సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్ (SiC కాంటిలివర్ ప్యాడిల్)
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
ఉత్పత్తి అవలోకనం
సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్, అధిక-పనితీరు గల రియాక్షన్-బాండెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (RBSiC) నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ అనువర్తనాల కోసం వేఫర్ లోడింగ్ మరియు హ్యాండ్లింగ్ వ్యవస్థలలో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగం.
సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ లేదా గ్రాఫైట్ తెడ్డులతో పోలిస్తే, SiC కాంటిలివర్ తెడ్డులు అత్యుత్తమ యాంత్రిక బలం, అధిక కాఠిన్యం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తాయి. అవి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద అద్భుతమైన నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహిస్తాయి, పెద్ద వేఫర్ పరిమాణాలు, పొడిగించిన సేవా జీవితం మరియు అతి తక్కువ కాలుష్యం యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీరుస్తాయి.
పెద్ద వేఫర్ వ్యాసాలు, అధిక నిర్గమాంశ మరియు క్లీనర్ ప్రాసెసింగ్ వాతావరణాల వైపు సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల నిరంతర అభివృద్ధితో, SiC కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్ క్రమంగా సాంప్రదాయ పదార్థాలను భర్తీ చేశాయి, డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు, LPCVD మరియు సంబంధిత అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరికరాలకు ప్రాధాన్యతనిచ్చే ఎంపికగా మారాయి.
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
-
అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం
-
1000–1300℃ వద్ద వైకల్యం లేకుండా విశ్వసనీయంగా పనిచేస్తుంది.
-
గరిష్ట సేవా ఉష్ణోగ్రత 1380℃ వరకు.
-
-
అధిక భార మోసే సామర్థ్యం
-
250–280 MPa వరకు వంపు బలం, క్వార్ట్జ్ తెడ్డుల కంటే చాలా ఎక్కువ.
-
పెద్ద-వ్యాసం గల వేఫర్లను (300 మిమీ మరియు అంతకంటే ఎక్కువ) నిర్వహించగల సామర్థ్యం.
-
-
విస్తరించిన సేవా జీవితం & తక్కువ నిర్వహణ
-
తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD పూత పదార్థాలతో బాగా సరిపోతుంది.
-
ఒత్తిడి వల్ల కలిగే పగుళ్లు మరియు పొరలు ఊడిపోవడాన్ని తగ్గిస్తుంది, శుభ్రపరచడం మరియు నిర్వహణ చక్రాలను గణనీయంగా పెంచుతుంది.
-
-
తుప్పు నిరోధకత & స్వచ్ఛత
-
ఆమ్లాలు మరియు క్షారాలకు అద్భుతమైన నిరోధకత.
-
ఓపెన్ పోరోసిటీ <0.1% తో దట్టమైన సూక్ష్మ నిర్మాణం, కణాల ఉత్పత్తి మరియు మలిన విడుదలను తగ్గిస్తుంది.
-
-
ఆటోమేషన్-అనుకూల డిజైన్
-
అధిక డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో స్థిరమైన క్రాస్-సెక్షనల్ జ్యామితి.
-
రోబోటిక్ వేఫర్ లోడింగ్ మరియు అన్లోడింగ్ సిస్టమ్లతో సజావుగా అనుసంధానం అవుతుంది, పూర్తిగా ఆటోమేటెడ్ ఉత్పత్తిని అనుమతిస్తుంది.
-
భౌతిక & రసాయన లక్షణాలు
| అంశం | యూనిట్ | డేటా |
|---|---|---|
| గరిష్ట సేవా ఉష్ణోగ్రత | ℃ ℃ అంటే | 1380 తెలుగు in లో |
| సాంద్రత | గ్రా/సెం.మీ³ | 3.04 - 3.08 |
| ఓపెన్ పోరోసిటీ | % | < 0.1 |
| బెండింగ్ బలం | MPa తెలుగు in లో | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| స్థితిస్థాపకత యొక్క మాడ్యులస్ | జీపీఏ | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| ఉష్ణ వాహకత | పశ్చిమం/చ.కి. | 45 (1200℃) |
| థర్మల్ విస్తరణ గుణకం | కె⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 अगिराला |
| విక్కర్స్ కాఠిన్యం | హెచ్వి2 | ≥ 2100 |
| ఆమ్ల/క్షార నిరోధకత | - | అద్భుతంగా ఉంది |
-
ప్రామాణిక పొడవులు:2378 మి.మీ., 2550 మి.మీ., 2660 మి.మీ.
