వేఫర్ తయారీలో SPC వ్యవస్థపై లోతైన అవగాహన

1. SPC సిస్టమ్ యొక్క అవలోకనం

SPC అనేది ఉత్పాదక ప్రక్రియలను పర్యవేక్షించడానికి మరియు నియంత్రించడానికి గణాంక పద్ధతులను ఉపయోగించే ఒక పద్ధతి. నిజ-సమయ డేటాను సేకరించడం మరియు విశ్లేషించడం ద్వారా ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో క్రమరాహిత్యాలను గుర్తించడం, ఇంజనీర్లు సకాలంలో సర్దుబాట్లు మరియు నిర్ణయాలు తీసుకోవడంలో సహాయపడటం దీని ప్రధాన విధి. SPC యొక్క లక్ష్యం ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో వైవిధ్యాన్ని తగ్గించడం, ఉత్పత్తి నాణ్యత స్థిరంగా మరియు స్పెసిఫికేషన్‌లకు అనుగుణంగా ఉండేలా చూసుకోవడం.

SPC చెక్కడం ప్రక్రియలో ఉపయోగించబడుతుంది:

క్లిష్టమైన పరికరాల పారామితులను పర్యవేక్షించండి (ఉదా, ఎట్చ్ రేట్, RF పవర్, ఛాంబర్ ప్రెజర్, ఉష్ణోగ్రత మొదలైనవి)

కీలకమైన ఉత్పత్తి నాణ్యత సూచికలను విశ్లేషించండి (ఉదా, లైన్‌విడ్త్, ఎట్చ్ డెప్త్, ఎడ్జ్ కరుకుదనం మొదలైనవి)

ఈ పారామితులను పర్యవేక్షించడం ద్వారా, ఇంజనీర్లు పరికరాల పనితీరు క్షీణత లేదా ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో వ్యత్యాసాలను సూచించే ట్రెండ్‌లను గుర్తించగలరు, తద్వారా స్క్రాప్ రేట్లను తగ్గించవచ్చు.

2. SPC సిస్టమ్ యొక్క ప్రాథమిక భాగాలు

SPC వ్యవస్థ అనేక కీలక మాడ్యూళ్లతో కూడి ఉంటుంది:

డేటా సేకరణ మాడ్యూల్: పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ ప్రవాహాల నుండి నిజ-సమయ డేటాను సేకరిస్తుంది (ఉదా, FDC, EES వ్యవస్థల ద్వారా) మరియు ముఖ్యమైన పారామితులు మరియు ఉత్పత్తి ఫలితాలను నమోదు చేస్తుంది.

నియంత్రణ చార్ట్ మాడ్యూల్: ప్రాసెస్ స్థిరత్వాన్ని దృశ్యమానం చేయడానికి మరియు ప్రక్రియ నియంత్రణలో ఉందో లేదో తెలుసుకోవడానికి గణాంక నియంత్రణ చార్ట్‌లను (ఉదా, X-బార్ చార్ట్, R చార్ట్, Cp/Cpk చార్ట్) ఉపయోగిస్తుంది.

అలారం సిస్టమ్: క్లిష్టమైన పారామితులు నియంత్రణ పరిమితులను అధిగమించినప్పుడు లేదా ట్రెండ్ మార్పులను చూపినప్పుడు అలారాలను ట్రిగ్గర్ చేస్తుంది, ఇంజనీర్‌లను చర్య తీసుకోమని ప్రాంప్ట్ చేస్తుంది.

విశ్లేషణ మరియు రిపోర్టింగ్ మాడ్యూల్: SPC చార్ట్‌ల ఆధారంగా క్రమరాహిత్యాల మూల కారణాన్ని విశ్లేషిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ మరియు పరికరాల కోసం పనితీరు నివేదికలను క్రమం తప్పకుండా రూపొందిస్తుంది.

3. SPCలో కంట్రోల్ చార్ట్‌ల వివరణాత్మక వివరణ

నియంత్రణ పటాలు SPCలో సాధారణంగా ఉపయోగించే సాధనాల్లో ఒకటి, ఇది "సాధారణ వైవిధ్యం" (సహజ ప్రక్రియ వైవిధ్యాల వల్ల ఏర్పడుతుంది) మరియు "అసాధారణ వైవిధ్యం" (పరికరాల వైఫల్యాలు లేదా ప్రాసెస్ విచలనాల వల్ల ఏర్పడినవి) మధ్య తేడాను గుర్తించడంలో సహాయపడతాయి. సాధారణ నియంత్రణ పటాలు:

X-బార్ మరియు R చార్ట్‌లు: ప్రక్రియ స్థిరంగా ఉందో లేదో పరిశీలించడానికి ఉత్పత్తి బ్యాచ్‌లలోని సగటు మరియు పరిధిని పర్యవేక్షించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

Cp మరియు Cpk సూచికలు: ప్రాసెస్ సామర్థ్యాన్ని కొలవడానికి ఉపయోగిస్తారు, అనగా, ప్రాసెస్ అవుట్‌పుట్ స్థిరంగా స్పెసిఫికేషన్ అవసరాలను తీర్చగలదా. Cp సంభావ్య సామర్థ్యాన్ని కొలుస్తుంది, అయితే Cpk స్పెసిఫికేషన్ పరిమితుల నుండి ప్రక్రియ కేంద్రం యొక్క విచలనాన్ని పరిగణిస్తుంది.

ఉదాహరణకు, ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, మీరు ఎట్చ్ రేట్ మరియు ఉపరితల కరుకుదనం వంటి పారామితులను పర్యవేక్షించవచ్చు. ఒక నిర్దిష్ట పరికరం యొక్క ఎట్చ్ రేటు నియంత్రణ పరిమితిని మించి ఉంటే, ఇది సహజమైన వైవిధ్యమా లేదా పరికరాలు పనిచేయకపోవడాన్ని సూచిస్తుందా అని నిర్ధారించడానికి మీరు నియంత్రణ చార్ట్‌లను ఉపయోగించవచ్చు.

4. ఎచింగ్ ఎక్విప్‌మెంట్‌లో SPC అప్లికేషన్

ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, పరికరాల పారామితులను నియంత్రించడం చాలా కీలకం, మరియు SPC కింది మార్గాల్లో ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది:

ఎక్విప్‌మెంట్ కండిషన్ మానిటరింగ్: FDC వంటి సిస్టమ్‌లు ఎచింగ్ పరికరాల కీలక పారామితులపై నిజ-సమయ డేటాను సేకరిస్తాయి (ఉదా, RF పవర్, గ్యాస్ ఫ్లో) మరియు ఈ డేటాను SPC నియంత్రణ చార్ట్‌లతో కలిపి సంభావ్య పరికరాల సమస్యలను గుర్తించడం. ఉదాహరణకు, నియంత్రణ చార్ట్‌లోని RF పవర్ సెట్ విలువ నుండి క్రమంగా వైదొలగుతున్నట్లు మీరు చూసినట్లయితే, ఉత్పత్తి నాణ్యతపై ప్రభావం చూపకుండా ఉండటానికి మీరు సర్దుబాటు లేదా నిర్వహణ కోసం ముందస్తు చర్య తీసుకోవచ్చు.

ఉత్పత్తి నాణ్యత పర్యవేక్షణ: మీరు వాటి స్థిరత్వాన్ని పర్యవేక్షించడానికి SPC సిస్టమ్‌లో కీలకమైన ఉత్పత్తి నాణ్యత పారామితులను (ఉదా, etch లోతు, లైన్‌విడ్త్) కూడా ఇన్‌పుట్ చేయవచ్చు. కొన్ని క్లిష్టమైన ఉత్పత్తి సూచికలు లక్ష్య విలువల నుండి క్రమంగా వైదొలగినట్లయితే, SPC సిస్టమ్ ప్రక్రియ సర్దుబాట్లు అవసరమని సూచిస్తూ అలారం జారీ చేస్తుంది.

ప్రివెంటివ్ మెయింటెనెన్స్ (PM): SPC పరికరాల కోసం నివారణ నిర్వహణ చక్రాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడంలో సహాయపడుతుంది. పరికరాల పనితీరు మరియు ప్రక్రియ ఫలితాలపై దీర్ఘకాలిక డేటాను విశ్లేషించడం ద్వారా, మీరు పరికరాల నిర్వహణ కోసం సరైన సమయాన్ని నిర్ణయించవచ్చు. ఉదాహరణకు, RF శక్తి మరియు ESC జీవితకాలాన్ని పర్యవేక్షించడం ద్వారా, మీరు ఎప్పుడు శుభ్రపరచడం లేదా భాగాలను మార్చడం అవసరమో నిర్ణయించవచ్చు, పరికరాల వైఫల్యం రేట్లు మరియు ఉత్పత్తి సమయాలను తగ్గించడం.

5. SPC సిస్టమ్ కోసం రోజువారీ వినియోగ చిట్కాలు

రోజువారీ కార్యకలాపాలలో SPC వ్యవస్థను ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు, ఈ క్రింది దశలను అనుసరించవచ్చు:

కీ నియంత్రణ పారామితులను నిర్వచించండి (KPI): ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో అత్యంత ముఖ్యమైన పారామితులను గుర్తించండి మరియు వాటిని SPC పర్యవేక్షణలో చేర్చండి. ఈ పారామితులు ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు పరికరాల పనితీరుతో దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉండాలి.

నియంత్రణ పరిమితులు మరియు అలారం పరిమితులను సెట్ చేయండి: చారిత్రక డేటా మరియు ప్రాసెస్ అవసరాల ఆధారంగా, ప్రతి పరామితికి సహేతుకమైన నియంత్రణ పరిమితులు మరియు అలారం పరిమితులను సెట్ చేయండి. నియంత్రణ పరిమితులు సాధారణంగా ±3σ (ప్రామాణిక విచలనాలు) వద్ద సెట్ చేయబడతాయి, అయితే అలారం పరిమితులు ప్రక్రియ మరియు పరికరాల నిర్దిష్ట పరిస్థితులపై ఆధారపడి ఉంటాయి.

నిరంతర పర్యవేక్షణ మరియు విశ్లేషణ: డేటా ట్రెండ్‌లు మరియు వైవిధ్యాలను విశ్లేషించడానికి SPC నియంత్రణ చార్ట్‌లను క్రమం తప్పకుండా సమీక్షించండి. కొన్ని పారామితులు నియంత్రణ పరిమితులను మించి ఉంటే, పరికరాల పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం లేదా పరికరాల నిర్వహణను నిర్వహించడం వంటి తక్షణ చర్య అవసరం.

అసహజత నిర్వహణ మరియు మూల కారణ విశ్లేషణ: అసాధారణత సంభవించినప్పుడు, SPC సిస్టమ్ సంఘటన గురించి వివరణాత్మక సమాచారాన్ని నమోదు చేస్తుంది. మీరు ఈ సమాచారం ఆధారంగా అసహజత యొక్క మూల కారణాన్ని ట్రబుల్షూట్ చేయాలి మరియు విశ్లేషించాలి. పరికరాల వైఫల్యం, ప్రాసెస్ విచలనం లేదా బాహ్య పర్యావరణ కారకాల వల్ల సమస్య ఏర్పడిందా అని విశ్లేషించడానికి FDC సిస్టమ్‌లు, EES సిస్టమ్‌లు మొదలైన వాటి నుండి డేటాను కలపడం తరచుగా సాధ్యపడుతుంది.

నిరంతర అభివృద్ధి: SPC సిస్టమ్ ద్వారా నమోదు చేయబడిన చారిత్రక డేటాను ఉపయోగించి, ప్రక్రియలో బలహీనమైన అంశాలను గుర్తించి, అభివృద్ధి ప్రణాళికలను ప్రతిపాదించండి. ఉదాహరణకు, ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, ESC జీవితకాలం మరియు పరికరాల నిర్వహణ చక్రాలపై శుభ్రపరిచే పద్ధతుల ప్రభావాన్ని విశ్లేషించండి మరియు పరికరాల నిర్వహణ పారామితులను నిరంతరం ఆప్టిమైజ్ చేయండి.

6. ప్రాక్టికల్ అప్లికేషన్ కేస్

ఒక ఆచరణాత్మక ఉదాహరణగా, మీరు E-MAX ఎచింగ్ ఎక్విప్‌మెంట్‌కు బాధ్యత వహిస్తున్నారని అనుకుందాం మరియు ఛాంబర్ కాథోడ్ అకాల దుస్తులు ధరిస్తోంది, ఇది D0 (BARC లోపం) విలువల పెరుగుదలకు దారి తీస్తుంది. SPC సిస్టమ్ ద్వారా RF పవర్ మరియు ఎట్చ్ రేట్‌ను పర్యవేక్షించడం ద్వారా, ఈ పారామీటర్‌లు వాటి సెట్ విలువల నుండి క్రమంగా వైదొలిగే ధోరణిని మీరు గమనించవచ్చు. SPC అలారం ట్రిగ్గర్ చేయబడిన తర్వాత, మీరు FDC సిస్టమ్ నుండి డేటాను మిళితం చేసి, ఛాంబర్ లోపల అస్థిర ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వల్ల సమస్య ఏర్పడిందని నిర్ధారిస్తారు. మీరు కొత్త శుభ్రపరిచే పద్ధతులు మరియు నిర్వహణ వ్యూహాలను అమలు చేస్తారు, చివరికి D0 విలువను 4.3 నుండి 2.4కి తగ్గించి, తద్వారా ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

7.XINKEHUIలో మీరు పొందవచ్చు.

XINKEHUI వద్ద, మీరు సిలికాన్ పొర అయినా లేదా SiC పొర అయినా ఖచ్చితమైన పొరను సాధించవచ్చు. ఖచ్చితత్వం మరియు పనితీరుపై దృష్టి సారిస్తూ వివిధ పరిశ్రమల కోసం అత్యుత్తమ నాణ్యత కలిగిన పొరలను అందించడంలో మేము ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.