LT లిథియం టాంటలేట్ (LiTaO3) క్రిస్టల్ 2అంగుళాలు/3అంగుళాలు/4అంగుళాలు/6అంగుళాలు ఓరియంటెनित Y-42°/36°/108° మందం 250-500um
సాంకేతిక పారామితులు
| పేరు | ఆప్టికల్-గ్రేడ్ LiTaO3 | సౌండ్ టేబుల్ లెవల్ LiTaO3 |
| అక్షసంబంధమైన | Z కట్ + / - 0.2° | 36° Y కట్ / 42° Y కట్ / X కట్(+ / - 0.2°) |
| వ్యాసం | 76.2మిమీ + / - 0.3మిమీ/100±0.2మి.మీ | 76.2మిమీ + /-0.3మిమీ100మిమీ + /-0.3మిమీ 0r 150±0.5మిమీ |
| డేటా ప్లేన్ | 22మిమీ + / - 2మిమీ | 22మి.మీ + /-2మి.మీ32మిమీ + /-2మిమీ |
| మందం | 500um + /-5మి.మీ.1000um + /-5మి.మీ. | 500um + /-20మి.మీ.350um + /-20మి.మీ. |
| టీటీవీ | ≤ 10um (మి) | ≤ 10um (మి) |
| క్యూరీ ఉష్ణోగ్రత | 605 °C + / - 0.7 °C (DTAపద్ధతి) | 605 °C + / -3 °C (DTAపద్ధతి |
| ఉపరితల నాణ్యత | రెండు వైపులా పాలిషింగ్ | రెండు వైపులా పాలిషింగ్ |
| చాంఫెర్డ్ అంచులు | అంచు చుట్టుముట్టడం | అంచు చుట్టుముట్టడం |
ముఖ్య లక్షణాలు
1. క్రిస్టల్ నిర్మాణం మరియు విద్యుత్ పనితీరు
· క్రిస్టల్లోగ్రాఫిక్ స్థిరత్వం: 100% 4H-SiC పాలీటైప్ ఆధిపత్యం, సున్నా మల్టీక్రిస్టలైన్ చేరికలు (ఉదా., 6H/15R), XRD రాకింగ్ కర్వ్ పూర్తి వెడల్పుతో సగం-గరిష్ట (FWHM) ≤32.7 ఆర్క్‌సెక్.
· అధిక క్యారియర్ మొబిలిటీ: 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) ఎలక్ట్రాన్ మొబిలిటీ మరియు 380 cm²/V·s హోల్ మొబిలిటీ, అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ పరికర డిజైన్‌లను అనుమతిస్తుంది.
·రేడియేషన్ కాఠిన్యం: 1 MeV న్యూట్రాన్ వికిరణాన్ని తట్టుకుంటుంది, 1×10¹⁵ n/cm² స్థానభ్రంశం నష్టం థ్రెషోల్డ్‌తో, అంతరిక్షం మరియు అణు అనువర్తనాలకు అనువైనది.
2.థర్మల్ మరియు మెకానికల్ లక్షణాలు
· అసాధారణ ఉష్ణ వాహకత: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), సిలికాన్ కంటే మూడు రెట్లు, 200°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద పనిచేయడానికి మద్దతు ఇస్తుంది.
· తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) యొక్క CTE, సిలికాన్-ఆధారిత ప్యాకేజింగ్‌తో అనుకూలతను నిర్ధారిస్తుంది మరియు ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది.
3. లోపం నియంత్రణ మరియు ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం
· మైక్రోపైప్ సాంద్రత: <0.3 సెం.మీ⁻² (8-అంగుళాల వేఫర్లు), డిస్‌లోకేషన్ డెన్సిటీ <1,000 సెం.మీ⁻² (KOH ఎచింగ్ ద్వారా ధృవీకరించబడింది).
· ఉపరితల నాణ్యత: CMP- పాలిష్ చేయబడినది Ra <0.2 nm, EUV లితోగ్రఫీ-గ్రేడ్ ఫ్లాట్‌నెస్ అవసరాలను తీరుస్తుంది.
