12 అంగుళాల SIC సబ్స్ట్రేట్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రైమ్ గ్రేడ్ వ్యాసం 300mm పెద్ద సైజు 4H-N అధిక శక్తి పరికరం వేడి వెదజల్లడానికి అనుకూలం
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
1. అధిక ఉష్ణ వాహకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత సిలికాన్ కంటే 3 రెట్లు ఎక్కువ, ఇది అధిక శక్తి పరికర ఉష్ణ వెదజల్లడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
2. అధిక బ్రేక్డౌన్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంత్: బ్రేక్డౌన్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంత్ సిలికాన్ కంటే 10 రెట్లు ఎక్కువ, అధిక పీడన అనువర్తనాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
3.వైడ్ బ్యాండ్గ్యాప్: బ్యాండ్గ్యాప్ 3.26eV (4H-SiC), అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక ఫ్రీక్వెన్సీ అనువర్తనాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
4. అధిక కాఠిన్యం: మోహ్స్ కాఠిన్యం 9.2, వజ్రం తర్వాత రెండవది, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలం.
5. రసాయన స్థిరత్వం: బలమైన తుప్పు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన వాతావరణంలో స్థిరమైన పనితీరు.
6. పెద్ద పరిమాణం: 12 అంగుళాల (300 మిమీ) ఉపరితలం, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది, యూనిట్ ఖర్చును తగ్గిస్తుంది.
7.తక్కువ లోప సాంద్రత: తక్కువ లోప సాంద్రత మరియు అధిక స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అధిక నాణ్యత గల సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల సాంకేతికత.
ఉత్పత్తి ప్రధాన అనువర్తన దిశ
1. పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్:
మోస్ఫెట్స్: ఎలక్ట్రిక్ వాహనాలు, పారిశ్రామిక మోటార్ డ్రైవ్లు మరియు పవర్ కన్వర్టర్లలో ఉపయోగించబడుతుంది.
డయోడ్లు: షాట్కీ డయోడ్లు (SBD) వంటివి, సమర్థవంతమైన సరిదిద్దడం మరియు విద్యుత్ సరఫరాలను మార్చడం కోసం ఉపయోగించబడతాయి.
2. Rf పరికరాలు:
Rf పవర్ యాంప్లిఫైయర్: 5G కమ్యూనికేషన్ బేస్ స్టేషన్లు మరియు ఉపగ్రహ కమ్యూనికేషన్లలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మైక్రోవేవ్ పరికరాలు: రాడార్ మరియు వైర్లెస్ కమ్యూనికేషన్ వ్యవస్థలకు అనుకూలం.
3. కొత్త శక్తి వాహనాలు:
ఎలక్ట్రిక్ డ్రైవ్ సిస్టమ్స్: ఎలక్ట్రిక్ వాహనాల కోసం మోటార్ కంట్రోలర్లు మరియు ఇన్వర్టర్లు.
ఛార్జింగ్ పైల్: ఫాస్ట్ ఛార్జింగ్ పరికరాల కోసం పవర్ మాడ్యూల్.
4. పారిశ్రామిక అనువర్తనాలు:
అధిక వోల్టేజ్ ఇన్వర్టర్: పారిశ్రామిక మోటార్ నియంత్రణ మరియు శక్తి నిర్వహణ కోసం.
స్మార్ట్ గ్రిడ్: HVDC ట్రాన్స్మిషన్ మరియు పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ ట్రాన్స్ఫార్మర్ల కోసం.
5. ఏరోస్పేస్:
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఎలక్ట్రానిక్స్: అంతరిక్ష పరికరాల అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలకు అనుకూలం.
6. పరిశోధన రంగం:
వైడ్ బ్యాండ్గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ పరిశోధన: కొత్త సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు మరియు పరికరాల అభివృద్ధి కోసం.
12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ అనేది అధిక ఉష్ణ వాహకత, అధిక బ్రేక్డౌన్ ఫీల్డ్ బలం మరియు వైడ్ బ్యాండ్ గ్యాప్ వంటి అద్భుతమైన లక్షణాలతో కూడిన ఒక రకమైన అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ సబ్స్ట్రేట్. ఇది పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరాలు, కొత్త శక్తి వాహనాలు, పారిశ్రామిక నియంత్రణ మరియు ఏరోస్పేస్లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు తదుపరి తరం సమర్థవంతమైన మరియు అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల అభివృద్ధిని ప్రోత్సహించడానికి కీలకమైన పదార్థం.
సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్లు ప్రస్తుతం AR గ్లాసెస్ వంటి వినియోగదారు ఎలక్ట్రానిక్స్లో తక్కువ ప్రత్యక్ష అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్నప్పటికీ, సమర్థవంతమైన విద్యుత్ నిర్వహణ మరియు సూక్ష్మీకరించిన ఎలక్ట్రానిక్స్లో వాటి సామర్థ్యం భవిష్యత్ AR/VR పరికరాల కోసం తేలికైన, అధిక-పనితీరు గల విద్యుత్ సరఫరా పరిష్కారాలకు మద్దతు ఇవ్వగలదు. ప్రస్తుతం, సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ప్రధాన అభివృద్ధి కొత్త శక్తి వాహనాలు, కమ్యూనికేషన్ మౌలిక సదుపాయాలు మరియు పారిశ్రామిక ఆటోమేషన్ వంటి పారిశ్రామిక రంగాలలో కేంద్రీకృతమై ఉంది మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమను మరింత సమర్థవంతమైన మరియు నమ్మదగిన దిశలో అభివృద్ధి చేయడానికి ప్రోత్సహిస్తుంది.
