2 అంగుళాల SiC ఇంగోట్ డయా50.8mmx10mmt 4H-N మోనోక్రిస్టల్
SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ టెక్నాలజీ
SiC యొక్క లక్షణాలు సింగిల్ స్ఫటికాలను పెంచడాన్ని కష్టతరం చేస్తాయి. వాతావరణ పీడనం వద్ద Si : C = 1 : 1 యొక్క స్టోయికియోమెట్రిక్ నిష్పత్తితో ద్రవ దశ లేకపోవడం మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క ప్రధానమైన డైరెక్ట్ డ్రాయింగ్ పద్ధతి మరియు ఫాలింగ్ క్రూసిబుల్ పద్ధతి వంటి మరింత పరిణతి చెందిన వృద్ధి పద్ధతుల ద్వారా Si : C = 1 : 1 యొక్క స్టోయికియోమెట్రిక్ నిష్పత్తితో ఒక పరిష్కారం పొందడం సాధ్యం కాకపోవడం దీనికి ప్రధాన కారణం. సిద్ధాంతపరంగా, ఒత్తిడి 10E5atm కంటే ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు మరియు ఉష్ణోగ్రత 3200℃ కంటే ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు మాత్రమే పొందవచ్చు. ప్రస్తుతం, ప్రధాన స్రవంతి పద్ధతుల్లో PVT పద్ధతి, ద్రవ-దశ పద్ధతి మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆవిరి-దశ రసాయన నిక్షేపణ పద్ధతి ఉన్నాయి.
మేము అందించే SiC వేఫర్లు మరియు స్ఫటికాలు ప్రధానంగా భౌతిక ఆవిరి రవాణా (PVT) ద్వారా పెంచబడతాయి మరియు PVT కి సంక్షిప్త పరిచయం ఇక్కడ ఉంది:
భౌతిక ఆవిరి రవాణా (PVT) పద్ధతి 1955లో లెలీ కనిపెట్టిన గ్యాస్-ఫేజ్ సబ్లిమేషన్ టెక్నిక్ నుండి ఉద్భవించింది, దీనిలో SiC పౌడర్ను గ్రాఫైట్ ట్యూబ్లో ఉంచి అధిక ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయడం ద్వారా SiC పౌడర్ కుళ్ళిపోయి సబ్లిమేట్ అవుతుంది, ఆపై గ్రాఫైట్ ట్యూబ్ చల్లబడుతుంది మరియు SiC పౌడర్ యొక్క కుళ్ళిపోయిన గ్యాస్-ఫేజ్ భాగాలు గ్రాఫైట్ ట్యూబ్ చుట్టుపక్కల ప్రాంతంలో SiC స్ఫటికాలుగా నిక్షేపించబడి స్ఫటికీకరించబడతాయి. ఈ పద్ధతి పెద్ద-పరిమాణ SiC సింగిల్ స్ఫటికాలను పొందడం కష్టం మరియు గ్రాఫైట్ ట్యూబ్ లోపల నిక్షేపణ ప్రక్రియను నియంత్రించడం కష్టం అయినప్పటికీ, ఇది తదుపరి పరిశోధకులకు ఆలోచనలను అందిస్తుంది.
రష్యాలో YM టైరోవ్ మరియు ఇతరులు ఈ ప్రాతిపదికన సీడ్ క్రిస్టల్ భావనను ప్రవేశపెట్టారు, ఇది SiC స్ఫటికాల యొక్క అనియంత్రిత క్రిస్టల్ ఆకారం మరియు న్యూక్లియేషన్ స్థానం యొక్క సమస్యను పరిష్కరించింది. తరువాతి పరిశోధకులు మెరుగుపరచడం కొనసాగించారు మరియు చివరికి నేడు పారిశ్రామికంగా ఉపయోగించే భౌతిక ఆవిరి బదిలీ (PVT) పద్ధతిని అభివృద్ధి చేశారు.
తొలి SiC క్రిస్టల్ పెరుగుదల పద్ధతిగా, PVT ప్రస్తుతం SiC స్ఫటికాలకు అత్యంత ప్రధాన స్రవంతి వృద్ధి పద్ధతి. ఇతర పద్ధతులతో పోలిస్తే, ఈ పద్ధతి వృద్ధి పరికరాలు, సరళమైన వృద్ధి ప్రక్రియ, బలమైన నియంత్రణ, సమగ్ర అభివృద్ధి మరియు పరిశోధనలకు తక్కువ అవసరాలను కలిగి ఉంది మరియు ఇప్పటికే పారిశ్రామికీకరించబడింది.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం



