క్యారియర్ C-ప్లేన్ DSP TTV కోసం 156mm 159mm 6 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్
స్పెసిఫికేషన్
అంశం | 6-అంగుళాల సి-ప్లేన్(0001) నీలమణి వేఫర్లు | |
క్రిస్టల్ మెటీరియల్స్ | 99,999%, అధిక స్వచ్ఛత, మోనోక్రిస్టలైన్ Al2O3 | |
గ్రేడ్ | ప్రైమ్, ఎపి-రెడీ | |
ఉపరితల విన్యాసం | సి-ప్లేన్(0001) | |
M-అక్షం 0.2 +/- 0.1° వైపు C-ప్లేన్ ఆఫ్-కోణం | ||
వ్యాసం | 100.0 మిమీ +/- 0.1 మిమీ | |
మందం | 650 μm +/- 25 μm | |
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | సి-ప్లేన్(00-01) +/- 0.2° | |
సింగిల్ సైడ్ పాలిష్ చేయబడింది | ముందు ఉపరితలం | ఎపి-పాలిష్డ్, Ra < 0.2 nm (AFM ద్వారా) |
(ఎస్.ఎస్.పి) | వెనుక ఉపరితలం | మెత్తటి నేల, Ra = 0.8 μm నుండి 1.2 μm |
డబుల్ సైడ్ పాలిష్ చేయబడింది | ముందు ఉపరితలం | ఎపి-పాలిష్డ్, Ra < 0.2 nm (AFM ద్వారా) |
(డిఎస్పి) | వెనుక ఉపరితలం | ఎపి-పాలిష్డ్, Ra < 0.2 nm (AFM ద్వారా) |
టీటీవీ | < 20 μm | |
విల్లు | < 20 μm | |
వార్ప్ | < 20 μm | |
శుభ్రపరచడం / ప్యాకేజింగ్ | క్లాస్ 100 క్లీన్రూమ్ క్లీనింగ్ మరియు వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్, | |
ఒక క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ లేదా సింగిల్ పీస్ ప్యాకేజింగ్లో 25 ముక్కలు. |
కైలోపౌలోస్ పద్ధతి (KY పద్ధతి) ప్రస్తుతం చైనాలోని అనేక కంపెనీలు ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు ఆప్టిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం నీలమణి స్ఫటికాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగిస్తున్నాయి.
ఈ ప్రక్రియలో, అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ను 2100 డిగ్రీల సెల్సియస్ కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఒక క్రూసిబుల్లో కరిగించబడుతుంది. సాధారణంగా క్రూసిబుల్ టంగ్స్టన్ లేదా మాలిబ్డినంతో తయారు చేయబడుతుంది. కరిగిన అల్యూమినాలో ఖచ్చితంగా ఆధారితమైన విత్తన స్ఫటికం మునిగిపోతుంది. విత్తన స్ఫటికం నెమ్మదిగా పైకి లాగబడుతుంది మరియు ఏకకాలంలో తిప్పవచ్చు. ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత, లాగడం రేటు మరియు శీతలీకరణ రేటును ఖచ్చితంగా నియంత్రించడం ద్వారా, కరిగే నుండి పెద్ద, సింగిల్-స్ఫటిక, దాదాపు స్థూపాకార ఇంగోట్ను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు.
సింగిల్ క్రిస్టల్ నీలమణి కడ్డీలు పెరిగిన తర్వాత, వాటిని స్థూపాకార రాడ్లలోకి రంధ్రం చేస్తారు, తరువాత వాటిని కావలసిన కిటికీ మందానికి కత్తిరించి చివరకు కావలసిన ఉపరితల ముగింపుకు పాలిష్ చేస్తారు.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం


