పూర్తిగా ఆటోమేటిక్ వేఫర్ రింగ్-కటింగ్ ఎక్విప్మెంట్ వర్కింగ్ సైజు 8అంగుళాలు/12అంగుళాల వేఫర్ రింగ్ కటింగ్
సాంకేతిక పారామితులు
పరామితి | యూనిట్ | స్పెసిఫికేషన్ |
గరిష్ట వర్క్పీస్ పరిమాణం | mm | ø12" |
కుదురు | ఆకృతీకరణ | సింగిల్ స్పిండిల్ |
వేగం | 3,000–60,000 rpm | |
అవుట్పుట్ పవర్ | 30,000 నిమిషాలకు 1.8 kW (2.4 ఐచ్ఛికం)⁻¹ | |
మాక్స్ బ్లేడ్ డయా. | Ø58 మి.మీ. | |
ఎక్స్-యాక్సిస్ | కట్టింగ్ రేంజ్ | 310 మి.మీ. |
Y-యాక్సిస్ | కట్టింగ్ రేంజ్ | 310 మి.మీ. |
దశల పెరుగుదల | 0.0001 మి.మీ. | |
స్థాన ఖచ్చితత్వం | ≤0.003 మిమీ/310 మిమీ, ≤0.002 మిమీ/5 మిమీ (ఒకే లోపం) | |
Z-యాక్సిస్ | కదలిక స్పష్టత | 0.00005 మి.మీ. |
పునరావృతం | 0.001 మి.మీ. | |
θ-అక్షం | గరిష్ట భ్రమణం | 380 డిగ్రీలు |
స్పిండిల్ రకం | రింగ్ కటింగ్ కోసం దృఢమైన బ్లేడుతో కూడిన సింగిల్ స్పిండిల్ | |
రింగ్-కటింగ్ ఖచ్చితత్వం | μm | ±50 |
వేఫర్ పొజిషనింగ్ ఖచ్చితత్వం | μm | ±50 |
సింగిల్-వేఫర్ సామర్థ్యం | నిమిషం/వేఫర్ | 8 |
మల్టీ-వేఫర్ సామర్థ్యం | ఒకేసారి 4 వేఫర్లు ప్రాసెస్ చేయబడతాయి | |
సామగ్రి బరువు | kg | ≈3,200 |
సామగ్రి కొలతలు (W×D×H) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
ఆపరేటింగ్ సూత్రం
ఈ ప్రధాన సాంకేతికతల ద్వారా ఈ వ్యవస్థ అసాధారణమైన ట్రిమ్మింగ్ పనితీరును సాధిస్తుంది:
1.ఇంటెలిజెంట్ మోషన్ కంట్రోల్ సిస్టమ్:
· హై-ప్రెసిషన్ లీనియర్ మోటార్ డ్రైవ్ (రిపీట్ పొజిషనింగ్ ఖచ్చితత్వం: ±0.5μm)
· సంక్లిష్ట పథ ప్రణాళికకు మద్దతు ఇచ్చే ఆరు-అక్షాల సమకాలిక నియంత్రణ
· కటింగ్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించే రియల్-టైమ్ వైబ్రేషన్ సప్రెషన్ అల్గోరిథంలు
2.అధునాతన గుర్తింపు వ్యవస్థ:
· ఇంటిగ్రేటెడ్ 3D లేజర్ ఎత్తు సెన్సార్ (ఖచ్చితత్వం: 0.1μm)
· అధిక రిజల్యూషన్ CCD విజువల్ పొజిషనింగ్ (5 మెగాపిక్సెల్స్)
· ఆన్లైన్ నాణ్యత తనిఖీ మాడ్యూల్
3.పూర్తిగా ఆటోమేటెడ్ ప్రక్రియ:
· ఆటోమేటిక్ లోడింగ్/అన్లోడింగ్ (FOUP స్టాండర్డ్ ఇంటర్ఫేస్ అనుకూలంగా ఉంటుంది)
· తెలివైన సార్టింగ్ వ్యవస్థ
· క్లోజ్డ్-లూప్ క్లీనింగ్ యూనిట్ (పరిశుభ్రత: క్లాస్ 10)
సాధారణ అనువర్తనాలు
ఈ పరికరం సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో గణనీయమైన విలువను అందిస్తుంది:
అప్లికేషన్ ఫీల్డ్ | ప్రాసెస్ మెటీరియల్స్ | సాంకేతిక ప్రయోజనాలు |
IC తయారీ | 8/12" సిలికాన్ వేఫర్లు | లితోగ్రఫీ అమరికను మెరుగుపరుస్తుంది |
విద్యుత్ పరికరాలు | SiC/GaN వేఫర్లు | అంచు లోపాలను నివారిస్తుంది |
MEMS సెన్సార్లు | SOI వేఫర్లు | పరికర విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది |
RF పరికరాలు | GaAs వేఫర్లు | అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది |
అధునాతన ప్యాకేజింగ్ | పునర్నిర్మించిన వేఫర్లు | ప్యాకేజింగ్ దిగుబడిని పెంచుతుంది |
లక్షణాలు
1. అధిక ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యం కోసం నాలుగు-స్టేషన్ కాన్ఫిగరేషన్;
2.స్టేబుల్ TAIKO రింగ్ డీబాండింగ్ మరియు తొలగింపు;
3. కీలక వినియోగ వస్తువులతో అధిక అనుకూలత;
4.మల్టీ-యాక్సిస్ సింక్రోనస్ ట్రిమ్మింగ్ టెక్నాలజీ ఖచ్చితమైన అంచు కటింగ్ను నిర్ధారిస్తుంది;
5.పూర్తిగా ఆటోమేటెడ్ ప్రక్రియ ప్రవాహం కార్మిక ఖర్చులను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది;
6. అనుకూలీకరించిన వర్క్టేబుల్ డిజైన్ ప్రత్యేక నిర్మాణాల స్థిరమైన ప్రాసెసింగ్ను అనుమతిస్తుంది;
విధులు
1.రింగ్-డ్రాప్ డిటెక్షన్ సిస్టమ్;
2.ఆటోమేటిక్ వర్క్టేబుల్ క్లీనింగ్;
3.ఇంటెలిజెంట్ UV డీబాండింగ్ సిస్టమ్;
4.ఆపరేషన్ లాగ్ రికార్డింగ్;
5.ఫ్యాక్టరీ ఆటోమేషన్ మాడ్యూల్ ఇంటిగ్రేషన్;
సేవా నిబద్ధత
XKH మీ ఉత్పత్తి ప్రయాణం అంతటా పరికరాల పనితీరు మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని పెంచడానికి రూపొందించబడిన సమగ్రమైన, పూర్తి జీవితచక్ర మద్దతు సేవలను అందిస్తుంది.
