డబుల్ స్టేషన్ స్క్వేర్ మెషిన్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ రాడ్ ప్రాసెసింగ్ 6/8/12 అంగుళాల ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ Ra≤0.5μm
సామగ్రి లక్షణాలు:
(1) డబుల్ స్టేషన్ సింక్రోనస్ ప్రాసెసింగ్
· రెట్టింపు సామర్థ్యం: రెండు సిలికాన్ రాడ్లను (Ø6"-12") ఏకకాలంలో ప్రాసెస్ చేయడం వల్ల సింప్లెక్స్ పరికరాలతో పోలిస్తే ఉత్పాదకత 40%-60% పెరుగుతుంది.
· స్వతంత్ర నియంత్రణ: ప్రతి స్టేషన్ వివిధ సిలికాన్ రాడ్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా కటింగ్ పారామితులను (టెన్షన్, ఫీడ్ వేగం) స్వతంత్రంగా సర్దుబాటు చేయగలదు.
(2) అధిక-ఖచ్చితమైన కట్టింగ్
· డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం: చదరపు బార్ సైడ్ దూరం టాలరెన్స్ ± 0.15mm, పరిధి ≤ 0.20mm.
· ఉపరితల నాణ్యత: అత్యాధునిక అంచు విచ్ఛిన్నం <0.5mm, తదుపరి గ్రైండింగ్ మొత్తాన్ని తగ్గించండి.
(3) తెలివైన నియంత్రణ
· అడాప్టివ్ కటింగ్: సిలికాన్ రాడ్ పదనిర్మాణం యొక్క నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ, కటింగ్ మార్గం యొక్క డైనమిక్ సర్దుబాటు (బెంట్ సిలికాన్ రాడ్ను ప్రాసెస్ చేయడం వంటివి).
· డేటా ట్రేసబిలిటీ: MES సిస్టమ్ డాకింగ్కు మద్దతు ఇవ్వడానికి ప్రతి సిలికాన్ రాడ్ యొక్క ప్రాసెసింగ్ పారామితులను రికార్డ్ చేయండి.
(4) తక్కువ వినియోగ వ్యయం
· డైమండ్ వైర్ వినియోగం: ≤0.06మీ/మిమీ (సిలికాన్ రాడ్ పొడవు), వైర్ వ్యాసం ≤0.30మిమీ.
· శీతలకరణి ప్రసరణ: వడపోత వ్యవస్థ సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు వ్యర్థ ద్రవ పారవేయడాన్ని తగ్గిస్తుంది.
సాంకేతికత మరియు అభివృద్ధి ప్రయోజనాలు:
(1) కట్టింగ్ టెక్నాలజీ ఆప్టిమైజేషన్
- బహుళ-లైన్ కటింగ్: 100-200 డైమండ్ లైన్లు సమాంతరంగా ఉపయోగించబడతాయి మరియు కటింగ్ వేగం ≥40mm/నిమిషం.
- టెన్షన్ కంట్రోల్: వైర్ విరిగిపోయే ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి క్లోజ్డ్ లూప్ సర్దుబాటు వ్యవస్థ (±1N).
(2) అనుకూలత పొడిగింపు
- మెటీరియల్ అడాప్టేషన్: TOPCon, HJT మరియు ఇతర అధిక సామర్థ్యం గల బ్యాటరీ సిలికాన్ రాడ్లకు అనుకూలమైన P-రకం/N-రకం మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్కు మద్దతు ఇస్తుంది.
- ఫ్లెక్సిబుల్ సైజు: సిలికాన్ రాడ్ పొడవు 100-950mm, చదరపు రాడ్ వైపు దూరం 166-233mm సర్దుబాటు.
(3) ఆటోమేషన్ అప్గ్రేడ్
- రోబోట్ లోడింగ్ మరియు అన్లోడింగ్: సిలికాన్ రాడ్ల ఆటోమేటిక్ లోడింగ్/అన్లోడింగ్, ≤3 నిమిషాలు బీట్ చేయండి.
- ఇంటెలిజెంట్ డయాగ్నస్టిక్స్: ప్రణాళిక లేని డౌన్టైమ్ను తగ్గించడానికి ప్రిడిక్టివ్ మెయింటెనెన్స్.
