SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్ / ఎండ్ ఎఫెక్టర్ – సెమీకండక్టర్ తయారీ కోసం అధునాతన ప్రెసిషన్ హ్యాండ్లింగ్

తయారీSiC సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లుపనితీరు మరియు మన్నిక రెండింటినీ నిర్ధారించే అధిక-ఖచ్చితత్వం, అధిక-స్వచ్ఛత ప్రక్రియల శ్రేణిని కలిగి ఉంటుంది. సాధారణంగా రెండు ప్రధాన ప్రక్రియలు ఉపయోగించబడతాయి:

ప్రతిచర్య-బంధిత సిలికాన్ కార్బైడ్ (RB-SiC)

ఈ ప్రక్రియలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పౌడర్ మరియు బైండర్‌తో తయారు చేయబడిన ప్రీఫార్మ్‌ను అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద (~1500°C) కరిగిన సిలికాన్‌తో చొప్పించారు, ఇది అవశేష కార్బన్‌తో చర్య జరిపి దట్టమైన, దృఢమైన SiC-Si మిశ్రమాన్ని ఏర్పరుస్తుంది. ఈ పద్ధతి అద్భుతమైన డైమెన్షనల్ నియంత్రణను అందిస్తుంది మరియు పెద్ద-స్థాయి ఉత్పత్తికి ఖర్చుతో కూడుకున్నది.

ప్రెజర్‌లెస్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SSiC)

సంకలనాలు లేదా బైండింగ్ దశను ఉపయోగించకుండా చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద (>2000°C) అల్ట్రా-ఫైన్, హై-ప్యూరిటీ SiC పౌడర్‌ను సింటరింగ్ చేయడం ద్వారా SSiC తయారు చేయబడుతుంది. దీని ఫలితంగా దాదాపు 100% సాంద్రత కలిగిన ఉత్పత్తి మరియు SiC పదార్థాలలో అత్యధిక యాంత్రిక మరియు ఉష్ణ లక్షణాలు లభిస్తాయి. ఇది అల్ట్రా-క్రిటికల్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ అప్లికేషన్‌లకు అనువైనది.

పోస్ట్-ప్రాసెసింగ్

• ప్రెసిషన్ CNC మ్యాచింగ్: అధిక ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు సమాంతరతను సాధిస్తుంది.

• ఉపరితల ముగింపు: వజ్రాన్ని పాలిష్ చేయడం వలన ఉపరితల కరుకుదనం <0.02 µmకి తగ్గుతుంది.

• తనిఖీ: ప్రతి భాగాన్ని ధృవీకరించడానికి ఆప్టికల్ ఇంటర్‌ఫెరోమెట్రీ, CMM మరియు నాన్-డిస్ట్రక్టివ్ టెస్టింగ్ ఉపయోగించబడతాయి.

ఈ దశలు హామీ ఇస్తాయిSiC ఎండ్ ఎఫెక్టర్స్థిరమైన వేఫర్ ప్లేస్‌మెంట్ ఖచ్చితత్వం, అద్భుతమైన ప్లానారిటీ మరియు కనిష్ట కణ ఉత్పత్తిని అందిస్తుంది.