కీలక అనువర్తనాలు
| డొమైన్ | అప్లికేషన్ దృశ్యాలు | సాంకేతిక ప్రయోజనాలు |
| ఆప్టికల్ కమ్యూనికేషన్స్ | 100G/400G లేజర్‌లు, సిలికాన్ ఫోటోనిక్స్ హైబ్రిడ్ మాడ్యూల్స్ | InP సీడ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు డైరెక్ట్ బ్యాండ్‌గ్యాప్ (1.34 eV) మరియు Si-ఆధారిత హెటెరోఎపిటాక్సీని ఎనేబుల్ చేస్తాయి, ఆప్టికల్ కప్లింగ్ నష్టాన్ని తగ్గిస్తాయి. |
| కొత్త శక్తి వాహనాలు | 800V హై-వోల్టేజ్ ఇన్వర్టర్లు, ఆన్‌బోర్డ్ ఛార్జర్లు (OBC) | 4H-SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు >1,200 V తట్టుకుంటాయి, ప్రసరణ నష్టాలను 50% మరియు సిస్టమ్ వాల్యూమ్‌ను 40% తగ్గిస్తాయి. |
| 5G కమ్యూనికేషన్స్ | మిల్లీమీటర్-వేవ్ RF పరికరాలు (PA/LNA), బేస్ స్టేషన్ పవర్ యాంప్లిఫైయర్లు | సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు (రెసిస్టివిటీ >10⁵ Ω·సెం.మీ) అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ (60 GHz+) నిష్క్రియాత్మక ఏకీకరణను ప్రారంభిస్తాయి. |
| పారిశ్రామిక పరికరాలు | అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెన్సార్లు, కరెంట్ ట్రాన్స్‌ఫార్మర్లు, న్యూక్లియర్ రియాక్టర్ మానిటర్లు | InSb విత్తన ఉపరితలాలు (0.17 eV బ్యాండ్‌గ్యాప్) 10 T లో 300% వరకు అయస్కాంత సున్నితత్వాన్ని అందిస్తాయి. |
LiTaO₃ వేఫర్లు - కీలక లక్షణాలు
1. ఉన్నతమైన పైజోఎలెక్ట్రిక్ పనితీరు
· అధిక పీజోఎలెక్ట్రిక్ గుణకాలు (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF ఫిల్టర్‌ల కోసం <1.5dB కంటే తక్కువ ఇన్సర్షన్ లాస్‌తో అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ SAW/BAW పరికరాలను ప్రారంభిస్తాయి.
· అద్భుతమైన ఎలక్ట్రోమెకానికల్ కప్లింగ్ 6GHz కంటే తక్కువ మరియు mmWave అప్లికేషన్ల కోసం వైడ్-బ్యాండ్విడ్త్ (≥5%) ఫిల్టర్ డిజైన్‌లకు మద్దతు ఇస్తుంది.
2. ఆప్టికల్ లక్షణాలు
· 40GHz బ్యాండ్విడ్త్ కంటే ఎక్కువ సాధించే ఎలక్ట్రో-ఆప్టిక్ మాడ్యులేటర్‌ల కోసం బ్రాడ్‌బ్యాండ్ పారదర్శకత (>400-5000nm నుండి 70% ట్రాన్స్‌మిషన్)
· బలమైన నాన్ లీనియర్ ఆప్టికల్ ససెప్టబిలిటీ (χ⁽²⁾~30pm/V) లేజర్ వ్యవస్థలలో సమర్థవంతమైన రెండవ హార్మోనిక్ జనరేషన్ (SHG) ను సులభతరం చేస్తుంది.
3. పర్యావరణ స్థిరత్వం
· అధిక క్యూరీ ఉష్ణోగ్రత (600°C) ఆటోమోటివ్-గ్రేడ్ (-40°C నుండి 150°C) వాతావరణాలలో పైజోఎలెక్ట్రిక్ ప్రతిస్పందనను నిర్వహిస్తుంది.
· ఆమ్లాలు/క్షారాలకు వ్యతిరేకంగా రసాయన జడత్వం (pH1-13) పారిశ్రామిక సెన్సార్ అనువర్తనాల్లో విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.
