డయా300x1.0mmt మందం నీలమణి వేఫర్ C-ప్లేన్ SSP/DSP
వేఫర్ బాక్స్ పరిచయం
క్రిస్టల్ మెటీరియల్స్ | 99,999% Al2O3, అధిక స్వచ్ఛత, మోనోక్రిస్టలైన్, Al2O3 | |||
క్రిస్టల్ నాణ్యత | చేరికలు, బ్లాక్ మార్కులు, కవలలు, రంగు, సూక్ష్మ బుడగలు మరియు వ్యాప్తి కేంద్రాలు ఉనికిలో లేవు. | |||
వ్యాసం | 2 అంగుళాలు | 3 అంగుళాలు | 4 అంగుళాలు | 6 అంగుళాలు ~ 12 అంగుళాలు |
50.8± 0.1మి.మీ | 76.2±0.2మి.మీ | 100±0.3మి.మీ | ప్రామాణిక ఉత్పత్తి నిబంధనలకు అనుగుణంగా | |
మందం | 430±15µమీ | 550±15µమీ | 650±20µమీ | కస్టమర్ ద్వారా అనుకూలీకరించవచ్చు |
దిశానిర్దేశం | C- ప్లేన్ (0001) నుండి M- ప్లేన్ (1-100) లేదా A- ప్లేన్ (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R- ప్లేన్ (1-1 0 2), A- ప్లేన్ (1 1-2 0 ), M- ప్లేన్ (1-1 0 0), ఏదైనా ఓరియంటేషన్, ఏదైనా కోణం | |||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 16.0±1మి.మీ | 22.0±1.0మి.మీ | 32.5±1.5 మి.మీ | ప్రామాణిక ఉత్పత్తి నిబంధనలకు అనుగుణంగా |
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | A-ప్లేన్ (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
టీటీవీ | ≤10µమీ | ≤15µమీ | ≤20µమీ | ≤30µమీ |
ఎల్టివి | ≤10µమీ | ≤15µమీ | ≤20µమీ | ≤30µమీ |
టిఐఆర్ | ≤10µమీ | ≤15µమీ | ≤20µమీ | ≤30µమీ |
విల్లు | ≤10µమీ | ≤15µమీ | ≤20µమీ | ≤30µమీ |
వార్ప్ | ≤10µమీ | ≤15µమీ | ≤20µమీ | ≤30µమీ |
ముందు ఉపరితలం | ఎపి-పాలిష్డ్ (Ra< 0.2nm) |
*విల్లు: రిఫరెన్స్ ప్లేన్ నుండి స్వేచ్ఛగా, బిగించబడని వేఫర్ యొక్క మధ్యస్థ ఉపరితలం యొక్క మధ్య బిందువు యొక్క విచలనం, ఇక్కడ రిఫరెన్స్ ప్లేన్ సమబాహు త్రిభుజం యొక్క మూడు మూలల ద్వారా నిర్వచించబడుతుంది.
*వార్ప్: పైన నిర్వచించిన రిఫరెన్స్ ప్లేన్ నుండి స్వేచ్ఛా, బిగించబడని వేఫర్ యొక్క మధ్యస్థ ఉపరితలం యొక్క గరిష్ట మరియు కనిష్ట దూరాల మధ్య వ్యత్యాసం.
తదుపరి తరం సెమీకండక్టర్ పరికరాలు మరియు ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి కోసం అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులు మరియు సేవలు:
అధిక స్థాయి ఫ్లాట్నెస్ (నియంత్రిత TTV, విల్లు, వార్ప్ మొదలైనవి)
అధిక-నాణ్యత శుభ్రపరచడం (తక్కువ కణ కాలుష్యం, తక్కువ లోహ కాలుష్యం)
సబ్స్ట్రేట్ డ్రిల్లింగ్, గ్రూవింగ్, కటింగ్ మరియు బ్యాక్సైడ్ పాలిషింగ్
ఉపరితల శుభ్రత మరియు ఆకారం వంటి డేటా అటాచ్మెంట్ (ఐచ్ఛికం)
మీకు నీలమణి ఉపరితలాల అవసరం ఉంటే, దయచేసి సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి:
మెయిల్:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
మేము వీలైనంత త్వరగా మీ వద్దకు తిరిగి వస్తాము!
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం

