వేఫర్ క్యారింగ్ కోసం SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ హ్యాండింగ్ ఆర్మ్

చిన్న వివరణ:

LiNbO₃ వేఫర్‌లు ఇంటిగ్రేటెడ్ ఫోటోనిక్స్ మరియు ప్రెసిషన్ అకౌస్టిక్స్‌లో బంగారు ప్రమాణాన్ని సూచిస్తాయి, ఆధునిక ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ వ్యవస్థలలో అసమానమైన పనితీరును అందిస్తాయి. ఒక ప్రముఖ తయారీదారుగా, మేము అధునాతన ఆవిరి రవాణా సమతౌల్య పద్ధతుల ద్వారా ఈ ఇంజనీరింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లను ఉత్పత్తి చేసే కళను పరిపూర్ణం చేసాము, 50/cm² కంటే తక్కువ లోప సాంద్రతలతో పరిశ్రమ-ప్రముఖ స్ఫటికాకార పరిపూర్ణతను సాధించాము.

XKH ఉత్పత్తి సామర్థ్యాలు 75mm నుండి 150mm వరకు వ్యాసాలను కలిగి ఉంటాయి, ఖచ్చితమైన ఓరియంటేషన్ నియంత్రణ (X/Y/Z-కట్ ±0.3°) మరియు అరుదైన-భూమి మూలకాలతో సహా ప్రత్యేకమైన డోపింగ్ ఎంపికలు ఉంటాయి. LiNbO₃ వేఫర్‌లలోని లక్షణాల యొక్క ప్రత్యేక కలయిక - వాటి అద్భుతమైన r₃₃ గుణకం (32±2 pm/V) మరియు సమీప-UV నుండి మధ్య-IR వరకు విస్తృత పారదర్శకతతో సహా - వాటిని తదుపరి తరం ఫోటోనిక్ సర్క్యూట్‌లు మరియు అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ అకౌస్టిక్ పరికరాలకు అనివార్యమైనదిగా చేస్తుంది.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

లక్షణాలు

SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ సారాంశం

సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు అధునాతన మైక్రోఫ్యాబ్రికేషన్ పరిసరాలలో ఉపయోగించే అధిక-ఖచ్చితమైన వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ వ్యవస్థలలో SiC (సిలికాన్ కార్బైడ్) సిరామిక్ ఎండ్-ఎఫెక్టర్ ఒక కీలకమైన భాగం. అల్ట్రా-క్లీన్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అత్యంత స్థిరమైన వాతావరణాల యొక్క డిమాండ్ అవసరాలను తీర్చడానికి ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఈ ప్రత్యేకమైన ఎండ్-ఎఫెక్టర్ లితోగ్రఫీ, ఎచింగ్ మరియు డిపాజిషన్ వంటి కీలక ఉత్పత్తి దశలలో వేఫర్‌ల నమ్మకమైన మరియు కాలుష్యం-రహిత రవాణాను నిర్ధారిస్తుంది.

అధిక ఉష్ణ వాహకత, తీవ్ర కాఠిన్యం, అద్భుతమైన రసాయన జడత్వం మరియు కనిష్ట ఉష్ణ విస్తరణ వంటి సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉన్నతమైన పదార్థ లక్షణాలను ఉపయోగించడం ద్వారా, SiC సిరామిక్ ఎండ్-ఎఫెక్టర్ వేగవంతమైన థర్మల్ సైక్లింగ్ లేదా తుప్పు ప్రక్రియ గదులలో కూడా సాటిలేని యాంత్రిక దృఢత్వం మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. దీని తక్కువ కణ ఉత్పత్తి మరియు ప్లాస్మా నిరోధక లక్షణాలు దీనిని క్లీన్‌రూమ్ మరియు వాక్యూమ్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌లకు ప్రత్యేకంగా సరిపోల్చుతాయి, ఇక్కడ వేఫర్ ఉపరితల సమగ్రతను నిర్వహించడం మరియు కణ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం చాలా ముఖ్యమైనవి.

SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అప్లికేషన్

1. సెమీకండక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్

SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఆటోమేటెడ్ ఉత్పత్తి సమయంలో సిలికాన్ వేఫర్‌లను నిర్వహించడానికి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు సాధారణంగా రోబోటిక్ ఆర్మ్స్ లేదా వాక్యూమ్ ట్రాన్స్‌ఫర్ సిస్టమ్‌లపై అమర్చబడి ఉంటాయి మరియు 200mm మరియు 300mm వంటి వివిధ పరిమాణాల వేఫర్‌లను ఉంచడానికి రూపొందించబడ్డాయి. అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, వాక్యూమ్ పరిస్థితులు మరియు తినివేయు వాయువులు సాధారణంగా ఉండే రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD), భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD), ఎచింగ్ మరియు వ్యాప్తి వంటి ప్రక్రియలలో ఇవి చాలా అవసరం. SiC యొక్క అసాధారణమైన ఉష్ణ నిరోధకత మరియు రసాయన స్థిరత్వం అటువంటి కఠినమైన వాతావరణాలను క్షీణత లేకుండా తట్టుకోవడానికి అనువైన పదార్థంగా చేస్తాయి.

