5G/6G కమ్యూనికేషన్ల కోసం LiTaO3 వేఫర్ 2అంగుళాలు-8అంగుళాలు 10x10x0.5 mm 1sp 2sp
సాంకేతిక పారామితులు
పేరు | ఆప్టికల్-గ్రేడ్ LiTaO3 | సౌండ్ టేబుల్ లెవల్ LiTaO3 |
అక్షసంబంధమైన | Z కట్ + / - 0.2° | 36° Y కట్ / 42° Y కట్ / X కట్ (+ / - 0.2°) |
వ్యాసం | 76.2మిమీ + / - 0.3మిమీ/ 100±0.2మి.మీ | 76.2మిమీ + /-0.3మిమీ 100మిమీ + /-0.3మిమీ 0r 150±0.5మిమీ |
డేటా ప్లేన్ | 22మిమీ + / - 2మిమీ | 22మి.మీ + /-2మి.మీ 32మిమీ + /-2మిమీ |
మందం | 500um + /-5మి.మీ. 1000um + /-5మి.మీ. | 500um + /-20మి.మీ. 350um + /-20మి.మీ. |
టీటీవీ | ≤ 10um (మి) | ≤ 10um (మి) |
క్యూరీ ఉష్ణోగ్రత | 605 °C + / - 0.7 °C (DTAపద్ధతి) | 605 °C + / -3 °C (DTAపద్ధతి |
ఉపరితల నాణ్యత | రెండు వైపులా పాలిషింగ్ | రెండు వైపులా పాలిషింగ్ |
చాంఫెర్డ్ అంచులు | అంచు చుట్టుముట్టడం | అంచు చుట్టుముట్టడం |
ముఖ్య లక్షణాలు
1.ఎలక్ట్రికల్ మరియు ఆప్టికల్ పనితీరు
· ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్ గుణకం: r33 30 pm/V (X-కట్)కి చేరుకుంటుంది, LiNbO3 కంటే 1.5× ఎక్కువ, అల్ట్రా-వైడ్బ్యాండ్ ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్ మాడ్యులేషన్ (>40 GHz బ్యాండ్విడ్త్)ను అనుమతిస్తుంది.
· విస్తృత వర్ణపట ప్రతిస్పందన: ప్రసార పరిధి 0.4–5.0 μm (8 మిమీ మందం), అతినీలలోహిత శోషణ అంచు 280 nm వరకు ఉంటుంది, UV లేజర్లు మరియు క్వాంటం డాట్ పరికరాలకు అనువైనది.
· తక్కువ పైరోఎలక్ట్రిక్ గుణకం: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఇన్ఫ్రారెడ్ సెన్సార్లలో స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
2.థర్మల్ మరియు మెకానికల్ లక్షణాలు
· అధిక ఉష్ణ వాహకత: 4.6 W/m·K (X-కట్), క్వార్ట్జ్ కంటే నాలుగు రెట్లు, -200–500°C థర్మల్ సైక్లింగ్ను నిలుపుకుంటుంది.
· తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి సిలికాన్ ప్యాకేజింగ్తో అనుకూలంగా ఉంటుంది.
3. లోపం నియంత్రణ మరియు ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం
· మైక్రోపైప్ సాంద్రత: <0.1 సెం.మీ⁻² (8-అంగుళాల వేఫర్లు), డిస్లోకేషన్ డెన్సిటీ <500 సెం.మీ⁻² (KOH ఎచింగ్ ద్వారా ధృవీకరించబడింది).
· ఉపరితల నాణ్యత: CMP- పాలిష్ చేయబడినది Ra <0.5 nm, EUV లితోగ్రఫీ-గ్రేడ్ ఫ్లాట్నెస్ అవసరాలను తీరుస్తుంది.
