8 అంగుళాల SiC ప్రొడక్షన్ గ్రేడ్ వేఫర్ 4H-N SiC సబ్‌స్ట్రేట్
కింది పట్టిక మా 8 అంగుళాల SiC వేఫర్‌ల స్పెసిఫికేషన్‌లను చూపుతుంది:
| 8 అంగుళాల N-రకం SiC DSP స్పెక్స్ | |||||
| సంఖ్య | అంశం | యూనిట్ | ఉత్పత్తి | పరిశోధన | నకిలీ |
| 1: పారామితులు | |||||
| 1.1 समानिक समानी स्तुत्र | బహురూపం | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ఉపరితల ధోరణి | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: విద్యుత్ పరామితి | |||||
| 2.1 प्रकालिक | డోపాంట్ | -- | n-రకం నైట్రోజన్ | n-రకం నైట్రోజన్ | n-రకం నైట్రోజన్ |
| 2.2 प्रविकारिका 2.2 प्रविका 2.2 प्रविक | నిరోధకత | ఓం ·సెం.మీ. | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: యాంత్రిక పరామితి | |||||
| 3.1 | వ్యాసం | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | మందం | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | నాచ్ ఓరియంటేషన్ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | నాచ్ డెప్త్ | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | ఎల్‌టివి | μm | ≤5(10మిమీ*10మిమీ) | ≤5(10మిమీ*10మిమీ) | ≤10(10మిమీ*10మిమీ) |
| 3.6 | టీటీవీ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7. | విల్లు | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | వార్ప్ | μm | ≤30 ≤30 | ≤50 ≤50 మి.లీ. | ≤70 |
| 3.9 ఐరన్ | ఎఎఫ్ఎమ్ | nm | రా≤0.2 | రా≤0.2 | రా≤0.2 |
| 4: నిర్మాణం | |||||
| 4.1 अनुक्षित | మైక్రోపైప్ సాంద్రత | ea/సెం.మీ2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 ≤50 మి.లీ. |
| 4.2 अगिराला | లోహ పదార్థం | అణువులు/సెం.మీ2 | ≤1E11 అనేది 1E11 కి సమానం. | ≤1E11 అనేది 1E11 కి సమానం. | NA |
| 4.3 | టిఎస్‌డి | ea/సెం.మీ2 | ≤500 ≤500 | ≤1000 ≤1000 | NA |
| 4.4 अगिराला | బిపిడి | ea/సెం.మీ2 | ≤2000 ≤2000 | ≤5000 వరకు | NA |
| 4.5 अगिराला | టెడ్ | ea/సెం.మీ2 | ≤7000 ఖర్చు | ≤10000 | NA |
| 5. ముందు నాణ్యత | |||||
| 5.1 अनुक्षित | ముందు | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 अगिरिका | ఉపరితల ముగింపు | -- | సి-ఫేస్ CMP | సి-ఫేస్ CMP | సి-ఫేస్ CMP |
| 5.3 अनुक्षित | కణం | ea/వేఫర్ | ≤100(పరిమాణం≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 अगिराला | స్క్రాచ్ | ea/వేఫర్ | ≤5, మొత్తం పొడవు≤200mm | NA | NA |
| 5.5 अनुक्षित | అంచు చిప్స్/ఇండెంట్స్/పగుళ్లు/మరకలు/కాలుష్యం | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | NA |
| 5.6 अगिरिका | పాలీటైప్ ప్రాంతాలు | -- | ఏదీ లేదు | విస్తీర్ణం ≤10% | విస్తీర్ణం ≤30% |
| 5.7 अनुक्षित | ముందు మార్కింగ్ | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
| 6: వెనుక నాణ్యత | |||||
| 6.1 6.1 తెలుగు | బ్యాక్ ఫినిష్ | -- | సి-ఫేస్ MP | సి-ఫేస్ MP | సి-ఫేస్ MP |
| 6.2 6.2 తెలుగు | స్క్రాచ్ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 अनुक्षित | వెనుక లోపాల అంచు చిప్స్/ఇండెంట్లు | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | NA |
| 6.4 अग्रिका | వెనుక కరుకుదనం | nm | రా≤5 | రా≤5 | రా≤5 |
| 6.5 6.5 తెలుగు | వెనుక గుర్తు | -- | నాచ్ | నాచ్ | నాచ్ |
| 7: అంచు | |||||
| 7.1 | అంచు | -- | చాంఫర్ | చాంఫర్ | చాంఫర్ |
| 8: ప్యాకేజీ | |||||
| 8.1 अनुक्षित | ప్యాకేజింగ్ | -- | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-రెడీ ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-రెడీ ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-రెడీ ప్యాకేజింగ్ |
| 8.2 | ప్యాకేజింగ్ | -- | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ |
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
మీ సందేశాన్ని ఇక్కడ వ్రాసి మాకు పంపండి.