2. క్లీన్‌రూమ్ మరియు వాక్యూమ్ అనుకూలత

క్లీన్‌రూమ్ మరియు వాక్యూమ్ సెట్టింగ్‌లలో, కణ కాలుష్యాన్ని తగ్గించాల్సిన చోట, SiC సిరామిక్స్ గణనీయమైన ప్రయోజనాలను అందిస్తాయి. పదార్థం యొక్క దట్టమైన, మృదువైన ఉపరితలం కణ ఉత్పత్తిని నిరోధిస్తుంది, రవాణా సమయంలో వేఫర్ సమగ్రతను నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది. ఇది SiC ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌లను ప్రత్యేకంగా ఎక్స్‌ట్రీమ్ అతినీలలోహిత లితోగ్రఫీ (EUV) మరియు అటామిక్ లేయర్ డిపాజిషన్ (ALD) వంటి క్లిష్టమైన ప్రక్రియలకు బాగా సరిపోతుంది, ఇక్కడ శుభ్రత చాలా ముఖ్యమైనది. ఇంకా, SiC యొక్క తక్కువ అవుట్‌గ్యాసింగ్ మరియు అధిక ప్లాస్మా నిరోధకత వాక్యూమ్ చాంబర్‌లలో నమ్మకమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి, సాధనాల జీవితకాలం పొడిగిస్తాయి మరియు నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తాయి.

3. హై-ప్రెసిషన్ పొజిషనింగ్ సిస్టమ్స్

అధునాతన వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ వ్యవస్థలలో, ముఖ్యంగా మెట్రాలజీ, తనిఖీ మరియు అమరిక పరికరాలలో ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వం చాలా ముఖ్యమైనవి. SiC సిరామిక్స్ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు అధిక దృఢత్వం యొక్క చాలా తక్కువ గుణకాన్ని కలిగి ఉంటాయి, ఇవి థర్మల్ సైక్లింగ్ లేదా యాంత్రిక లోడ్ కింద కూడా తుది ప్రభావకారి దాని నిర్మాణ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తాయి. ఇది రవాణా సమయంలో వేఫర్‌లు ఖచ్చితంగా సమలేఖనం చేయబడి ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది, సూక్ష్మ-గీతలు, తప్పుగా అమర్చడం లేదా కొలత లోపాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది - ఇవి సబ్-5nm ప్రాసెస్ నోడ్‌ల వద్ద ఎక్కువగా కీలకమైన అంశాలు.

SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ లక్షణాలు

1. అధిక యాంత్రిక బలం మరియు కాఠిన్యం

SiC సిరామిక్స్ అసాధారణమైన యాంత్రిక బలాన్ని కలిగి ఉంటాయి, తరచుగా 400 MPa కంటే ఎక్కువగా ఉండే వంగుట బలం మరియు 2000 HV కంటే ఎక్కువ వికర్స్ కాఠిన్యం విలువలు ఉంటాయి. ఇది దీర్ఘకాలిక కార్యాచరణ ఉపయోగం తర్వాత కూడా యాంత్రిక ఒత్తిడి, ప్రభావం మరియు ధరించడానికి అధిక నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. SiC యొక్క అధిక దృఢత్వం హై-స్పీడ్ వేఫర్ బదిలీల సమయంలో విక్షేపణను కూడా తగ్గిస్తుంది, ఖచ్చితమైన మరియు పునరావృత స్థానాలను నిర్ధారిస్తుంది.

2. అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం

SiC సిరామిక్స్ యొక్క అత్యంత విలువైన లక్షణాలలో ఒకటి, యాంత్రిక సమగ్రతను కోల్పోకుండా చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను - తరచుగా జడ వాతావరణంలో 1600°C వరకు - తట్టుకోగల సామర్థ్యం. వాటి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (~4.0 x 10⁻⁶ /K) థర్మల్ సైక్లింగ్ కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, ఇవి CVD, PVD మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్ వంటి అనువర్తనాలకు అనువైనవిగా చేస్తాయి.

SiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ ప్రశ్నోత్తరాలు

ప్ర: వేఫర్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్‌లో ఏ పదార్థం ఉపయోగించబడుతుంది?

జ:వేఫర్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు సాధారణంగా అధిక బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తక్కువ కణ ఉత్పత్తిని అందించే పదార్థాల నుండి తయారు చేయబడతాయి. వీటిలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ అత్యంత అధునాతనమైన మరియు ఇష్టపడే పదార్థాలలో ఒకటి. SiC సిరామిక్స్ చాలా కఠినమైనవి, ఉష్ణపరంగా స్థిరంగా ఉంటాయి, రసాయనికంగా జడమైనవి మరియు ధరించడానికి నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి క్లీన్‌రూమ్ మరియు వాక్యూమ్ వాతావరణాలలో సున్నితమైన సిలికాన్ వేఫర్‌లను నిర్వహించడానికి అనువైనవిగా చేస్తాయి. క్వార్ట్జ్ లేదా పూత పూసిన లోహాలతో పోలిస్తే, SiC అధిక ఉష్ణోగ్రతల కింద ఉన్నతమైన డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది మరియు కణాలను తొలగించదు, ఇది కాలుష్యాన్ని నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.