సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ నిరంతర అభివృద్ధితో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలో కూడా, వేఫర్ సబ్‌స్ట్రేట్ లేదా ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ఉపరితల నాణ్యతకు సంబంధించిన అవసరాలు కూడా చాలా కఠినంగా ఉంటాయి. కాబట్టి, వేఫర్‌లకు నాణ్యత అవసరాలు ఏమిటి?నీలమణి పొరఉదాహరణకు, వేఫర్ల ఉపరితల నాణ్యతను అంచనా వేయడానికి ఏ సూచికలను ఉపయోగించవచ్చు?
వేఫర్ల మూల్యాంకన సూచికలు ఏమిటి?
మూడు సూచికలు
నీలమణి పొరల కోసం, దాని మూల్యాంకన సూచికలు మొత్తం మందం విచలనం (TTV), వంపు (విల్లు) మరియు వార్ప్ (వార్ప్). ఈ మూడు పారామితులు కలిసి సిలికాన్ పొర యొక్క చదును మరియు మందం ఏకరూపతను ప్రతిబింబిస్తాయి మరియు పొర యొక్క అలల స్థాయిని కొలవగలవు. పొర ఉపరితలం యొక్క నాణ్యతను అంచనా వేయడానికి ముడతలను చదునుతో కలపవచ్చు.
TTV, BOW, వార్ప్ అంటే ఏమిటి?
TTV (మొత్తం మందం వైవిధ్యం)
TTV అనేది వేఫర్ యొక్క గరిష్ట మరియు కనిష్ట మందం మధ్య వ్యత్యాసం. ఈ పరామితి వేఫర్ మందం ఏకరూపతను కొలవడానికి ఉపయోగించే ఒక ముఖ్యమైన సూచిక. సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలో, వేఫర్ యొక్క మందం మొత్తం ఉపరితలంపై చాలా ఏకరీతిగా ఉండాలి. సాధారణంగా వేఫర్‌పై ఐదు ప్రదేశాలలో కొలతలు చేయబడతాయి మరియు తేడా లెక్కించబడుతుంది. అంతిమంగా, ఈ విలువ వేఫర్ నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి ఒక ముఖ్యమైన ఆధారం.
విల్లు
సెమీకండక్టర్ తయారీలో విల్లు అనేది వేఫర్ యొక్క వంపును సూచిస్తుంది, ఇది అన్‌క్లాంప్డ్ వేఫర్ యొక్క మధ్య బిందువు మరియు రిఫరెన్స్ ప్లేన్ మధ్య దూరాన్ని విడిపిస్తుంది. ఈ పదం బహుశా ఒక వస్తువు వంగినప్పుడు దాని ఆకారం యొక్క వివరణ నుండి వచ్చింది, విల్లు యొక్క వక్ర ఆకారం లాగా. విల్లు విలువ సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క మధ్య మరియు అంచు మధ్య విచలనాన్ని కొలవడం ద్వారా నిర్వచించబడుతుంది. ఈ విలువ సాధారణంగా మైక్రోమీటర్లలో (µm) వ్యక్తీకరించబడుతుంది.
వార్ప్
వార్ప్ అనేది వేఫర్ల యొక్క ప్రపంచ ఆస్తి, ఇది స్వేచ్ఛగా అన్‌క్లాంప్ చేయబడిన వేఫర్ మధ్య భాగం మరియు రిఫరెన్స్ ప్లేన్ మధ్య గరిష్ట మరియు కనిష్ట దూరం మధ్య వ్యత్యాసాన్ని కొలుస్తుంది. సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితలం నుండి ప్లేన్ వరకు ఉన్న దూరాన్ని సూచిస్తుంది.
TTV, బో, వార్ప్ మధ్య తేడా ఏమిటి?
TTV మందంలో మార్పులపై దృష్టి పెడుతుంది మరియు వేఫర్ యొక్క వంపు లేదా వక్రీకరణతో సంబంధం కలిగి ఉండదు.
విల్లు మొత్తం వంపుపై దృష్టి పెడుతుంది, ప్రధానంగా మధ్య బిందువు మరియు అంచు యొక్క వంపును పరిగణనలోకి తీసుకుంటుంది.
వార్ప్ మరింత సమగ్రమైనది, ఇందులో మొత్తం వేఫర్ ఉపరితలం వంగడం మరియు మెలితిప్పడం వంటివి ఉంటాయి.
ఈ మూడు పారామితులు సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఆకారం మరియు రేఖాగణిత లక్షణాలకు సంబంధించినవి అయినప్పటికీ, వాటిని కొలుస్తారు మరియు భిన్నంగా వివరిస్తారు మరియు సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ మరియు వేఫర్ ప్రాసెసింగ్‌పై వాటి ప్రభావం కూడా భిన్నంగా ఉంటుంది.
మూడు పారామితులు చిన్నవిగా ఉంటే, మంచిది మరియు పరామితి పెద్దదిగా ఉంటే, సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియపై ప్రతికూల ప్రభావం ఎక్కువగా ఉంటుంది. అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ ప్రాక్టీషనర్‌గా, మొత్తం ప్రక్రియ ప్రక్రియకు వేఫర్ ప్రొఫైల్ పారామితుల ప్రాముఖ్యతను మనం గ్రహించాలి, సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ చేయండి, వివరాలకు శ్రద్ధ వహించాలి.
(సెన్సరింగ్)
పోస్ట్ సమయం: జూన్-24-2024