వేఫర్లలో TTV, BOW, WARP మరియు TIR అంటే ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ వేఫర్లు లేదా ఇతర పదార్థాలతో తయారు చేయబడిన సబ్‌స్ట్రేట్‌లను పరిశీలించేటప్పుడు, మనం తరచుగా సాంకేతిక సూచికలను ఎదుర్కొంటాము: TTV, BOW, WARP, మరియు బహుశా TIR, STIR, LTV, ఇతరాలు. ఇవి ఏ పారామితులను సూచిస్తాయి?

 

TTV — మొత్తం మందం వైవిధ్యం
విల్లు - విల్లు
వార్ప్ - వార్ప్
TIR — మొత్తం సూచించిన పఠనం
STIR — సైట్ మొత్తం సూచించిన పఠనం
LTV — స్థానిక మందం వైవిధ్యం

 

1. మొత్తం మందం వైవిధ్యం — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7వేఫర్ బిగించబడినప్పుడు మరియు దగ్గరి సంబంధంలో ఉన్నప్పుడు రిఫరెన్స్ ప్లేన్‌కు సంబంధించి వేఫర్ యొక్క గరిష్ట మరియు కనిష్ట మందం మధ్య వ్యత్యాసం. ఇది సాధారణంగా మైక్రోమీటర్లలో (μm) వ్యక్తీకరించబడుతుంది, తరచుగా ఇలా సూచించబడుతుంది: ≤15 μm.

 

2. విల్లు — విల్లు

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12 ద్వారా మరిన్ని

వేఫర్ స్వేచ్ఛా (అన్‌క్లాంప్డ్) స్థితిలో ఉన్నప్పుడు వేఫర్ ఉపరితలం యొక్క మధ్య బిందువు నుండి రిఫరెన్స్ ప్లేన్‌కు కనిష్ట మరియు గరిష్ట దూరం మధ్య విచలనం. ఇందులో పుటాకార (ప్రతికూల విల్లు) మరియు కుంభాకార (సానుకూల విల్లు) కేసులు రెండూ ఉంటాయి. ఇది సాధారణంగా మైక్రోమీటర్లలో (μm) వ్యక్తీకరించబడుతుంది, తరచుగా ఇలా సూచించబడుతుంది: ≤40 μm.

 

3. వార్ప్ - వార్ప్

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

వేఫర్ స్వేచ్ఛా (అన్‌క్లాంప్డ్) స్థితిలో ఉన్నప్పుడు వేఫర్ ఉపరితలం నుండి రిఫరెన్స్ ప్లేన్‌కు (సాధారణంగా వేఫర్ వెనుక ఉపరితలం) కనిష్ట మరియు గరిష్ట దూరం మధ్య విచలనం. ఇందులో కాన్కేవ్ (నెగటివ్ వార్ప్) మరియు కుంభాకార (పాజిటివ్ వార్ప్) కేసులు రెండూ ఉంటాయి. ఇది సాధారణంగా మైక్రోమీటర్లలో (μm) వ్యక్తీకరించబడుతుంది, తరచుగా ఇలా సూచించబడుతుంది: ≤30 μm.

 

4. మొత్తం సూచించిన పఠనం - TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4 ద్వారా మరిన్ని

 

వేఫర్ బిగించబడి, దగ్గరి సంబంధంలో ఉన్నప్పుడు, నాణ్యత ప్రాంతం లేదా వేఫర్ ఉపరితలంపై పేర్కొన్న స్థానిక ప్రాంతంలోని అన్ని పాయింట్ల అంతరాయాల మొత్తాన్ని తగ్గించే రిఫరెన్స్ ప్లేన్‌ను ఉపయోగించి, TIR అనేది వేఫర్ ఉపరితలం నుండి ఈ రిఫరెన్స్ ప్లేన్‌కు గరిష్ట మరియు కనిష్ట దూరాల మధ్య విచలనం.

 

TTV, BOW, WARP, మరియు TIR వంటి సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ స్పెసిఫికేషన్లలో లోతైన నైపుణ్యం ఆధారంగా స్థాపించబడిన XKH, కఠినమైన పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఖచ్చితమైన కస్టమ్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ సేవలను అందిస్తుంది. ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్, పవర్ పరికరాలు మరియు MEMSలలో అధునాతన అనువర్తనాల కోసం అసాధారణమైన ఫ్లాట్‌నెస్, మందం స్థిరత్వం మరియు ఉపరితల నాణ్యతను నిర్ధారిస్తూ, నీలమణి, సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC), సిలికాన్ వేఫర్‌లు, SOI మరియు క్వార్ట్జ్‌తో సహా విస్తృత శ్రేణి అధిక-పనితీరు గల పదార్థాలను మేము సరఫరా చేస్తాము మరియు మద్దతు ఇస్తాము. మీ అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న డిజైన్ అవసరాలను తీర్చే నమ్మకమైన మెటీరియల్ సొల్యూషన్స్ మరియు ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్‌ను అందించడానికి మమ్మల్ని నమ్మండి.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


పోస్ట్ సమయం: ఆగస్టు-29-2025