8అంగుళాల సిలికాన్ పొర P/N-రకం (100) 1-100Ω డమ్మీ రీక్లెయిమ్ సబ్స్ట్రేట్
పొర పెట్టె పరిచయం
8-అంగుళాల సిలికాన్ పొర అనేది సాధారణంగా ఉపయోగించే సిలికాన్ సబ్స్ట్రేట్ మెటీరియల్ మరియు ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల తయారీ ప్రక్రియలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇటువంటి సిలికాన్ పొరలను సాధారణంగా మైక్రోప్రాసెసర్లు, మెమరీ చిప్స్, సెన్సార్లు మరియు ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలతో సహా వివిధ రకాల ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లను తయారు చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. 8-అంగుళాల సిలికాన్ పొరలు సాధారణంగా సాపేక్షంగా పెద్ద పరిమాణాల చిప్లను తయారు చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు, పెద్ద ఉపరితల వైశాల్యం మరియు ఒకే సిలికాన్ పొరపై ఎక్కువ చిప్లను తయారు చేయగల సామర్థ్యంతో సహా ప్రయోజనాలు, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచుతాయి. 8-అంగుళాల సిలికాన్ పొర కూడా మంచి యాంత్రిక మరియు రసాయన లక్షణాలను కలిగి ఉంది, ఇది పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఉత్పత్తికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
8" P/N రకం, పాలిష్ సిలికాన్ పొర (25 pcs)
దిశ: 200
రెసిస్టివిటీ: 0.1 - 40 ohm•cm (ఇది బ్యాచ్ నుండి బ్యాచ్కి మారవచ్చు)
మందం: 725+/-20um
ప్రైమ్/మానిటర్/టెస్ట్ గ్రేడ్
మెటీరియల్ ప్రాపర్టీస్
పరామితి | లక్షణం |
రకం/డోపాంట్ | పి, బోరాన్ ఎన్, ఫాస్పరస్ ఎన్, ఆంటిమోనీ ఎన్, ఆర్సెనిక్ |
దిశలు | <100>, <111> కస్టమర్ స్పెసిఫికేషన్ల ప్రకారం స్లైస్ ఆఫ్ ఓరియంటేషన్లు |
ఆక్సిజన్ కంటెంట్ | 1019కస్టమర్ స్పెసిఫికేషన్ ప్రకారం ppmA కస్టమ్ టాలరెన్స్లు |
కార్బన్ కంటెంట్ | < 0.6 ppmA |
మెకానికల్ ప్రాపర్టీస్
పరామితి | ప్రధాన | మానిటర్/టెస్ట్ ఎ | పరీక్ష |
వ్యాసం | 200 ± 0.2మి.మీ | 200 ± 0.2మి.మీ | 200 ± 0.5 మిమీ |
మందం | 725±20µm (ప్రామాణికం) | 725±25µm(ప్రామాణికం) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (ప్రామాణికం) |
టిటివి | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
విల్లు | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
చుట్టు | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
ఎడ్జ్ రౌండింగ్ | SEMI-STD | ||
మార్కింగ్ | ప్రాథమిక SEMI-ఫ్లాట్ మాత్రమే, SEMI-STD ఫ్లాట్లు జీడా ఫ్లాట్, నాచ్ |
పరామితి | ప్రధాన | మానిటర్/టెస్ట్ ఎ | పరీక్ష |
ఫ్రంట్ సైడ్ క్రైటీరియా | |||
ఉపరితల పరిస్థితి | రసాయన మెకానికల్ పాలిష్ | రసాయన మెకానికల్ పాలిష్ | రసాయన మెకానికల్ పాలిష్ |
ఉపరితల కరుకుదనం | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
కాలుష్యం పార్టికల్స్@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
పొగమంచు, గుంటలు ఆరెంజ్ పై తొక్క | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
సా, మార్కులు స్ట్రైషన్స్ | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
వెనుక వైపు ప్రమాణాలు | |||
పగుళ్లు, కాకులు, రంపపు గుర్తులు, మరకలు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
ఉపరితల పరిస్థితి | కాస్టిక్ చెక్కబడింది |