సెమీకండక్టర్ కోసం హై-ప్యూరిటీ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ వేఫర్లు, ఫోటోనిక్స్ ఆప్టికల్ అప్లికేషన్స్ 2″4″6″8″12″
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ యొక్క అవలోకనం
నేటి డిజిటల్ ప్రపంచాన్ని నడిపించే లెక్కలేనన్ని ఆధునిక పరికరాలకు క్వార్ట్జ్ వేఫర్లు వెన్నెముకగా నిలుస్తాయి. మీ స్మార్ట్‌ఫోన్‌లోని నావిగేషన్ నుండి 5G బేస్ స్టేషన్‌ల వెన్నెముక వరకు, క్వార్ట్జ్ అధిక-పనితీరు గల ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు ఫోటోనిక్స్‌లో అవసరమైన స్థిరత్వం, స్వచ్ఛత మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిశ్శబ్దంగా అందిస్తుంది. ఫ్లెక్సిబుల్ సర్క్యూట్రీకి మద్దతు ఇచ్చినా, MEMS సెన్సార్‌లను ప్రారంభించినా, లేదా క్వాంటం కంప్యూటింగ్‌కు ఆధారాన్ని ఏర్పరిచినా, క్వార్ట్జ్ యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు పరిశ్రమలలో దీనిని అనివార్యమైనవిగా చేస్తాయి.
"ఫ్యూజ్డ్ సిలికా" లేదా "ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్", ఇది క్వార్ట్జ్ (SiO2) యొక్క నిరాకార దశ. బోరోసిలికేట్ గాజుతో పోల్చినప్పుడు, ఫ్యూజ్డ్ సిలికాకు ఎటువంటి సంకలనాలు ఉండవు; అందువల్ల ఇది దాని స్వచ్ఛమైన రూపంలో, SiO2 లో ఉంటుంది. సాధారణ గాజుతో పోల్చినప్పుడు ఫ్యూజ్డ్ సిలికా పరారుణ మరియు అతినీలలోహిత వర్ణపటంలో అధిక ప్రసారాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఫ్యూజ్డ్ సిలికా అల్ట్రాప్యూర్ SiO2 ను కరిగించి తిరిగి ఘనీభవించడం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడుతుంది. మరోవైపు సింథటిక్ ఫ్యూజ్డ్ సిలికా SiCl4 వంటి సిలికాన్-రిచ్ కెమికల్ ప్రిగర్స్ నుండి తయారవుతుంది, ఇవి గ్యాసిఫై చేయబడి H2 + O2 వాతావరణంలో ఆక్సీకరణం చెందుతాయి. ఈ సందర్భంలో ఏర్పడిన SiO2 ధూళిని ఒక ఉపరితలంపై సిలికాతో కలుపుతారు. ఫ్యూజ్డ్ సిలికా బ్లాక్‌లను వేఫర్‌లుగా కట్ చేస్తారు, ఆ తర్వాత వేఫర్లు చివరకు పాలిష్ చేయబడతాయి.
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు
-
అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (≥99.99% SiO2)
పదార్థ కాలుష్యాన్ని తగ్గించాల్సిన అల్ట్రా-క్లీన్ సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోనిక్స్ ప్రక్రియలకు అనువైనది. -
విస్తృత థర్మల్ ఆపరేటింగ్ పరిధి
1100°C కంటే ఎక్కువ క్రయోజెనిక్ ఉష్ణోగ్రతల నుండి వార్పింగ్ లేదా క్షీణత లేకుండా నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది. -
అత్యుత్తమ UV మరియు IR ప్రసారం
డీప్ అతినీలలోహిత (DUV) నుండి నియర్-ఇన్‌ఫ్రారెడ్ (NIR) ద్వారా అద్భుతమైన ఆప్టికల్ స్పష్టతను అందిస్తుంది, ఖచ్చితమైన ఆప్టికల్ అప్లికేషన్‌లకు మద్దతు ఇస్తుంది. -
తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం
ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది, ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ విశ్వసనీయతను మెరుగుపరుస్తుంది. -
ఉన్నతమైన రసాయన నిరోధకత
చాలా ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు ద్రావకాలకు జడమైనది - రసాయనికంగా ఉగ్రమైన వాతావరణాలకు బాగా అనుకూలంగా ఉంటుంది. -
ఉపరితల ముగింపు సౌలభ్యం
ఫోటోనిక్స్ మరియు MEMS అవసరాలకు అనుగుణంగా, అల్ట్రా-స్మూత్, సింగిల్-సైడ్ లేదా డబుల్-సైడ్ పాలిష్డ్ ఫినిషింగ్‌లతో లభిస్తుంది.
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ తయారీ ప్రక్రియ
ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ వేఫర్లు నియంత్రిత మరియు ఖచ్చితమైన దశల శ్రేణి ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడతాయి:
-
ముడి పదార్థాల ఎంపిక
అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సహజ క్వార్ట్జ్ లేదా సింథటిక్ SiO₂ మూలాల ఎంపిక. -
ద్రవీభవనం మరియు విలీనం
చేరికలు మరియు బుడగలను తొలగించడానికి నియంత్రిత వాతావరణంలో విద్యుత్ కొలిమిలలో క్వార్ట్జ్ ~2000°C వద్ద కరిగించబడుతుంది. -
బ్లాక్ ఫార్మింగ్
కరిగిన సిలికాను ఘన బ్లాక్‌లు లేదా కడ్డీలుగా చల్లబరుస్తారు. -
వేఫర్ స్లైసింగ్
కడ్డీలను వేఫర్ బ్లాంక్స్ గా కత్తిరించడానికి ప్రెసిషన్ డైమండ్ లేదా వైర్ రంపాలను ఉపయోగిస్తారు. -
లాపింగ్ & పాలిషింగ్
ఖచ్చితమైన ఆప్టికల్, మందం మరియు కరుకుదనం స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా రెండు ఉపరితలాలు చదును చేయబడి పాలిష్ చేయబడ్డాయి. -
శుభ్రపరచడం & తనిఖీ
ISO క్లాస్ 100/1000 క్లీన్‌రూమ్‌లలో వేఫర్‌లను శుభ్రం చేస్తారు మరియు లోపాలు మరియు డైమెన్షనల్ అనుగుణ్యత కోసం కఠినమైన తనిఖీకి లోనవుతారు.