4. అనుకూలీకరణ సామర్థ్యాలు
· ఓరియంటేషన్ ఇంజనీరింగ్: అనుకూలీకరించిన పైజోఎలెక్ట్రిక్ ప్రతిస్పందనల కోసం X-కట్ (51°), Y-కట్ (0°), Z-కట్ (36°)
· డోపింగ్ ఎంపికలు: Mg-డోప్డ్ (ఆప్టికల్ డ్యామేజ్ రెసిస్టెన్స్), Zn-డోప్డ్ (మెరుగైన d₃₃)
· ఉపరితల ముగింపులు: ఎపిటాక్సియల్-రెడీ పాలిషింగ్ (Ra<0.5nm), ITO/Au మెటలైజేషన్
LiTaO₃ వేఫర్లు - ప్రాథమిక అనువర్తనాలు
1. RF ఫ్రంట్-ఎండ్ మాడ్యూల్స్
· 5G NR SAW ఫిల్టర్లు (బ్యాండ్ n77/n79) ఫ్రీక్వెన్సీ యొక్క ఉష్ణోగ్రత గుణకం (TCF) <|-15ppm/°C|
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) కోసం అల్ట్రా-వైడ్‌బ్యాండ్ BAW రెసొనేటర్లు
2. ఇంటిగ్రేటెడ్ ఫోటోనిక్స్
· కోహెరెంట్ ఆప్టికల్ కమ్యూనికేషన్స్ కోసం హై-స్పీడ్ మాక్-జెహెండర్ మాడ్యులేటర్లు (>100Gbps)
· 3-14μm వరకు ట్యూన్ చేయగల కటాఫ్ తరంగదైర్ఘ్యాలతో QWIP ఇన్ఫ్రారెడ్ డిటెక్టర్లు
3. ఆటోమోటివ్ ఎలక్ట్రానిక్స్
· 200kHz కంటే ఎక్కువ ఆపరేషనల్ ఫ్రీక్వెన్సీ కలిగిన అల్ట్రాసోనిక్ పార్కింగ్ సెన్సార్లు
· -40°C నుండి 125°C వరకు థర్మల్ సైక్లింగ్‌ను తట్టుకుని నిలిచే TPMS పైజోఎలెక్ట్రిక్ ట్రాన్స్డ్యూసర్లు
4. రక్షణ వ్యవస్థలు
· 60dB అవుట్-ఆఫ్-బ్యాండ్ తిరస్కరణకు పైగా ఉన్న EW రిసీవర్ ఫిల్టర్లు
· 3-5μm MWIR రేడియేషన్‌ను ప్రసారం చేసే క్షిపణి సీకర్ IR విండోలు
5. ఎమర్జింగ్ టెక్నాలజీస్
· మైక్రోవేవ్-టు-ఆప్టికల్ మార్పిడి కోసం ఆప్టోమెకానికల్ క్వాంటం ట్రాన్స్డ్యూసర్లు
· వైద్య అల్ట్రాసౌండ్ ఇమేజింగ్ కోసం PMUT శ్రేణులు (>20MHz రిజల్యూషన్)
LiTaO₃ వేఫర్లు - XKH సేవలు
1. సరఫరా గొలుసు నిర్వహణ
· ప్రామాణిక స్పెసిఫికేషన్ల కోసం 4 వారాల లీడ్ టైమ్‌తో బౌల్-టు-వేఫర్ ప్రాసెసింగ్
· పోటీదారులతో పోలిస్తే 10-15% ధర ప్రయోజనాన్ని అందించే ఖర్చు-ఆప్టిమైజ్డ్ ఉత్పత్తి
2. కస్టమ్ సొల్యూషన్స్
· ఓరియంటేషన్-స్పెసిఫిక్ వేఫరింగ్: సరైన SAW పనితీరు కోసం 36°±0.5° Y-కట్
· డోప్డ్ కంపోజిషన్లు: ఆప్టికల్ అప్లికేషన్ల కోసం MgO (5mol%) డోపింగ్
మెటలైజేషన్ సేవలు: Cr/Au (100/1000Å) ఎలక్ట్రోడ్ నమూనా
3. సాంకేతిక మద్దతు
· పదార్థ లక్షణం: XRD రాకింగ్ వక్రతలు (FWHM <0.01°), AFM ఉపరితల విశ్లేషణ
· పరికర అనుకరణ: SAW ఫిల్టర్ డిజైన్ ఆప్టిమైజేషన్ కోసం FEM మోడలింగ్
ముగింపు
LiTaO₃ వేఫర్లు RF కమ్యూనికేషన్లు, ఇంటిగ్రేటెడ్ ఫోటోనిక్స్ మరియు కఠినమైన పర్యావరణ సెన్సార్‌లలో సాంకేతిక పురోగతిని ప్రారంభిస్తూనే ఉన్నాయి. XKH యొక్క మెటీరియల్ నైపుణ్యం, తయారీ ఖచ్చితత్వం మరియు అప్లికేషన్ ఇంజనీరింగ్ మద్దతు తదుపరి తరం ఎలక్ట్రానిక్ సిస్టమ్‌లలో డిజైన్ సవాళ్లను అధిగమించడంలో కస్టమర్‌లకు సహాయపడతాయి.
సంబంధిత ఉత్పత్తులు
-
రత్నాల తయారీకి రూబీ పదార్థం కృత్రిమ కొరండం...
-
ప్రయోగశాలలో సృష్టించబడిన రూబీ రఫ్ స్టోన్ స్పష్టమైన ఎరుపు అంతర్గత...
-
2అంగుళాల 6H-N సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ సిక్ వేఫర్ ...
-
సిలికాన్ కార్బైడ్ రెసిస్టెన్స్ లాంగ్ క్రిస్టల్ ఫర్నేస్...
-
సింథటిక్ పచ్చ ఆకుపచ్చ నీలమణి రత్నం, పాడండి...
-
సఫైర్ ఐపిఎల్ 50*50*15mmt ఫ్రీజింగ్ పాయింట్ను బ్లాక్ చేస్తుంది ...