1. అనుకూలీకరణ సేవలు
· అనుకూలీకరించిన పరికరాల కాన్ఫిగరేషన్: నిర్దిష్ట పదార్థ లక్షణాలు (Si/SiC/GaAs) మరియు ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా సిస్టమ్ పారామితులను (కటింగ్ వేగం, బ్లేడ్ ఎంపిక మొదలైనవి) ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మా ఇంజనీరింగ్ బృందం క్లయింట్లతో సన్నిహితంగా సహకరిస్తుంది.
· ప్రాసెస్ డెవలప్మెంట్ సపోర్ట్: అంచు కరుకుదనం కొలత మరియు లోపం మ్యాపింగ్తో సహా వివరణాత్మక విశ్లేషణ నివేదికలతో మేము నమూనా ప్రాసెసింగ్ను అందిస్తున్నాము.
· వినియోగ వస్తువుల సహ-అభివృద్ధి: కొత్త పదార్థాల కోసం (ఉదా., Ga₂O₃), అప్లికేషన్-నిర్దిష్ట బ్లేడ్లు/లేజర్ ఆప్టిక్లను అభివృద్ధి చేయడానికి మేము ప్రముఖ వినియోగ తయారీదారులతో భాగస్వామ్యం కలిగి ఉన్నాము.
2. ప్రొఫెషనల్ టెక్నికల్ సపోర్ట్
· అంకితమైన ఆన్-సైట్ మద్దతు: కీలకమైన ర్యాంప్-అప్ దశలకు (సాధారణంగా 2-4 వారాలు) సర్టిఫైడ్ ఇంజనీర్లను కేటాయించండి, వీటిని కవర్ చేస్తుంది:
పరికరాల క్రమాంకనం & ప్రక్రియ ఫైన్-ట్యూనింగ్
ఆపరేటర్ సామర్థ్య శిక్షణ
ISO క్లాస్ 5 క్లీన్రూమ్ ఇంటిగ్రేషన్ మార్గదర్శకత్వం
· ప్రిడిక్టివ్ మెయింటెనెన్స్: ప్రణాళిక లేని డౌన్టైమ్ను నివారించడానికి వైబ్రేషన్ విశ్లేషణ మరియు సర్వో మోటార్ డయాగ్నస్టిక్లతో త్రైమాసిక ఆరోగ్య తనిఖీలు.
· రిమోట్ మానిటరింగ్: ఆటోమేటెడ్ అనోమలీ అలర్ట్లతో మా IoT ప్లాట్ఫారమ్ (JCFront Connect®) ద్వారా రియల్ టైమ్ పరికరాల పనితీరును ట్రాక్ చేయడం.
3. విలువ ఆధారిత సేవలు
· ప్రాసెస్ నాలెడ్జ్ బేస్: వివిధ పదార్థాల కోసం 300+ చెల్లుబాటు అయ్యే కటింగ్ వంటకాలను యాక్సెస్ చేయండి (త్రైమాసికానికి నవీకరించబడింది).
· టెక్నాలజీ రోడ్మ్యాప్ అలైన్మెంట్: హార్డ్వేర్/సాఫ్ట్వేర్ అప్గ్రేడ్ పాత్లతో (ఉదా., AI- ఆధారిత లోప గుర్తింపు మాడ్యూల్) మీ పెట్టుబడిని భవిష్యత్తుకు అనుకూలంగా మార్చుకోండి.
· అత్యవసర ప్రతిస్పందన: 4-గంటల రిమోట్ డయాగ్నసిస్ మరియు 48-గంటల ఆన్-సైట్ జోక్యం (గ్లోబల్ కవరేజ్) హామీ.
4. సేవా మౌలిక సదుపాయాలు
· పనితీరు హామీ: SLA-మద్దతుగల ప్రతిస్పందన సమయాలతో ≥98% పరికరాల అప్టైమ్కు ఒప్పంద నిబద్ధత.
నిరంతర అభివృద్ధి
మేము సంవత్సరానికి రెండుసార్లు కస్టమర్ సంతృప్తి సర్వేలు నిర్వహిస్తాము మరియు సేవా డెలివరీని మెరుగుపరచడానికి కైజెన్ చొరవలను అమలు చేస్తాము. మా R&D బృందం ఫీల్డ్ అంతర్దృష్టులను పరికరాల అప్గ్రేడ్లుగా అనువదిస్తుంది - 30% ఫర్మ్వేర్ మెరుగుదలలు క్లయింట్ అభిప్రాయం నుండి ఉద్భవించాయి.