(4) పరిశ్రమ నాయకత్వం
- వేఫర్ సపోర్ట్: చదరపు రాడ్లతో ≥100μm అల్ట్రా-సన్నని సిలికాన్ను ప్రాసెస్ చేయగలదు, ఫ్రాగ్మెంటేషన్ రేటు <0.5%.
- శక్తి వినియోగ ఆప్టిమైజేషన్: సిలికాన్ రాడ్ యూనిట్కు శక్తి వినియోగం 30% తగ్గింది (సాంప్రదాయ పరికరాలతో పోలిస్తే).
సాంకేతిక పారామితులు:
పరామితి పేరు | సూచిక విలువ |
ప్రాసెస్ చేయబడిన బార్ల సంఖ్య | 2 ముక్కలు/సెట్ |
ప్రాసెసింగ్ బార్ పొడవు పరిధి | 100~950మి.మీ |
యంత్ర మార్జిన్ పరిధి | 166~233మి.మీ |
కట్టింగ్ వేగం | ≥40మి.మీ/నిమి |
డైమండ్ వైర్ వేగం | 0~35మీ/సె |
వజ్ర వ్యాసం | 0.30 మిమీ లేదా అంతకంటే తక్కువ |
లీనియర్ వినియోగం | 0.06 మీ/మిమీ లేదా అంతకంటే తక్కువ |
అనుకూలమైన రౌండ్ రాడ్ వ్యాసం | పూర్తయిన చదరపు రాడ్ వ్యాసం +2mm, పాలిషింగ్ పాస్ రేటును నిర్ధారించుకోండి. |
అత్యాధునిక విచ్ఛిన్న నియంత్రణ | ముడి అంచు ≤0.5mm, చిప్పింగ్ లేదు, అధిక ఉపరితల నాణ్యత |
ఆర్క్ పొడవు ఏకరూపత | ప్రొజెక్షన్ పరిధి <1.5mm, సిలికాన్ రాడ్ వక్రీకరణ తప్ప |
యంత్ర కొలతలు (ఒకే యంత్రం) | 4800×3020×3660మి.మీ |
మొత్తం రేట్ చేయబడిన శక్తి | 56 కిలోవాట్ |
పరికరాల నిర్జీవ బరువు | 12టన్ |
యంత్ర ఖచ్చితత్వ సూచిక పట్టిక:
ఖచ్చితమైన అంశం | సహన పరిధి |
చతురస్ర బార్ మార్జిన్ టాలరెన్స్ | ±0.15మి.మీ |
చతురస్ర పట్టీ అంచు పరిధి | ≤0.20మి.మీ |
చతురస్ర కడ్డీ యొక్క అన్ని వైపులా కోణం | 90°±0.05° |
చతురస్రాకార కడ్డీ యొక్క చదునుతనం | ≤0.15మి.మీ |
రోబోట్ పునరావృత స్థాన ఖచ్చితత్వం | ±0.05మి.మీ |
XKH సేవలు:
XKH మోనో-స్ఫటికాకార సిలికాన్ డ్యూయల్-స్టేషన్ యంత్రాలకు పూర్తి-చక్ర సేవలను అందిస్తుంది, వీటిలో పరికరాల అనుకూలీకరణ (పెద్ద సిలికాన్ రాడ్లతో అనుకూలమైనది), ప్రాసెస్ కమీషనింగ్ (కటింగ్ పారామీటర్ ఆప్టిమైజేషన్), ఆపరేషనల్ శిక్షణ మరియు అమ్మకాల తర్వాత మద్దతు (కీలక భాగాల సరఫరా, రిమోట్ డయాగ్నసిస్), కస్టమర్లు అధిక దిగుబడిని (> 99%) మరియు తక్కువ వినియోగ ఖర్చు ఉత్పత్తిని సాధించేలా చూసుకోవడం మరియు సాంకేతిక అప్గ్రేడ్లను అందించడం (AI కటింగ్ ఆప్టిమైజేషన్ వంటివి) ఉన్నాయి. డెలివరీ వ్యవధి 2-4 నెలలు.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం