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ యొక్క లక్షణాలు
| స్పెక్ | యూనిట్ | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| వ్యాసం / పరిమాణం (లేదా చదరపు) | mm | 100 లు | 150 | 200లు | 250 యూరోలు | 300లు |
| సహనం (±) | mm | 0.2 समानिक समानी | 0.2 समानिक समानी | 0.2 समानिक समानी | 0.2 समानिक समानी | 0.2 समानिक समानी |
| మందం | mm | 0.10 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ | 0.30 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ | 0.40 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ | 0.50 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ | 0.50 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ |
| ప్రాథమిక సూచన ఫ్లాట్ | mm | 32.5 తెలుగు | 57.5 समानी स्तुत्र� | సెమీ-నాచ్ | సెమీ-నాచ్ | సెమీ-నాచ్ |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| టీటీవీ | μm | 2 < 2 | 3 | 3 | 5 | 5 |
| విల్లు | μm | ±20 (±20) | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| వార్ప్ | μm | ≤ 30 ≤ 30 | 40 ≤ | ≤ 50 ≤ 50 | ≤ 50 ≤ 50 | ≤ 50 ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| అంచు చుట్టుముట్టడం | mm | SEMI M1.2 ప్రమాణానికి అనుగుణంగా / IEC62276 ని చూడండి | ||||
| ఉపరితల రకం | సింగిల్ సైడ్ పాలిష్డ్ / డబుల్ సైడ్స్ పాలిష్డ్ | |||||
| పాలిష్ చేసిన వైపు Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| వెనుక వైపు ప్రమాణాలు | μm | సాధారణ 0.2-0.7 లేదా అనుకూలీకరించబడింది | ||||
క్వార్ట్జ్ vs. ఇతర పారదర్శక పదార్థాలు
| ఆస్తి | క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ | బోరోసిలికేట్ గ్లాస్ | నీలమణి | స్టాండర్డ్ గ్లాస్ |
|---|---|---|---|---|
| గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత | ~1100°C ఉష్ణోగ్రత | ~500°C (~500°C) | ~2000°C | ~200°C |
| UV ప్రసారం | అద్భుతమైనది (JGS1) | పేద | మంచిది | చాలా పేలవంగా ఉంది |
| రసాయన నిరోధకత | అద్భుతంగా ఉంది | మధ్యస్థం | అద్భుతంగా ఉంది | పేద |
| స్వచ్ఛత | చాలా ఎక్కువ | తక్కువ నుండి మధ్యస్థం | అధిక | తక్కువ |
| ఉష్ణ విస్తరణ | చాలా తక్కువ | మధ్యస్థం | తక్కువ | అధిక |
| ఖర్చు | మధ్యస్థం నుండి ఎక్కువ | తక్కువ | అధిక | చాలా తక్కువ |
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ యొక్క తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు
Q1: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ మరియు ఫ్యూజ్డ్ సిలికా మధ్య తేడా ఏమిటి?
రెండూ SiO₂ యొక్క నిరాకార రూపాలు అయినప్పటికీ, ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ సాధారణంగా సహజ క్వార్ట్జ్ మూలాల నుండి ఉద్భవించింది, అయితే ఫ్యూజ్డ్ సిలికా కృత్రిమంగా ఉత్పత్తి చేయబడింది. క్రియాత్మకంగా, అవి సారూప్య పనితీరును అందిస్తాయి, కానీ ఫ్యూజ్డ్ సిలికా కొంచెం ఎక్కువ స్వచ్ఛత మరియు సజాతీయతను కలిగి ఉండవచ్చు.
Q2: అధిక-వాక్యూమ్ వాతావరణంలో ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ వేఫర్‌లను ఉపయోగించవచ్చా?
అవును. వాటి తక్కువ అవుట్‌గ్యాసింగ్ లక్షణాలు మరియు అధిక ఉష్ణ నిరోధకత కారణంగా, ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ వేఫర్లు వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లు మరియు ఏరోస్పేస్ అప్లికేషన్‌లకు అద్భుతమైనవి.
Q3: ఈ వేఫర్లు డీప్-UV లేజర్ అప్లికేషన్‌లకు అనుకూలంగా ఉన్నాయా?
ఖచ్చితంగా. ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ ~185 nm వరకు అధిక ప్రసార సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది DUV ఆప్టిక్స్, లితోగ్రఫీ మాస్క్‌లు మరియు ఎక్సైమర్ లేజర్ సిస్టమ్‌లకు అనువైనదిగా చేస్తుంది.
Q4: మీరు కస్టమ్ వేఫర్ ఫ్యాబ్రికేషన్‌కు మద్దతు ఇస్తారా?
అవును. మీ నిర్దిష్ట అప్లికేషన్ అవసరాల ఆధారంగా వ్యాసం, మందం, ఉపరితల నాణ్యత, ఫ్లాట్‌లు/నోచెస్ మరియు లేజర్ నమూనాతో సహా పూర్తి అనుకూలీకరణను మేము అందిస్తున్నాము.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్‌లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్‌ప్రైజ్‌గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్‌లో రాణిస్తున్నాము.