కీలక అనువర్తనాలు
డొమైన్ | అప్లికేషన్ దృశ్యాలు | సాంకేతిక ప్రయోజనాలు |
ఆప్టికల్ కమ్యూనికేషన్స్ | 100G/400G DWDM లేజర్లు, సిలికాన్ ఫోటోనిక్స్ హైబ్రిడ్ మాడ్యూల్స్ | LiTaO3 వేఫర్ యొక్క విస్తృత వర్ణపట ప్రసారం మరియు తక్కువ వేవ్గైడ్ నష్టం (α <0.1 dB/cm) C-బ్యాండ్ విస్తరణను సాధ్యం చేస్తాయి. |
5G/6G కమ్యూనికేషన్లు | SAW ఫిల్టర్లు (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR ఫిల్టర్లు | 42°Y-కట్ వేఫర్లు Kt² >15% సాధిస్తాయి, తక్కువ ఇన్సర్షన్ లాస్ (<1.5 dB) మరియు అధిక రోల్-ఆఫ్ (>30 dB) ను అందిస్తాయి. |
క్వాంటమ్ టెక్నాలజీస్ | సింగిల్-ఫోటాన్ డిటెక్టర్లు, పారామెట్రిక్ డౌన్-కన్వర్షన్ సోర్సెస్ | అధిక నాన్లీనియర్ కోఎఫీషియంట్ (χ(2)=40 pm/V) మరియు తక్కువ డార్క్ కౌంట్ రేటు (<100 కౌంట్లు/సె) క్వాంటం విశ్వసనీయతను పెంచుతాయి. |
పారిశ్రామిక సెన్సింగ్ | అధిక-ఉష్ణోగ్రత పీడన సెన్సార్లు, కరెంట్ ట్రాన్స్ఫార్మర్లు | LiTaO3 వేఫర్ యొక్క పైజోఎలెక్ట్రిక్ ప్రతిస్పందన (g33 >20 mV/m) మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత సహనం (>400°C) తీవ్రమైన వాతావరణాలకు సరిపోతాయి. |
XKH సర్వీసెస్
1.కస్టమ్ వేఫర్ ఫ్యాబ్రికేషన్
· పరిమాణం మరియు కట్టింగ్: X/Y/Z-కట్, 42°Y-కట్ మరియు కస్టమ్ కోణీయ కట్లతో (±0.01° టాలరెన్స్) 2–8-అంగుళాల వేఫర్లు.
· డోపింగ్ నియంత్రణ: ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్ గుణకాలు మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి క్జోక్రాల్స్కీ పద్ధతి (గాఢత పరిధి 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) ద్వారా Fe, Mg డోపింగ్.
2. అధునాతన ప్రక్రియ సాంకేతికతలు
· పీరియాడిక్ పోలింగ్ (PPLT): LTOI వేఫర్ల కోసం స్మార్ట్-కట్ టెక్నాలజీ, ±10 nm డొమైన్ పీరియడ్ ప్రెసిషన్ మరియు క్వాసి-ఫేజ్-మ్యాచ్డ్ (QPM) ఫ్రీక్వెన్సీ కన్వర్షన్ను సాధిస్తుంది.
· హెటెరోజీనియస్ ఇంటిగ్రేషన్: అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ SAW ఫిల్టర్ల కోసం మందం నియంత్రణ (300–600 nm) మరియు 8.78 W/m·K వరకు ఉష్ణ వాహకత కలిగిన Si-ఆధారిత LiTaO3 కాంపోజిట్ వేఫర్లు (POI).
3.నాణ్యత నిర్వహణ వ్యవస్థలు
· ఎండ్-టు-ఎండ్ టెస్టింగ్: రామన్ స్పెక్ట్రోస్కోపీ (పాలిటైప్ వెరిఫికేషన్), XRD (స్ఫటికాకారత), AFM (ఉపరితల స్వరూప శాస్త్రం), మరియు ఆప్టికల్ యూనిఫాంటి టెస్టింగ్ (Δn <5×10⁻⁵).
4. గ్లోబల్ సప్లై చైన్ సపోర్ట్
· ఉత్పత్తి సామర్థ్యం: నెలవారీ అవుట్పుట్ >5,000 వేఫర్లు (8-అంగుళాలు: 70%), 48 గంటల అత్యవసర డెలివరీతో.
· లాజిస్టిక్స్ నెట్వర్క్: ఉష్ణోగ్రత-నియంత్రిత ప్యాకేజింగ్తో వాయు/సముద్ర సరుకు రవాణా ద్వారా యూరప్, ఉత్తర అమెరికా మరియు ఆసియా-పసిఫిక్లలో కవరేజ్.


