సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాలు
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం


లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల ఉత్పత్తి అవలోకనం
సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ ప్రాసెసింగ్లో అధునాతన ఇంగోట్ సన్నబడటానికి తదుపరి తరం పరిష్కారాన్ని సూచిస్తుంది.మెకానికల్ గ్రైండింగ్, డైమండ్ వైర్ సావింగ్ లేదా కెమికల్-మెకానికల్ ప్లానరైజేషన్పై ఆధారపడే సాంప్రదాయ వేఫరింగ్ పద్ధతుల మాదిరిగా కాకుండా, ఈ లేజర్-ఆధారిత ప్లాట్ఫారమ్ బల్క్ సెమీకండక్టర్ ఇంగోట్ల నుండి అల్ట్రా-సన్నని పొరలను వేరు చేయడానికి కాంటాక్ట్-ఫ్రీ, నాన్-డిస్ట్రక్టివ్ ప్రత్యామ్నాయాన్ని అందిస్తుంది.
గాలియం నైట్రైడ్ (GaN), సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC), నీలమణి మరియు గాలియం ఆర్సెనైడ్ (GaAs) వంటి పెళుసు మరియు అధిక-విలువైన పదార్థాల కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్, క్రిస్టల్ ఇంగోట్ నుండి నేరుగా వేఫర్-స్కేల్ ఫిల్మ్ల యొక్క ఖచ్చితమైన స్లైసింగ్ను అనుమతిస్తుంది. ఈ పురోగతి సాంకేతికత పదార్థ వ్యర్థాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది, నిర్గమాంశను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉపరితల సమగ్రతను పెంచుతుంది - ఇవన్నీ పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్, RF వ్యవస్థలు, ఫోటోనిక్స్ మరియు మైక్రో-డిస్ప్లేలలో తదుపరి తరం పరికరాలకు కీలకం.
ఆటోమేటెడ్ కంట్రోల్, బీమ్ షేపింగ్ మరియు లేజర్-మెటీరియల్ ఇంటరాక్షన్ అనలిటిక్స్పై ప్రాధాన్యతనిస్తూ, సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ వర్క్ఫ్లోలలో సజావుగా అనుసంధానించడానికి రూపొందించబడింది, అదే సమయంలో R&D ఫ్లెక్సిబిలిటీ మరియు మాస్ ప్రొడక్షన్ స్కేలబిలిటీకి మద్దతు ఇస్తుంది.


లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల సాంకేతికత & నిర్వహణ సూత్రం

సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ ద్వారా నిర్వహించబడే ప్రక్రియ అధిక శక్తి గల అతినీలలోహిత లేజర్ పుంజాన్ని ఉపయోగించి దాత ఇంగోట్ను ఒక వైపు నుండి వికిరణం చేయడం ద్వారా ప్రారంభమవుతుంది. ఈ పుంజం ఒక నిర్దిష్ట అంతర్గత లోతుపై గట్టిగా కేంద్రీకృతమై ఉంటుంది, సాధారణంగా ఇంజనీరింగ్ ఇంటర్ఫేస్ వెంట, ఆప్టికల్, థర్మల్ లేదా రసాయన కాంట్రాస్ట్ కారణంగా శక్తి శోషణ గరిష్టంగా ఉంటుంది.
ఈ శక్తి శోషణ పొర వద్ద, స్థానికీకరించిన తాపన వేగవంతమైన సూక్ష్మ-విస్ఫోటనం, వాయు విస్తరణ లేదా ఇంటర్ఫేషియల్ పొర యొక్క కుళ్ళిపోవడానికి దారితీస్తుంది (ఉదా., స్ట్రెస్సర్ ఫిల్మ్ లేదా త్యాగ ఆక్సైడ్). ఈ ఖచ్చితంగా నియంత్రించబడిన అంతరాయం పదుల మైక్రోమీటర్ల మందంతో ఎగువ స్ఫటికాకార పొరను బేస్ ఇంగోట్ నుండి శుభ్రంగా వేరు చేయడానికి కారణమవుతుంది.
సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ మోషన్-సింక్రొనైజ్డ్ స్కానింగ్ హెడ్లు, ప్రోగ్రామబుల్ z-యాక్సిస్ కంట్రోల్ మరియు రియల్-టైమ్ రిఫ్లెక్టోమెట్రీని ఉపయోగించి ప్రతి పల్స్ లక్ష్య విమానం వద్ద ఖచ్చితంగా శక్తిని అందిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది. డిటాచ్మెంట్ సున్నితత్వాన్ని పెంచడానికి మరియు అవశేష ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి పరికరాలను బరస్ట్-మోడ్ లేదా మల్టీ-పల్స్ సామర్థ్యాలతో కూడా కాన్ఫిగర్ చేయవచ్చు. ముఖ్యంగా, లేజర్ పుంజం ఎప్పుడూ పదార్థాన్ని భౌతికంగా తాకదు కాబట్టి, మైక్రోక్రాకింగ్, వంగిపోవడం లేదా ఉపరితల చిప్పింగ్ ప్రమాదం బాగా తగ్గుతుంది.
ఇది లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ థిన్నింగ్ పద్ధతిని గేమ్-ఛేంజర్గా చేస్తుంది, ముఖ్యంగా సబ్-మైక్రాన్ TTV (టోటల్ థిక్నెస్ వేరియేషన్)తో అల్ట్రా-ఫ్లాట్, అల్ట్రా-థిన్ వేఫర్లు అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లలో.
సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల పరామితి
తరంగదైర్ఘ్యం | IR/SHG/THG/FHG |
---|---|
పల్స్ వెడల్పు | నానోసెకండ్, పికోసెకండ్, ఫెమ్టోసెకండ్ |
ఆప్టికల్ సిస్టమ్ | స్థిర ఆప్టికల్ వ్యవస్థ లేదా గాల్వానో-ఆప్టికల్ వ్యవస్థ |
XY స్టేజ్ | 500 మిమీ × 500 మిమీ |
ప్రాసెసింగ్ పరిధి | 160 మి.మీ. |
కదలిక వేగం | గరిష్టంగా 1,000 మి.మీ/సెకను |
పునరావృతం | ±1 μm లేదా అంతకంటే తక్కువ |
సంపూర్ణ స్థాన ఖచ్చితత్వం: | ±5 μm లేదా అంతకంటే తక్కువ |
వేఫర్ సైజు | 2–6 అంగుళాలు లేదా అనుకూలీకరించబడింది |
నియంత్రణ | విండోస్ 10,11 మరియు పిఎల్సి |
విద్యుత్ సరఫరా వోల్టేజ్ | AC 200 V ±20 V, సింగిల్-ఫేజ్, 50/60 kHz |
బాహ్య కొలతలు | 2400 మిమీ (పశ్చిమ) × 1700 మిమీ (డి) × 2000 మిమీ (హ) |
బరువు | 1,000 కిలోలు |
లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల పారిశ్రామిక అనువర్తనాలు
సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాలు బహుళ సెమీకండక్టర్ డొమైన్లలో పదార్థాలను ఎలా తయారు చేస్తాయో వేగంగా మారుస్తున్నాయి:
- లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల నిలువు GaN పవర్ పరికరాలు
బల్క్ ఇంగోట్స్ నుండి అల్ట్రా-సన్నని GaN-ఆన్-GaN ఫిల్మ్లను ఎత్తివేయడం వలన నిలువు ప్రసరణ నిర్మాణాలు మరియు ఖరీదైన ఉపరితలాల పునర్వినియోగం సాధ్యమవుతుంది.
- షాట్కీ మరియు MOSFET పరికరాల కోసం SiC వేఫర్ థిన్నింగ్
సబ్స్ట్రేట్ ప్లానారిటీని కాపాడుతూ పరికర పొర మందాన్ని తగ్గిస్తుంది - వేగంగా మారే పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్కు అనువైనది.
- లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల యొక్క నీలమణి ఆధారిత LED మరియు డిస్ప్లే మెటీరియల్స్
సన్నని, థర్మల్లీ ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన మైక్రో-LED ఉత్పత్తికి మద్దతు ఇవ్వడానికి నీలమణి బౌల్స్ నుండి పరికర పొరలను సమర్థవంతంగా వేరు చేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
- లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల III-V మెటీరియల్ ఇంజనీరింగ్
అధునాతన ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ ఇంటిగ్రేషన్ కోసం GaAs, InP మరియు AlGaN పొరల నిర్లిప్తతను సులభతరం చేస్తుంది.
- థిన్-వేఫర్ IC మరియు సెన్సార్ ఫ్యాబ్రికేషన్
ప్రెజర్ సెన్సార్లు, యాక్సిలెరోమీటర్లు లేదా ఫోటోడియోడ్ల కోసం సన్నని ఫంక్షనల్ పొరలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇక్కడ బల్క్ పనితీరుకు అడ్డంకిగా ఉంటుంది.
- సౌకర్యవంతమైన మరియు పారదర్శక ఎలక్ట్రానిక్స్
ఫ్లెక్సిబుల్ డిస్ప్లేలు, ధరించగలిగే సర్క్యూట్లు మరియు పారదర్శక స్మార్ట్ విండోలకు అనువైన అల్ట్రా-సన్నని సబ్స్ట్రేట్లను సిద్ధం చేస్తుంది.
ఈ ప్రతి రంగంలో, సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ సూక్ష్మీకరణ, పదార్థ పునర్వినియోగం మరియు ప్రక్రియ సరళీకరణను ప్రారంభించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ పరికరాల గురించి తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు (FAQ)
Q1: సెమీకండక్టర్ లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ ఎక్విప్మెంట్ ఉపయోగించి నేను సాధించగల కనీస మందం ఎంత?
ఎ1:సాధారణంగా పదార్థాన్ని బట్టి 10–30 మైక్రాన్ల మధ్య ఉంటుంది. సవరించిన సెటప్లతో ఈ ప్రక్రియ సన్నగా ఫలితాలను ఇవ్వగలదు.
ప్రశ్న 2: ఒకే ఇంగోట్ నుండి బహుళ వేఫర్లను ముక్కలు చేయడానికి దీనిని ఉపయోగించవచ్చా?
ఎ2:అవును. చాలా మంది కస్టమర్లు ఒక బల్క్ ఇంగోట్ నుండి బహుళ సన్నని పొరల సీరియల్ వెలికితీతలను నిర్వహించడానికి లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ టెక్నిక్ను ఉపయోగిస్తారు.
Q3: అధిక శక్తి లేజర్ ఆపరేషన్ కోసం ఏ భద్రతా లక్షణాలు చేర్చబడ్డాయి?
ఎ3:క్లాస్ 1 ఎన్క్లోజర్లు, ఇంటర్లాక్ సిస్టమ్లు, బీమ్ షీల్డింగ్ మరియు ఆటోమేటెడ్ షటాఫ్లు అన్నీ ప్రామాణికమైనవి.
Q4: ఈ వ్యవస్థ ధర పరంగా డైమండ్ వైర్ రంపాలతో పోలిస్తే ఎలా ఉంది?
ఎ 4:ప్రారంభ మూలధనం ఎక్కువగా ఉండవచ్చు, లేజర్ లిఫ్ట్-ఆఫ్ వినియోగ ఖర్చులు, ఉపరితల నష్టం మరియు పోస్ట్-ప్రాసెసింగ్ దశలను బాగా తగ్గిస్తుంది - దీర్ఘకాలికంగా మొత్తం యాజమాన్య ఖర్చు (TCO) ను తగ్గిస్తుంది.
Q5: ఈ ప్రక్రియ 6-అంగుళాల లేదా 8-అంగుళాల ఇంగోట్లకు స్కేలబుల్ అవుతుందా?
A5:ఖచ్చితంగా. ఈ ప్లాట్ఫామ్ ఏకరీతి బీమ్ పంపిణీ మరియు పెద్ద-ఫార్మాట్ మోషన్ దశలతో 12-అంగుళాల ఉపరితలాలకు మద్దతు ఇస్తుంది.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్లో రాణిస్తున్నాము.
