శీర్షిక: చిప్ తయారీలో FOUP అంటే ఏమిటి?

విషయ సూచిక

1.​FOUP యొక్క అవలోకనం మరియు ప్రధాన విధులు

2.​FOUP​ నిర్మాణం మరియు డిజైన్ లక్షణాలు​

3. FOUP వర్గీకరణ మరియు అప్లికేషన్ మార్గదర్శకాలు

4. సెమీకండక్టర్ తయారీలో FOUP యొక్క కార్యకలాపాలు మరియు ప్రాముఖ్యత

5.​సాంకేతిక సవాళ్లు మరియు భవిష్యత్తు అభివృద్ధి ధోరణులు​

6.XKH యొక్క అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలు మరియు సేవా మద్దతు​

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, ఫ్రంట్ ఓపెనింగ్ యూనిఫైడ్ పాడ్ (FOUP) అనేది వేఫర్‌లను రక్షించడానికి, రవాణా చేయడానికి మరియు నిల్వ చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక కీలకమైన కంటైనర్. దీని లోపలి భాగంలో 300mm వేఫర్‌ల 25 ముక్కలను ఉంచవచ్చు మరియు దాని ప్రధాన భాగాలలో ఫ్రంట్-ఓపెనింగ్ కంటైనర్ మరియు తెరవడానికి మరియు మూసివేయడానికి ఒక ప్రత్యేక తలుపు ఫ్రేమ్ ఉన్నాయి. FOUP అనేది 12 అంగుళాల వేఫర్ ఫ్యాబ్‌ల లోపల ఆటోమేటెడ్ ట్రాన్స్‌పోర్టేషన్ సిస్టమ్‌లో ఒక కోర్ క్యారియర్. ఇది సాధారణంగా క్లోజ్డ్ స్టేట్‌లో రవాణా చేయబడుతుంది మరియు పరికరాల లోడ్ పోర్ట్‌కు నెట్టినప్పుడు మాత్రమే తెరుచుకుంటుంది, వేఫర్‌లను పరికరాల లోడింగ్/అన్‌లోడింగ్ పోర్ట్‌లోకి బదిలీ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది.

FOUP యొక్క రూపకల్పన సూక్ష్మ-పర్యావరణ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. ఇది వేఫర్ చొప్పించడానికి వెనుక భాగంలో స్లాట్‌లను కలిగి ఉంటుంది మరియు మూత ప్రత్యేకంగా ఓపెనర్ యొక్క బిగింపుకు సరిపోయేలా రూపొందించబడింది. వేఫర్-హ్యాండ్లింగ్ రోబోలు క్లాస్ 1 స్వచ్ఛమైన గాలి వాతావరణంలో పనిచేస్తాయి, ప్రసార సమయంలో వేఫర్‌లు కలుషితం కాకుండా చూసుకుంటాయి. ఇంకా, FOUP ఆటోమేటెడ్ మెటీరియల్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్ (AMHS) ద్వారా ప్రాసెస్ సాధనాల మధ్య తరలించబడుతుంది. ఆధునిక వేఫర్ ఫ్యాబ్‌లు ఎక్కువగా రవాణా కోసం ఓవర్‌హెడ్ రైలు వ్యవస్థలను ఉపయోగిస్తాయి, అయితే కొన్ని పాత ఫ్యాబ్‌లు గ్రౌండ్-బేస్డ్ ఆటోమేటెడ్ గైడెడ్ వెహికల్స్ (AGVలు) ఉపయోగించవచ్చు.

FOUP ఆటోమేటెడ్ వేఫర్ బదిలీని ప్రారంభించడమే కాకుండా నిల్వ ఫంక్షన్‌ను కూడా అందిస్తుంది. అనేక తయారీ దశల కారణంగా, వేఫర్‌లు మొత్తం ప్రక్రియ ప్రవాహాన్ని పూర్తి చేయడానికి నెలలు పట్టవచ్చు. అధిక నెలవారీ ఉత్పత్తి వాల్యూమ్‌లతో కలిపి, దీని అర్థం ఒక ఫ్యాబ్‌లోని పదివేల వేఫర్‌లు ఏ సమయంలోనైనా నిరంతరం రవాణాలో లేదా తాత్కాలిక నిల్వలో ఉంటాయి. నిల్వ సమయంలో, కలుషితాలు వేఫర్‌లను సంప్రదించకుండా నిరోధించడానికి FOUPలు కాలానుగుణంగా నత్రజనితో శుద్ధి చేయబడతాయి, ఇది శుభ్రమైన మరియు నమ్మదగిన ఉత్పత్తి ప్రక్రియను నిర్ధారిస్తుంది.

1. FOUP యొక్క విధులు మరియు ప్రాముఖ్యత

FOUP యొక్క ప్రధాన విధి బాహ్య షాక్ మరియు కాలుష్యం నుండి వేఫర్‌లను రక్షించడం, ముఖ్యంగా బదిలీ సమయంలో దిగుబడిపై ప్రభావాలను నివారించడం. ఇది గ్యాస్ ప్రక్షాళన మరియు స్థానిక వాతావరణ నియంత్రణ (LAC) వంటి పద్ధతుల ద్వారా తేమను సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది, తదుపరి తయారీ దశ కోసం వేచి ఉన్నప్పుడు వేఫర్‌లు సురక్షితమైన స్థితిలో ఉండేలా చేస్తుంది. దీని సీలు చేయబడిన మరియు నియంత్రిత వ్యవస్థ అవసరమైన సమ్మేళనాలు మరియు మూలకాలను మాత్రమే ప్రవేశించడానికి అనుమతిస్తుంది, వేఫర్‌లపై VOCలు, ఆక్సిజన్ మరియు తేమ యొక్క ప్రతికూల ప్రభావాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.

25 వేఫర్‌లతో పూర్తిగా లోడ్ చేయబడిన FOUP 9 కిలోగ్రాముల వరకు బరువు ఉంటుంది కాబట్టి, దాని రవాణా ఆటోమేటెడ్ మెటీరియల్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్ (AMHS)పై ఆధారపడాలి. దీనిని సులభతరం చేయడానికి, FOUP కప్లింగ్ ప్లేట్లు, పిన్‌లు మరియు రంధ్రాల యొక్క వివిధ కలయికలతో రూపొందించబడింది మరియు సులభంగా గుర్తించడం మరియు వర్గీకరించడం కోసం RFID ఎలక్ట్రానిక్ ట్యాగ్‌లతో అమర్చబడి ఉంటుంది. ఈ ఆటోమేటెడ్ హ్యాండ్లింగ్‌కు దాదాపు మాన్యువల్ ఆపరేషన్ అవసరం లేదు, ఇది దోష రేట్లను బాగా తగ్గిస్తుంది మరియు తయారీ ప్రక్రియ యొక్క భద్రత మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని పెంచుతుంది.

2. FOUP​ నిర్మాణం మరియు వర్గీకరణ

FOUP యొక్క సాధారణ కొలతలు సుమారు 420 mm వెడల్పు, 335 mm లోతు మరియు 335 mm ఎత్తు. దీని ప్రధాన నిర్మాణ భాగాలు: ఓవర్ హెడ్ హాయిస్ట్ రవాణా కోసం టాప్ OHT (పుట్టగొడుగు తల); పరికరాల వేఫర్ యాక్సెస్ కోసం ముందు తలుపు; సైడ్ హ్యాండిల్స్, తరచుగా వివిధ కాలుష్య స్థాయిలతో ప్రాసెస్ ప్రాంతాలను వేరు చేయడానికి రంగు కోడ్ చేయబడతాయి; సందేశ కార్డులను ఉంచడానికి కార్డ్ ప్రాంతం; మరియు FOUP కోసం ప్రత్యేక ఐడెంటిఫైయర్‌గా పనిచేసే దిగువ RFID ట్యాగ్, ఇది టూల్స్ మరియు ఓవర్ హెడ్ హాయిస్ట్‌లు దానిని గుర్తించడానికి అనుమతిస్తుంది. బేస్ సాధనాలతో సరిపోలడం మరియు ప్రాసెస్ ప్రాంతాలను వేరు చేయడానికి నాలుగు గుర్తింపు మరియు స్థాన రంధ్రాలతో కూడా అమర్చబడి ఉంటుంది.

