8అంగుళాల SiC ఉత్పత్తి గ్రేడ్ పొర 4H-N SiC సబ్‌స్ట్రేట్

8అంగుళాల SiC ప్రొడక్షన్ గ్రేడ్ వేఫర్ 4H-N SiC సబ్‌స్ట్రేట్ ఫీచర్ చేయబడిన చిత్రం

సంక్షిప్త వివరణ:

8-అంగుళాల SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు పవర్ MOSFETలు (మెటల్ ఆక్సైడ్ సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్ ఎఫెక్ట్ ట్రాన్సిస్టర్‌లు), షాట్కీ డయోడ్‌లు మరియు ఇతర పవర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల వంటి అధిక-పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడతాయి.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

కింది పట్టిక మా 8inch SiC పొరల స్పెసిఫికేషన్‌లను చూపుతుంది:

8అంగుళాల N-రకం SiC DSP స్పెక్స్
సంఖ్య	అంశం	యూనిట్	ఉత్పత్తి	పరిశోధన	డమ్మీ
1:పారామితులు
1.1	పాలీటైప్	--	4H	4H	4H
1.2	ఉపరితల ధోరణి	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:ఎలక్ట్రికల్ పరామితి
2.1	డోపాంట్	--	n-రకం నైట్రోజన్	n-రకం నైట్రోజన్	n-రకం నైట్రోజన్
2.2	రెసిస్టివిటీ	ఓం · సెం.మీ	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3:మెకానికల్ పరామితి
3.1	వ్యాసం	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	మందం	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	నాచ్ ఓరియంటేషన్	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	నాచ్ లోతు	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10మిమీ*10మిమీ)	≤5(10మిమీ*10మిమీ)	≤10(10మిమీ*10మిమీ)
3.6	టిటివి	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	విల్లు	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	వార్ప్	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	రా≤0.2	రా≤0.2	రా≤0.2
4: నిర్మాణం
4.1	మైక్రోపైప్ సాంద్రత	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	మెటల్ కంటెంట్	అణువులు/సెం2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.ముందు నాణ్యత
5.1	ముందు	--	Si	Si	Si
5.2	ఉపరితల ముగింపు	--	Si-ఫేస్ CMP	Si-ఫేస్ CMP	Si-ఫేస్ CMP
5.3	కణం	ea/wafer	≤100(పరిమాణం≥0.3μm)	NA	NA
5.4	స్క్రాచ్	ea/wafer	≤5,మొత్తం పొడవు≤200mm	NA	NA
5.5	అంచు చిప్స్ / ఇండెంట్లు / పగుళ్లు / మరకలు / కాలుష్యం	--	ఏదీ లేదు	ఏదీ లేదు	NA
5.6	పాలీటైప్ ప్రాంతాలు	--	ఏదీ లేదు	ప్రాంతం ≤10%	ప్రాంతం ≤30%
5.7	ముందు మార్కింగ్	--	ఏదీ లేదు	ఏదీ లేదు	ఏదీ లేదు
6: వెనుక నాణ్యత
6.1	తిరిగి ముగింపు	--	సి-ఫేస్ ఎంపీ	సి-ఫేస్ ఎంపీ	సి-ఫేస్ ఎంపీ
6.2	స్క్రాచ్	mm	NA	NA	NA
6.3	వెనుక లోపాలు అంచు చిప్స్/ఇండెంట్లు	--	ఏదీ లేదు	ఏదీ లేదు	NA
6.4	వెనుక కరుకుదనం	nm	రా≤5	రా≤5	రా≤5
6.5	వెనుక మార్కింగ్	--	గీత	గీత	గీత
7: అంచు
7.1	అంచు	--	చాంఫెర్	చాంఫెర్	చాంఫెర్
8:ప్యాకేజీ
8.1	ప్యాకేజింగ్	--	వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్	వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్	వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్
8.2	ప్యాకేజింగ్	--	బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్	బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్	బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్