P-రకం SiC పొర 4H/6H-P 3C-N 6అంగుళాల మందం 350 μm ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్‌తో
స్పెసిఫికేషన్4H/6H-P రకం SiC కాంపోజిట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు సాధారణ పారామితి పట్టిక
6 అంగుళం వ్యాసం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సబ్‌స్ట్రేట్ స్పెసిఫికేషన్
| గ్రేడ్ | జీరో MPD ఉత్పత్తిగ్రేడ్ (Z గ్రేడ్) | ప్రామాణిక ఉత్పత్తిగ్రేడ్ (పి గ్రేడ్) | డమ్మీ గ్రేడ్ (D గ్రేడ్) | ||
| వ్యాసం | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
| మందం | 350 μm ± 25 μm | ||||
| వేఫర్ ఓరియంటేషన్ | -Offఅక్షం: 2.0°-4.0° వైపు [1120] ± 0.5° 4H/6H-P, అక్షంపై:〈111〉± 3C-N కోసం 0.5° | ||||
| మైక్రోపైప్ సాంద్రత | 0 సెం.మీ-2 | ||||
| రెసిస్టివిటీ | p-రకం 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-రకం 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 మీ Ωꞏcm | |||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| సెకండరీ ఫ్లాట్ పొడవు | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| సెకండరీ ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | సిలికాన్ ముఖం: 90° CW. ప్రైమ్ ఫ్లాట్ ± 5.0° నుండి | ||||
| ఎడ్జ్ మినహాయింపు | 3 మి.మీ | 6 మి.మీ | |||
| LTV/TTV/బో / వార్ప్ | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| కరుకుదనం | పోలిష్ Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | రా≤0.5 nm | ||||
| అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా అంచు పగుళ్లు | ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు ≤ 10 mm, ఒకే పొడవు≤2 mm | |||
| హై ఇంటెన్సిటీ లైట్ ద్వారా హెక్స్ ప్లేట్లు | సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% | సంచిత ప్రాంతం ≤0.1% | |||
| అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా పాలీటైప్ ప్రాంతాలు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం≤3% | |||
| విజువల్ కార్బన్ చేరికలు | సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% | సంచిత ప్రాంతం ≤3% | |||
| అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల గీతలు | ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు≤1×వేఫర్ వ్యాసం | |||
| ఇంటెన్సిటీ లైట్ ద్వారా ఎడ్జ్ చిప్స్ హై | ≥0.2mm వెడల్పు మరియు లోతు ఏదీ అనుమతించబడలేదు | 5 అనుమతించబడింది, ఒక్కొక్కటి ≤1 మిమీ | |||
| అధిక తీవ్రత ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | ||||
| ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ లేదా సింగిల్ వేఫర్ కంటైనర్ | ||||
గమనికలు:
※ లోపాల పరిమితులు అంచు మినహాయింపు ప్రాంతం మినహా మొత్తం పొర ఉపరితలంపై వర్తిస్తాయి. # Si ముఖం o పై గీతలు తనిఖీ చేయాలి
P-రకం SiC పొర, 4H/6H-P 3C-N, దాని 6-అంగుళాల పరిమాణం మరియు 350 μm మందంతో, అధిక-పనితీరు గల పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ యొక్క పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బ్రేక్డౌన్ వోల్టేజ్ విద్యుత్ వాహనాలు, పవర్ గ్రిడ్‌లు మరియు పునరుత్పాదక ఇంధన వ్యవస్థల వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉపయోగించే పవర్ స్విచ్‌లు, డయోడ్‌లు మరియు ట్రాన్సిస్టర్‌ల వంటి భాగాల తయారీకి అనువైనదిగా చేస్తుంది. కఠినమైన పరిస్థితులలో సమర్ధవంతంగా పనిచేసే పొర యొక్క సామర్థ్యం అధిక శక్తి సాంద్రత మరియు శక్తి సామర్థ్యం అవసరమయ్యే పారిశ్రామిక అనువర్తనాల్లో విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది. అదనంగా, దాని ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ పరికరం తయారీ సమయంలో ఖచ్చితమైన అమరికలో సహాయపడుతుంది, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మరియు ఉత్పత్తి అనుగుణ్యతను పెంచుతుంది.
N-రకం SiC కాంపోజిట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ల ప్రయోజనాలు ఉన్నాయి
- అధిక ఉష్ణ వాహకత: P-రకం SiC పొరలు వేడిని సమర్ధవంతంగా వెదజల్లుతాయి, వాటిని అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు అనువైనవిగా చేస్తాయి.
- అధిక బ్రేక్డౌన్ వోల్టేజ్: అధిక వోల్టేజీలను తట్టుకునే సామర్థ్యం, పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు అధిక-వోల్టేజ్ పరికరాలలో విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడం.
- కఠినమైన వాతావరణాలకు ప్రతిఘటన: అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు తినివేయు వాతావరణాలు వంటి తీవ్రమైన పరిస్థితుల్లో అద్భుతమైన మన్నిక.
- సమర్థవంతమైన శక్తి మార్పిడి: P-టైప్ డోపింగ్ సమర్థవంతమైన పవర్ హ్యాండ్లింగ్‌ను సులభతరం చేస్తుంది, శక్తి మార్పిడి వ్యవస్థలకు పొరను అనుకూలంగా చేస్తుంది.
- ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్: తయారీ సమయంలో ఖచ్చితమైన అమరికను నిర్ధారిస్తుంది, పరికర ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.
- సన్నని నిర్మాణం (350 μm): పొర యొక్క సరైన మందం అధునాతన, స్పేస్-నియంత్రిత ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలలో ఏకీకరణకు మద్దతు ఇస్తుంది.
మొత్తంమీద, P-టైప్ SiC పొర, 4H/6H-P 3C-N, పారిశ్రామిక మరియు ఎలక్ట్రానిక్ అప్లికేషన్‌లకు అత్యంత అనుకూలంగా ఉండేలా అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. దీని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు బ్రేక్డౌన్ వోల్టేజ్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-వోల్టేజ్ పరిసరాలలో నమ్మదగిన ఆపరేషన్‌ను అనుమతిస్తుంది, అయితే కఠినమైన పరిస్థితులకు దాని నిరోధకత మన్నికను నిర్ధారిస్తుంది. P-రకం డోపింగ్ సమర్థవంతమైన శక్తి మార్పిడిని అనుమతిస్తుంది, ఇది పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు ఎనర్జీ సిస్టమ్‌లకు అనువైనదిగా చేస్తుంది. అదనంగా, పొర యొక్క ప్రాధమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ తయారీ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన అమరికను నిర్ధారిస్తుంది, ఉత్పత్తి స్థిరత్వాన్ని పెంచుతుంది. 350 μm మందంతో, ఇది అధునాతన, కాంపాక్ట్ పరికరాలలో ఏకీకరణకు బాగా సరిపోతుంది.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