వినియోగం ఆధారంగా, FOUP లను మూడు రకాలుగా వర్గీకరించారు: PRD (ఉత్పత్తి కోసం), ENG (ఇంజనీరింగ్ వేఫర్‌ల కోసం) మరియు MON (మానిటర్ వేఫర్‌ల కోసం). PRD FOUP లను ఉత్పత్తి తయారీకి ఉపయోగించవచ్చు, ENG రకాలు R&D లేదా ప్రయోగాలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి మరియు MON రకాలు CMP మరియు DIFF వంటి దశల కోసం ప్రాసెస్ పర్యవేక్షణకు అంకితం చేయబడ్డాయి. PRD FOUP లను ENG మరియు MON ప్రయోజనాల కోసం ఉపయోగించవచ్చని మరియు ENG రకాలను MON కోసం ఉపయోగించవచ్చని గమనించడం ముఖ్యం, కానీ రివర్స్ ఆపరేషన్ నాణ్యత ప్రమాదాలను కలిగిస్తుంది.

కాలుష్య స్థాయి ఆధారంగా వర్గీకరించబడిన FOUPలను FE FOUP (ఫ్రంట్-ఎండ్ ప్రాసెస్, మెటల్-ఫ్రీ), BE FOUP (బ్యాక్-ఎండ్ ప్రాసెస్, మెటల్ కలిగి ఉంటుంది) మరియు NI FOUP, CU FOUP మరియు CO FOUP వంటి నిర్దిష్ట లోహ ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకమైనవిగా విభజించవచ్చు. వివిధ ప్రక్రియల కోసం FOUPలు సాధారణంగా సైడ్ హ్యాండిల్స్ లేదా డోర్ ప్యానెల్‌ల రంగు ద్వారా వేరు చేయబడతాయి. ఫ్రంట్-ఎండ్ ప్రాసెస్‌ల నుండి FOUPలను బ్యాక్-ఎండ్ ప్రాసెస్‌లలో ఉపయోగించవచ్చు, కానీ బ్యాక్-ఎండ్ FOUPలను ఫ్రంట్-ఎండ్ ప్రాసెస్‌లలో ఎప్పుడూ ఉపయోగించకూడదు, ఎందుకంటే ఇది కాలుష్య ప్రమాదాలకు కారణమవుతుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలకమైన క్యారియర్‌గా, FOUP, అధిక ఆటోమేషన్ మరియు కఠినమైన కాలుష్య నియంత్రణ ద్వారా, ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో వేఫర్‌ల భద్రత మరియు శుభ్రతను నిర్ధారిస్తుంది, ఇది ఆధునిక వేఫర్ ఫ్యాబ్‌లలో ఒక అనివార్యమైన మౌలిక సదుపాయాలుగా మారుతుంది.

ముగింపు

XKH మీ నిర్దిష్ట ప్రక్రియ అవసరాలు మరియు పరికరాల ఇంటర్‌ఫేస్ స్పెసిఫికేషన్‌లకు ఖచ్చితంగా కట్టుబడి, అత్యంత అనుకూలీకరించిన ఫ్రంట్-ఓపెనింగ్ యూనిఫైడ్ పాడ్ (FOUP) పరిష్కారాలను వినియోగదారులకు అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. అధునాతన మెటీరియల్ టెక్నాలజీ మరియు ఖచ్చితమైన తయారీ ప్రక్రియలను ఉపయోగించి, ప్రతి FOUP ఉత్పత్తి అసాధారణమైన గాలి బిగుతు, శుభ్రత మరియు యాంత్రిక స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుందని మేము నిర్ధారిస్తాము. మా సాంకేతిక బృందం లోతైన పరిశ్రమ నైపుణ్యాన్ని కలిగి ఉంది, ఎంపిక సంప్రదింపులు మరియు నిర్మాణాత్మక ఆప్టిమైజేషన్ నుండి శుభ్రపరచడం మరియు నిర్వహణ వరకు సమగ్ర జీవితచక్ర మద్దతును అందిస్తుంది - FOUP మరియు మీ ఆటోమేటెడ్ మెటీరియల్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్ (AMHS) అలాగే ప్రాసెసింగ్ పరికరాల మధ్య సజావుగా ఏకీకరణ మరియు సమర్థవంతమైన సహకారాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. మేము వేఫర్‌ల భద్రత మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని పెంచడాన్ని మా ప్రధాన లక్ష్యాలుగా స్థిరంగా ప్రాధాన్యత ఇస్తాము. వినూత్న ఉత్పత్తులు మరియు అన్నింటిని కలిగి ఉన్న సాంకేతిక సేవల ద్వారా, మేము మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు బలమైన హామీని అందిస్తాము, చివరికి ఉత్పత్తి సామర్థ్యం మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని పెంచుతాము.