XKH సమగ్ర సాంకేతిక మద్దతు మరియు సేవలతో అధిక నాణ్యత గల 12 "SIC సబ్స్ట్రేట్లను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, వీటిలో ఇవి ఉన్నాయి:
1. అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి: కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా విభిన్న రెసిస్టివిటీ, క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్ మరియు ఉపరితల చికిత్స ఉపరితలాన్ని అందించాలి.
2. ప్రాసెస్ ఆప్టిమైజేషన్: ఉత్పత్తి పనితీరును మెరుగుపరచడానికి ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల, పరికరాల తయారీ మరియు ఇతర ప్రక్రియల సాంకేతిక మద్దతును వినియోగదారులకు అందించండి.
3. పరీక్ష మరియు ధృవీకరణ: సబ్స్ట్రేట్ పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉందని నిర్ధారించుకోవడానికి కఠినమైన లోపాల గుర్తింపు మరియు నాణ్యత ధృవీకరణను అందించండి.
4. పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి సహకారం: సాంకేతిక ఆవిష్కరణలను ప్రోత్సహించడానికి వినియోగదారులతో కలిసి కొత్త సిలికాన్ కార్బైడ్ పరికరాలను అభివృద్ధి చేయడం.
డేటా చార్ట్
1 2 అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సబ్స్ట్రేట్ స్పెసిఫికేషన్ | |||||
గ్రేడ్ | జీరోఎంపిడి ఉత్పత్తి గ్రేడ్ (Z గ్రేడ్) | ప్రామాణిక ఉత్పత్తి గ్రేడ్ (పి గ్రేడ్) | డమ్మీ గ్రేడ్ (డి గ్రేడ్) | ||
వ్యాసం | 3 0 0 మిమీ~305 మిమీ | ||||
మందం | 4H-ఎన్ | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI తెలుగు in లో | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
వేఫర్ ఓరియంటేషన్ | 4H-N కి ఆఫ్ అక్షం: 4.0° <1120 >±0.5° వైపు, 4H-SI కి ఆన్ అక్షం: <0001> 4H-SI కి ±0.5° | ||||
మైక్రోపైప్ సాంద్రత | 4H-ఎన్ | ≤0.4సెం.మీ-2 | ≤4సెం.మీ-2 | ≤25 సెం.మీ-2 | |
4H-SI తెలుగు in లో | ≤5సెం.మీ-2 | ≤10సెం.మీ-2 | ≤25 సెం.మీ-2 | ||
నిరోధకత | 4H-ఎన్ | 0.015~0.024 Ω·సెం.మీ | 0.015~0.028 Ω·సెం.మీ | ||
4H-SI తెలుగు in లో | ≥1E10 Ω·సెం.మీ. | ≥1E5 Ω·సెం.మీ. | |||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | {10-10} ±5.0° | ||||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 4H-ఎన్ | వర్తించదు | |||
4H-SI తెలుగు in లో | నాచ్ | ||||
అంచు మినహాయింపు | 3 మిమీ | ||||
LTV/TTV/బో/వార్ప్ | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
కరుకుదనం | పోలిష్ Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | రా≤0.5 ఎన్ఎమ్ | ||||
అధిక తీవ్రత కాంతి వల్ల అంచు పగుళ్లు హై ఇంటెన్సిటీ లైట్ ద్వారా హెక్స్ ప్లేట్లు అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా పాలిటైప్ ప్రాంతాలు విజువల్ కార్బన్ చేరికలు అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల గీతలు | ఏదీ లేదు సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% ఏదీ లేదు సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు ≤ 20 మిమీ, ఒకే పొడవు ≤ 2 మిమీ సంచిత ప్రాంతం ≤0.1% సంచిత ప్రాంతం≤3% సంచిత ప్రాంతం ≤3% సంచిత పొడవు≤1×వేఫర్ వ్యాసం | |||
హై ఇంటెన్సిటీ లైట్ ద్వారా ఎడ్జ్ చిప్స్ | వెడల్పు మరియు లోతు ≥0.2mm కంటే తక్కువ ఉండకూడదు. | 7 అనుమతించబడ్డాయి, ఒక్కొక్కటి ≤1 మి.మీ. | |||
(TSD) థ్రెడింగ్ స్క్రూ డిస్లోకేషన్ | ≤500 సెం.మీ-2 | వర్తించదు | |||
(BPD) బేస్ ప్లేన్ డిస్లోకేషన్ | ≤1000 సెం.మీ-2 | వర్తించదు | |||
అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | ||||
ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ లేదా సింగిల్ వేఫర్ కంటైనర్ | ||||
గమనికలు: | |||||
1 అంచు మినహాయింపు ప్రాంతం మినహా మొత్తం వేఫర్ ఉపరితలానికి లోపాల పరిమితులు వర్తిస్తాయి. 2 గీతలను Si ముఖంపై మాత్రమే తనిఖీ చేయాలి. 3 డిస్లోకేషన్ డేటా KOH ఎచెడ్ వేఫర్ల నుండి మాత్రమే. |
పెద్ద పరిమాణం, తక్కువ లోపాలు మరియు అధిక స్థిరత్వం కలిగిన 12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ల పురోగతిని ప్రోత్సహించడానికి XKH పరిశోధన మరియు అభివృద్ధిలో పెట్టుబడి పెట్టడం కొనసాగిస్తుంది, అయితే XKH వినియోగదారు ఎలక్ట్రానిక్స్ (AR/VR పరికరాల కోసం పవర్ మాడ్యూల్స్ వంటివి) మరియు క్వాంటం కంప్యూటింగ్ వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న రంగాలలో దాని అనువర్తనాలను అన్వేషిస్తుంది. ఖర్చులను తగ్గించడం మరియు సామర్థ్యాన్ని పెంచడం ద్వారా, XKH సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు శ్రేయస్సును తెస్తుంది.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం


