150mm 200mm 6inch 8inch GaN ఆన్ సిలికాన్ Epi-లేయర్ వేఫర్ గాలియం నైట్రైడ్ ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్
తయారీ పద్ధతి
తయారీ ప్రక్రియలో మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపాజిషన్ (MOCVD) లేదా మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE) వంటి అధునాతన పద్ధతులను ఉపయోగించి నీలమణి ఉపరితలంపై GaN పొరలను పెంచడం జరుగుతుంది. అధిక క్రిస్టల్ నాణ్యత మరియు ఏకరీతి ఫిల్మ్ను నిర్ధారించడానికి నిక్షేపణ ప్రక్రియ నియంత్రిత పరిస్థితులలో నిర్వహించబడుతుంది.
6 అంగుళాల GaN-ఆన్-సఫైర్ అప్లికేషన్లు: 6-అంగుళాల నీలమణి సబ్స్ట్రేట్ చిప్లను మైక్రోవేవ్ కమ్యూనికేషన్లు, రాడార్ సిస్టమ్లు, వైర్లెస్ టెక్నాలజీ మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్లో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తున్నారు.
కొన్ని సాధారణ అనువర్తనాల్లో ఇవి ఉన్నాయి
1. Rf పవర్ యాంప్లిఫైయర్
2. LED లైటింగ్ పరిశ్రమ
3. వైర్లెస్ నెట్వర్క్ కమ్యూనికేషన్ పరికరాలు
4. అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు
5. ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు
ఉత్పత్తి వివరాలు
- పరిమాణం: ఉపరితల వ్యాసం 6 అంగుళాలు (సుమారు 150 మిమీ).
- ఉపరితల నాణ్యత: అద్భుతమైన అద్దాల నాణ్యతను అందించడానికి ఉపరితలం చక్కగా పాలిష్ చేయబడింది.
- మందం: GaN పొర యొక్క మందాన్ని నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించవచ్చు.
- ప్యాకేజింగ్: రవాణా సమయంలో నష్టాన్ని నివారించడానికి సబ్స్ట్రేట్ను యాంటీ-స్టాటిక్ పదార్థాలతో జాగ్రత్తగా ప్యాక్ చేస్తారు.
- పొజిషనింగ్ అంచులు: సబ్స్ట్రేట్ నిర్దిష్ట పొజిషనింగ్ అంచులను కలిగి ఉంటుంది, ఇవి పరికర తయారీ సమయంలో అమరిక మరియు ఆపరేషన్ను సులభతరం చేస్తాయి.
- ఇతర పారామితులు: సన్నబడటం, నిరోధకత మరియు డోపింగ్ ఏకాగ్రత వంటి నిర్దిష్ట పారామితులను కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా సర్దుబాటు చేయవచ్చు.
వాటి ఉన్నతమైన పదార్థ లక్షణాలు మరియు విభిన్న అనువర్తనాలతో, 6-అంగుళాల నీలమణి ఉపరితల వేఫర్లు వివిధ పరిశ్రమలలో అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ పరికరాల అభివృద్ధికి నమ్మదగిన ఎంపిక.
సబ్స్ట్రేట్ | 6” 1mm <111> p-రకం Si | 6” 1mm <111> p-రకం Si |
ఎపి థిక్అవజ్ | ~5um | ~7um |
ఎపి థిక్యూనిఫ్ | <% | <% |
విల్లు | +/- 45 మిమీ | +/- 45 మిమీ |
పగుళ్లు | <5మి.మీ | <5మి.మీ |
వర్టికల్ బివి | >1000వి | >1400వి |
HEMT అల్% | 25-35% | 25-35% |
HEMT మందమైన సగటు | 20-30 ఎన్ఎమ్ | 20-30 ఎన్ఎమ్ |
ఇన్సిటు సిన్ క్యాప్ | 5-60 ఎన్ఎమ్ | 5-60 ఎన్ఎమ్ |
2DEG కాన్క్. | ~10 ~1013cm-2 | ~10 ~1013cm-2 |
మొబిలిటీ | ~2000 సెం.మీ2/Vs (<2%) | ~2000 సెం.మీ2/Vs (<2%) |
రుష్ | <330ఓం/చదరపు అడుగు (<2%) | <330ఓం/చదరపు అడుగు (<2%) |
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం

