LNOI వేఫర్ (లిథియం నియోబేట్ ఆన్ ఇన్సులేటర్) టెలికమ్యూనికేషన్స్ సెన్సింగ్ హై ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
అవలోకనం
వేఫర్ బాక్స్ లోపల సుష్ట పొడవైన కమ్మీలు ఉన్నాయి, వీటి కొలతలు వేఫర్ యొక్క రెండు వైపులా మద్దతు ఇవ్వడానికి ఖచ్చితంగా ఏకరీతిగా ఉంటాయి. క్రిస్టల్ బాక్స్ సాధారణంగా ఉష్ణోగ్రత, దుస్తులు మరియు స్థిర విద్యుత్తుకు నిరోధకతను కలిగి ఉండే అపారదర్శక ప్లాస్టిక్ PP పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది. సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిలో లోహ ప్రక్రియ విభాగాలను వేరు చేయడానికి వివిధ రంగుల సంకలనాలను ఉపయోగిస్తారు. సెమీకండక్టర్ల చిన్న కీ పరిమాణం, దట్టమైన నమూనాలు మరియు ఉత్పత్తిలో చాలా కఠినమైన కణ పరిమాణ అవసరాల కారణంగా, వేర్వేరు ఉత్పత్తి యంత్రాల సూక్ష్మ పర్యావరణ పెట్టె ప్రతిచర్య కుహరానికి కనెక్ట్ చేయడానికి వేఫర్ బాక్స్ శుభ్రమైన వాతావరణాన్ని హామీ ఇవ్వాలి.
ఫ్యాబ్రికేషన్ మెథడాలజీ
LNOI వేఫర్‌ల తయారీ అనేక ఖచ్చితమైన దశలను కలిగి ఉంటుంది:
దశ 1: హీలియం అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్హీలియం అయాన్లను అయాన్ ఇంప్లాంటర్ ఉపయోగించి బల్క్ LN క్రిస్టల్‌లోకి ప్రవేశపెడతారు. ఈ అయాన్లు ఒక నిర్దిష్ట లోతు వద్ద స్థిరపడి, బలహీనమైన తలాన్ని ఏర్పరుస్తాయి, ఇది చివరికి ఫిల్మ్ డిటాచ్‌మెంట్‌ను సులభతరం చేస్తుంది.
దశ 2: బేస్ సబ్‌స్ట్రేట్ నిర్మాణంPECVD లేదా థర్మల్ ఆక్సీకరణను ఉపయోగించి ఒక ప్రత్యేక సిలికాన్ లేదా LN వేఫర్‌ను SiO2 తో ఆక్సీకరణం చేస్తారు లేదా పొరలుగా వేస్తారు. సరైన బంధం కోసం దీని పై ఉపరితలం సమతలంగా ఉంటుంది.
దశ 3: LN ను సబ్‌స్ట్రేట్‌కు బంధించడంఅయాన్-ఇంప్లాంట్ చేయబడిన LN క్రిస్టల్‌ను తిప్పి, డైరెక్ట్ వేఫర్ బాండింగ్ ఉపయోగించి బేస్ వేఫర్‌కు జత చేస్తారు. పరిశోధన సెట్టింగులలో, తక్కువ కఠినమైన పరిస్థితులలో బంధాన్ని సరళీకృతం చేయడానికి బెంజోసైక్లోబ్యూటీన్ (BCB) ను అంటుకునే పదార్థంగా ఉపయోగించవచ్చు.
దశ 4: థర్మల్ ట్రీట్మెంట్ మరియు ఫిల్మ్ సెపరేషన్ఇంప్లాంట్ చేయబడిన లోతు వద్ద అన్నేలింగ్ బుడగ ఏర్పడటాన్ని సక్రియం చేస్తుంది, తద్వారా సన్నని పొర (పైన ఉన్న LN పొర) ను బల్క్ నుండి వేరు చేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఎక్స్‌ఫోలియేషన్‌ను పూర్తి చేయడానికి యాంత్రిక శక్తిని ఉపయోగిస్తారు.
దశ 5: ఉపరితల పాలిషింగ్కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) పై LN ఉపరితలాన్ని సున్నితంగా చేయడానికి వర్తించబడుతుంది, ఇది ఆప్టికల్ నాణ్యత మరియు పరికర దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
సాంకేతిక పారామితులు
| మెటీరియల్ | ఆప్టికల్ గ్రేడ్ లిఎన్‌బిఓ3 వేఫ్స్ (తెలుపు or నలుపు) | |
| క్యూరీ ఉష్ణోగ్రత | 1142±0.7℃ ఉష్ణోగ్రత | |
| కట్టింగ్ కోణం | X/Y/Z మొదలైనవి | |
| వ్యాసం/పరిమాణం | 2”/3”/4” ±0.03మి.మీ | |
| టోల్(±) | <0.20 మిమీ ±0.005 మిమీ | |
| మందం | 0.18～0.5మిమీ లేదా అంతకంటే ఎక్కువ | |
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ | 16మిమీ/22మిమీ/32మిమీ | |
| టీటీవీ | <3μm | |
| విల్లు | -30 కిలోలు | |
| వార్ప్ | <40μm | |
| దిశానిర్దేశం ఫ్లాట్ | అన్నీ అందుబాటులో ఉన్నాయి | |
| ఉపరితలం రకం | సింగిల్ సైడ్ పాలిష్డ్ (SSP)/డబుల్ సైడ్స్ పాలిష్డ్ (DSP) | |
| పాలిష్ చేయబడింది వైపు Ra | <0.5nm | |
| ఎస్/డి | 20/10 | |
| అంచు ప్రమాణాలు | R=0.2మి.మీ. సి-టైప్ or బుల్‌నోస్ | |
| నాణ్యత | ఉచితం of పగుళ్లు (బుడగలు) మరియు చేరికలు) | |
| ఆప్టికల్ డోప్ చేయబడిన | మి.గ్రా/ఫే/జెంట్/ఎంజిఓ మొదలైనవి కోసం ఆప్టికల్ గ్రేడ్ ఎల్ఎన్ వేఫర్లు ప్రతి అభ్యర్థించబడింది | |
| వేఫర్ ఉపరితలం ప్రమాణాలు | వక్రీభవన సూచిక | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm తరంగదైర్ఘ్యం/ప్రిజం కప్లర్ పద్ధతి. |
| కాలుష్యం, | ఏదీ లేదు | |
| కణాలు సి>0.3μ m | <=30 | |
| స్క్రాచ్, చిప్పింగ్ | ఏదీ లేదు | |
| లోపం | అంచు పగుళ్లు, గీతలు, రంపపు గుర్తులు, మరకలు లేవు | |
| ప్యాకేజింగ్ | క్వాటీ/వేఫర్ బాక్స్ | ఒక్కో పెట్టెకు 25 ముక్కలు |
వినియోగ సందర్భాలు
దాని బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు పనితీరు కారణంగా, LNOI అనేక పరిశ్రమలలో ఉపయోగించబడుతుంది:
ఫోటోనిక్స్:కాంపాక్ట్ మాడ్యులేటర్లు, మల్టీప్లెక్సర్లు మరియు ఫోటోనిక్ సర్క్యూట్లు.
RF/అకౌస్టిక్స్:అకౌస్టో-ఆప్టిక్ మాడ్యులేటర్లు, RF ఫిల్టర్లు.
క్వాంటం కంప్యూటింగ్:నాన్ లీనియర్ ఫ్రీక్వెన్సీ మిక్సర్లు మరియు ఫోటాన్-జత జనరేటర్లు.
రక్షణ & అంతరిక్షం:తక్కువ-నష్ట ఆప్టికల్ గైరోలు, ఫ్రీక్వెన్సీ-షిఫ్టింగ్ పరికరాలు.
వైద్య పరికరాలు:ఆప్టికల్ బయోసెన్సర్లు మరియు హై-ఫ్రీక్వెన్సీ సిగ్నల్ ప్రోబ్స్.
ఎఫ్ ఎ క్యూ
ప్ర: ఆప్టికల్ సిస్టమ్స్‌లో SOI కంటే LNOI ఎందుకు ప్రాధాన్యత ఇవ్వబడుతుంది?
A:LNOI అత్యుత్తమ ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్ గుణకాలు మరియు విస్తృత పారదర్శకత పరిధిని కలిగి ఉంది, ఇది ఫోటోనిక్ సర్క్యూట్లలో అధిక పనితీరును అనుమతిస్తుంది.
ప్ర: విభజన తర్వాత CMP తప్పనిసరి కాదా?
A:అవును. అయాన్-స్లైసింగ్ తర్వాత బహిర్గతమైన LN ఉపరితలం గరుకుగా ఉంటుంది మరియు ఆప్టికల్-గ్రేడ్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా పాలిష్ చేయాలి.
ప్ర: అందుబాటులో ఉన్న గరిష్ట వేఫర్ పరిమాణం ఎంత?
A:వాణిజ్య LNOI వేఫర్లు ప్రధానంగా 3” మరియు 4”, అయితే కొంతమంది సరఫరాదారులు 6” వేరియంట్‌లను అభివృద్ధి చేస్తున్నారు.
ప్ర: విభజన తర్వాత LN పొరను తిరిగి ఉపయోగించవచ్చా?
A:బేస్ క్రిస్టల్‌ను అనేకసార్లు తిరిగి పాలిష్ చేసి తిరిగి ఉపయోగించవచ్చు, అయినప్పటికీ బహుళ చక్రాల తర్వాత నాణ్యత క్షీణించవచ్చు.
ప్ర: LNOI వేఫర్లు CMOS ప్రాసెసింగ్‌కు అనుకూలంగా ఉంటాయా?
A:అవును, అవి సాంప్రదాయ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అనుగుణంగా రూపొందించబడ్డాయి, ముఖ్యంగా సిలికాన్ ఉపరితలాలను ఉపయోగించినప్పుడు.
