ్యాండ్ గ్యాప్ వంటి అద్భుతమైన లక్షణాలతో ఉంటుంది. ఇది పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరాలు, కొత్త శక్తి వాహనాలు, పారిశ్రామిక నియంత్రణ మరియు ఏరోస్పేస్లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది మరియు తరువాతి తరం సమర్థవంతమైన మరియు అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల అభివృద్ధిని ప్రోత్సహించడానికి ఇది ఒక ముఖ్య పదార్థం.
సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్లు ప్రస్తుతం AR గ్లాసెస్ వంటి వినియోగదారు ఎలక్ట్రానిక్స్లో తక్కువ ప్రత్యక్ష అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్నప్పటికీ, సమర్థవంతమైన విద్యుత్ నిర్వహణ మరియు సూక్ష్మీకరించిన ఎలక్ట్రానిక్లలో వాటి సామర్థ్యం భవిష్యత్ AR/VR పరికరాల కోసం తేలికపాటి, అధిక-పనితీరు గల విద్యుత్ సరఫరా పరిష్కారాలకు తోడ్పడుతుంది. ప్రస్తుతం, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలం యొక్క ప్రధాన అభివృద్ధి కొత్త ఇంధన వాహనాలు, కమ్యూనికేషన్ మౌలిక సదుపాయాలు మరియు పారిశ్రామిక ఆటోమేషన్ వంటి పారిశ్రామిక రంగాలలో కేంద్రీకృతమై ఉంది మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమను మరింత సమర్థవంతమైన మరియు నమ్మదగిన దిశలో అభివృద్ధి చేయడానికి ప్రోత్సహిస్తుంది.
XKH అధిక నాణ్యత గల 12 "SIC ఉపరితలాలను సమగ్ర సాంకేతిక మద్దతు మరియు సేవలతో అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, వీటితో సహా:
1. అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి: కస్టమర్ ప్రకారం వేర్వేరు రెసిస్టివిటీ, క్రిస్టల్ ధోరణి మరియు ఉపరితల చికిత్స ఉపరితలం అందించాలి.
2. ప్రాసెస్ ఆప్టిమైజేషన్: ఉత్పత్తి పనితీరును మెరుగుపరచడానికి వినియోగదారులకు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల, పరికర తయారీ మరియు ఇతర ప్రక్రియల యొక్క సాంకేతిక మద్దతును అందించండి.
3. పరీక్ష మరియు ధృవీకరణ: ఉపరితలం పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉండేలా కఠినమైన లోపం గుర్తింపు మరియు నాణ్యత ధృవీకరణను అందించండి.
4.R & D సహకారం: సాంకేతిక ఆవిష్కరణలను ప్రోత్సహించడానికి వినియోగదారులతో కొత్త సిలికాన్ కార్బైడ్ పరికరాలను సంయుక్తంగా అభివృద్ధి చేయండి.
డేటా చార్ట్
1 2 అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) సబ్స్ట్రేట్ స్పెసిఫికేషన్ | |||||
గ్రేడ్ | ZEROMPD ఉత్పత్తి Z గ్రేడ్ | ప్రామాణిక ఉత్పత్తి పి గ్రేడ్ | డమ్మీ గ్రేడ్ (డి గ్రేడ్) | ||
వ్యాసం | 3 0 0 మిమీ ~ 1305 మిమీ | ||||
మందం | 4 హెచ్-ఎన్ | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
4 హెచ్-సి | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
పొర ధోరణి | ఆఫ్ యాక్సిస్: 4.0 ° వైపు <1120> ± 0.5 ° 4H-N కి, అక్షం మీద: <0001> ± 0.5 ° 4H-Si కోసం | ||||
మైక్రోపైప్ సాంద్రత | 4 హెచ్-ఎన్ | ≤0.4 సెం.మీ -2 | ≤4cm-2 | ≤25 సెం.మీ -2 | |
4 హెచ్-సి | ≤5cm-2 | ≤10 సెం.మీ -2 | ≤25 సెం.మీ -2 | ||
రెసిస్టివిటీ | 4 హెచ్-ఎన్ | 0.015 ~ 0.024 · · cm | 0.015 ~ 0.028 · · cm | ||
4 హెచ్-సి | ≥1E10 · · cm | ≥1e5 · · cm | |||
ప్రాధమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | {10-10} ± 5.0 ° | ||||
ప్రాధమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 4 హెచ్-ఎన్ | N/a | |||
4 హెచ్-సి | నాచ్ | ||||
అంచు మినహాయింపు | 3 మిమీ | ||||
LTV/TTV/BOW/WARP | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
కరుకుదనం | పోలిష్ RA≤1 nm | ||||
CMP RA≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా అంచు పగుళ్లు అధిక తీవ్ర కాంతి ద్వారా హెక్స్ ప్లేట్లు అధిక తీవ్ర కాంతి ద్వారా పాలిటైప్ ప్రాంతాలు విజువల్ కార్బన్ చేరికలు అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితలం గీతలు | ఏదీ లేదు సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% ఏదీ లేదు సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు ≤ 20 మిమీ, సింగిల్ పొడవు 2 మిమీ సంచిత ప్రాంతం ≤0.1% సంచిత ఏరియా ≤3% సంచిత ప్రాంతం ≤3% సంచిత పొడవు 1 × పొర వ్యాసం | |||
అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా అంచు చిప్స్ | ఏదీ ≥0.2 మిమీ వెడల్పు మరియు లోతు అనుమతించలేదు | 7 అనుమతించబడింది, ఒక్కొక్కటి mm1 మిమీ | |||
(TSD) థ్రెడింగ్ స్క్రూ తొలగుట | ≤500 సెం.మీ -2 | N/a | |||
(బిపిడి) బేస్ విమానం తొలగుట | ≤1000 సెం.మీ -2 | N/a | |||
అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | ||||
ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వాఫర్ క్యాసెట్ లేదా సింగిల్ పొర కంటైనర్ | ||||
గమనికలు: | |||||
1 లోపాలు పరిమితులు ఎడ్జ్ మినహాయింపు ప్రాంతం మినహా మొత్తం పొర ఉపరితలానికి వర్తిస్తాయి. 2 గీతలు SI ముఖం మీద మాత్రమే తనిఖీ చేయాలి. స్థానభ్రంశం డేటా కోహ్ ఎచెడ్ పొరల నుండి మాత్రమే. |
12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలాల పురోగతిని పెద్ద పరిమాణంలో, తక్కువ లోపాలు మరియు అధిక అనుగుణ్యతతో ప్రోత్సహించడానికి XKH పరిశోధన మరియు అభివృద్ధిలో పెట్టుబడులు పెడుతుంది, అయితే XKH దాని అనువర్తనాలను వినియోగదారు ఎలక్ట్రానిక్స్ (AR/VR పరికరాల కోసం పవర్ మాడ్యూల్స్ వంటివి) మరియు క్వాంటం కంప్యూటింగ్ వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న ప్రాంతాలలో అన్వేషిస్తుంది. ఖర్చులను తగ్గించడం మరియు సామర్థ్యాన్ని పెంచడం ద్వారా, XKH సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు శ్రేయస్సును తెస్తుంది.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం


