పొర ఉపరితల నాణ్యత మూల్యాంకనం యొక్క సూచికలు ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ యొక్క నిరంతర అభివృద్ధితో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలో కూడా, పొర ఉపరితలం లేదా ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ఉపరితల నాణ్యత అవసరాలు కూడా చాలా కఠినంగా ఉంటాయి.కాబట్టి, పొరల నాణ్యత అవసరాలు ఏమిటి?నీలమణి పొరలను ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, పొరల ఉపరితల నాణ్యతను అంచనా వేయడానికి ఏ సూచికలను ఉపయోగించవచ్చు?

పొరల మూల్యాంకన సూచికలు ఏమిటి?

మూడు సూచికలు
నీలమణి పొరల కోసం, దాని మూల్యాంకన సూచికలు మొత్తం మందం విచలనం (TTV), బెండ్ (బో) మరియు వార్ప్ (వార్ప్).ఈ మూడు పారామితులు కలిసి సిలికాన్ పొర యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు మందం ఏకరూపతను ప్రతిబింబిస్తాయి మరియు పొర యొక్క అలల స్థాయిని కొలవగలవు.పొర ఉపరితలం యొక్క నాణ్యతను అంచనా వేయడానికి ముడతలు ఫ్లాట్‌నెస్‌తో కలపవచ్చు.

hh5

TTV, BOW, Warp అంటే ఏమిటి?
TTV (మొత్తం మందం వైవిధ్యం)

hh8

TTV అనేది పొర యొక్క గరిష్ట మరియు కనిష్ట మందం మధ్య వ్యత్యాసం.ఈ పరామితి పొర మందం ఏకరూపతను కొలవడానికి ఉపయోగించే ముఖ్యమైన సూచిక.సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలో, పొర యొక్క మందం మొత్తం ఉపరితలంపై చాలా ఏకరీతిగా ఉండాలి.కొలతలు సాధారణంగా పొరపై ఐదు స్థానాల్లో తయారు చేయబడతాయి మరియు వ్యత్యాసం లెక్కించబడుతుంది.అంతిమంగా, పొర యొక్క నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి ఈ విలువ ఒక ముఖ్యమైన ఆధారం.

విల్లు

hh7

సెమీకండక్టర్ తయారీలో విల్లు అనేది పొర యొక్క వంపుని సూచిస్తుంది, ఇది బిగించని పొర యొక్క మధ్య బిందువు మరియు రిఫరెన్స్ ప్లేన్ మధ్య దూరాన్ని విముక్తి చేస్తుంది.ఈ పదం బహుశా ఒక వస్తువు వంగినప్పుడు, విల్లు యొక్క వక్ర ఆకారం వలె దాని ఆకారాన్ని వర్ణించడం నుండి వచ్చింది.సిలికాన్ పొర యొక్క కేంద్రం మరియు అంచు మధ్య విచలనాన్ని కొలవడం ద్వారా విల్లు విలువ నిర్వచించబడుతుంది.ఈ విలువ సాధారణంగా మైక్రోమీటర్లలో (µm) వ్యక్తీకరించబడుతుంది.

వార్ప్

hh6

వార్ప్ అనేది పొరల యొక్క గ్లోబల్ ప్రాపర్టీ, ఇది ఫ్రీగా అన్‌క్లాంప్డ్ పొర మధ్యలో మరియు రిఫరెన్స్ ప్లేన్ మధ్య గరిష్ట మరియు కనిష్ట దూరం మధ్య వ్యత్యాసాన్ని కొలుస్తుంది.సిలికాన్ పొర యొక్క ఉపరితలం నుండి విమానం వరకు ఉన్న దూరాన్ని సూచిస్తుంది.

b-pic

TTV, Bow, Warp మధ్య తేడా ఏమిటి?

TTV మందంలోని మార్పులపై దృష్టి పెడుతుంది మరియు పొర యొక్క వంపు లేదా వక్రీకరణకు సంబంధించినది కాదు.

విల్లు మొత్తం వంపుపై దృష్టి పెడుతుంది, ప్రధానంగా సెంటర్ పాయింట్ మరియు అంచు యొక్క వంపును పరిగణనలోకి తీసుకుంటుంది.

వార్ప్ మొత్తం పొర ఉపరితలం యొక్క వంగడం మరియు మెలితిప్పడంతో సహా మరింత సమగ్రంగా ఉంటుంది.

ఈ మూడు పారామితులు సిలికాన్ పొర యొక్క ఆకారం మరియు రేఖాగణిత లక్షణాలకు సంబంధించినవి అయినప్పటికీ, అవి వేర్వేరుగా కొలుస్తారు మరియు వివరించబడతాయి మరియు సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ మరియు పొర ప్రాసెసింగ్‌పై వాటి ప్రభావం కూడా భిన్నంగా ఉంటుంది.

మూడు పారామితులు చిన్నవి, మంచివి మరియు పెద్ద పరామితి, సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియపై ప్రతికూల ప్రభావం ఎక్కువ.అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ ప్రాక్టీషనర్‌గా, మొత్తం ప్రక్రియ ప్రక్రియ కోసం వేఫర్ ప్రొఫైల్ పారామితుల యొక్క ప్రాముఖ్యతను మనం గ్రహించాలి, సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ చేయండి, వివరాలపై శ్రద్ధ వహించాలి.

(సెన్సరింగ్)


పోస్ట్ సమయం: జూన్-24-2024