క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8inch 12inch 725 ± 25 um లేదా అనుకూలీకరించబడింది
స్పెసిఫికేషన్
| స్పెసిఫికేషన్ | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
| వ్యాసం | 100మి.మీ | 150మి.మీ | 200మి.మీ | 250మి.మీ | 300మి.మీ |
| మందం | 0.10మి.మీ | 0.30మి.మీ | 0.40మి.మీ | 0.50మి.మీ | 0.50మి.మీ |
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ | 32.5మి.మీ | 47.5మి.మీ / 57.5మి.మీ / గీత | గీత | గీత | గీత |
| LTV (5mmx5mm) | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um |
| టిటివి | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
| విల్లు | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
| వార్ప్ | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
| ఎడ్జ్ రౌండింగ్ | SEMI M1.2 ప్రమాణానికి అనుగుణంగా/IEC62276ని చూడండి | ||||
| ఉపరితల రకం | సింగిల్ సైడ్ పాలిష్ / డబుల్ సైడ్స్ పాలిష్ | ||||
| పాలిష్ చేసిన వైపు రా | రా≤1nm | ||||
| వెనుక వైపు ప్రమాణాలు | రా 0.2-0.7um లేదా అనుకూలీకరించబడింది | ||||
క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ వేఫర్ JGS1 JGS2 BF33 వేఫర్ పారామితి పట్టిక
అప్లికేషన్
JGS1, JGS2 మరియు BF33 నుండి తయారు చేయబడిన క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ పొరలు వివిధ హై-ప్రెసిషన్ పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఫోటోమాస్క్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు మరియు పొర-స్థాయి ఆప్టిక్‌లతో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీకి ఈ పొరలు అనువైనవి. టెలికమ్యూనికేషన్స్, ఏరోస్పేస్ మరియు వైద్య పరికరాల వంటి పరిశ్రమలలో ఆప్టికల్ భాగాలు, లేజర్‌లు మరియు సెన్సార్‌లకు కూడా ఇవి అనుకూలంగా ఉంటాయి. వాటి అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు థర్మల్ షాక్‌కు ప్రతిఘటన వాటిని విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలకు పరిపూర్ణంగా చేస్తాయి, అయితే అతినీలలోహిత (UV) మరియు ఇన్‌ఫ్రారెడ్ (IR) ఆప్టిక్‌లకు వాటి అసాధారణమైన ప్రసారం కీలకం.
లక్షణాలు
మెటీరియల్ రకాలు:
JGS1: అధిక UV ట్రాన్స్‌మిటెన్స్, అతినీలలోహిత కాంతి అప్లికేషన్‌లకు అద్భుతమైనది.
JGS2: UV, కనిపించే మరియు ఇన్‌ఫ్రారెడ్ పరిధుల అంతటా బ్యాలెన్స్‌డ్ ట్రాన్స్‌మిటెన్స్, సాధారణ ఆప్టికల్ ఉపయోగాలకు అనుకూలం.
BF33: అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ మన్నిక కలిగిన బోరోసిలికేట్ గాజు. సైజు ఎంపికలు:
8-అంగుళాల మరియు 12-అంగుళాల వేఫర్‌ల ప్రామాణిక పరిమాణాలలో అందుబాటులో ఉంది.
నిర్దిష్ట అవసరాల ఆధారంగా అనుకూల పరిమాణాలు తయారు చేయబడతాయి. మందం:
ప్రామాణిక మందం 725 ± 25 μm.
వివిధ పారిశ్రామిక అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించదగిన మందం అందుబాటులో ఉంది.
థర్మల్ లక్షణాలు:
అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలం.
థర్మల్ షాక్‌కు అధిక నిరోధకత.
రసాయన నిరోధకత:
ముఖ్యంగా BF33లో ఆమ్లాలు, ఆల్కాలిస్ మరియు చాలా రసాయనాల నుండి తుప్పు పట్టడానికి బలమైన ప్రతిఘటన.
ఆప్టికల్ లక్షణాలు:
JGS1 మరియు JGS2 పొరలు అతినీలలోహిత (UV), కనిపించే మరియు పరారుణ (IR) పరిధులలో అధిక ఆప్టికల్ ప్రసారాన్ని అందిస్తాయి.
ఖచ్చితమైన ఆప్టికల్ భాగాలు, ఫోటోనిక్స్ మరియు లేజర్ అప్లికేషన్‌లకు అనువైనది.
ఉపరితల నాణ్యత:
అధిక ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు సున్నితత్వం, సెమీకండక్టర్ మరియు ఆప్టికల్ పరికరాల తయారీలో ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
ఈ లక్షణాలు JGS1, JGS2 మరియు BF33 పొరలను బహుముఖంగా మరియు ఆప్టిక్స్, ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు సెమీకండక్టర్స్ వంటి పరిశ్రమల్లో అధిక-పనితీరు గల అప్లికేషన్‌లకు నమ్మదగినవిగా చేస్తాయి.
మొత్తంమీద
JGS1, JGS2 మరియు BF33 నుండి తయారు చేయబడిన క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ పొరలు వివిధ డిమాండ్ ఉన్న అప్లికేషన్‌లలో అసాధారణమైన పనితీరును అందిస్తాయి. 725 ± 25 μm మందంతో 8-అంగుళాల మరియు 12-అంగుళాల ప్రామాణిక పరిమాణాలలో అందుబాటులో ఉంటుంది, ఈ పొరలు నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా కూడా అనుకూలీకరించబడతాయి. JGS1 మరియు JGS2 UV, కనిపించే మరియు IR పరిధులలో అధిక ఆప్టికల్ ప్రసారాన్ని అందిస్తాయి, అయితే BF33 అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. అధిక ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు సున్నితత్వంతో, ఈ పొరలు సెమీకండక్టర్స్, ఆప్టిక్స్ మరియు ఫోటోనిక్స్ వంటి ఖచ్చితత్వ పరిశ్రమలకు అనువైనవి, విపరీతమైన వాతావరణంలో మరియు క్లిష్టమైన అనువర్తనాల్లో విశ్వసనీయత మరియు మన్నికను నిర్ధారిస్తాయి.
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