-
అభ్యర్థనపై అనుకూల కొలతలు అందుబాటులో ఉన్నాయి
అప్లికేషన్లు
-
సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ
-
LPCVD (అల్ప పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ)
-
వ్యాప్తి ప్రక్రియలు (భాస్వరం, బోరాన్, మొదలైనవి)
-
థర్మల్ ఆక్సీకరణ
-
-
ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ
-
పాలీసిలికాన్ మరియు మోనోక్రిస్టలైన్ వేఫర్ వ్యాప్తి మరియు పూత
-
అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్ మరియు నిష్క్రియాత్మకత
-
-
ఇతర రంగాలు
-
అధిక-ఉష్ణోగ్రత తినివేయు వాతావరణాలు
-
సుదీర్ఘ సేవా జీవితం మరియు తక్కువ కాలుష్యం అవసరమయ్యే ఖచ్చితమైన వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ వ్యవస్థలు
-
కస్టమర్ ప్రయోజనాలు
-
తగ్గిన నిర్వహణ ఖర్చులు- క్వార్ట్జ్ ప్యాడిల్స్తో పోలిస్తే ఎక్కువ జీవితకాలం, డౌన్టైమ్ మరియు రీప్లేస్మెంట్ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది.
-
అధిక దిగుబడి- చాలా తక్కువ కాలుష్యం వేఫర్ ఉపరితల శుభ్రతను నిర్ధారిస్తుంది మరియు లోపాల రేటును తగ్గిస్తుంది.
-
భవిష్యత్తు-రుజువు– పెద్ద వేఫర్ పరిమాణాలు మరియు తదుపరి తరం సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలతో అనుకూలంగా ఉంటుంది.
-
మెరుగైన ఉత్పాదకత- రోబోటిక్ ఆటోమేషన్ వ్యవస్థలతో పూర్తిగా అనుకూలంగా ఉంటుంది, అధిక-వాల్యూమ్ తయారీకి మద్దతు ఇస్తుంది.
తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు - సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్
Q1: సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్ అంటే ఏమిటి?
A: ఇది రియాక్షన్-బాండెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (RBSiC)తో తయారు చేయబడిన వేఫర్ సపోర్ట్ మరియు హ్యాండ్లింగ్ కాంపోనెంట్. ఇది డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు, LPCVD మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
Q2: క్వార్ట్జ్ ప్యాడిల్స్ కంటే SiC ని ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?
A: క్వార్ట్జ్ ప్యాడిల్స్తో పోలిస్తే, SiC ప్యాడిల్స్ వీటిని అందిస్తాయి:
-
అధిక యాంత్రిక బలం మరియు భారాన్ని మోసే సామర్థ్యం
-
1380℃ వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వం
-
చాలా ఎక్కువ సేవా జీవితం మరియు తగ్గిన నిర్వహణ చక్రాలు
-
తక్కువ కణ ఉత్పత్తి మరియు కాలుష్య ప్రమాదం
-
పెద్ద వేఫర్ పరిమాణాలతో అనుకూలత (300 మిమీ మరియు అంతకంటే ఎక్కువ)
Q3: SiC కాంటిలివర్ ప్యాడిల్ ఏ వేఫర్ పరిమాణాలకు మద్దతు ఇవ్వగలదు?
A: 2378 mm, 2550 mm మరియు 2660 mm ఫర్నేస్ సిస్టమ్లకు ప్రామాణిక ప్యాడిల్స్ అందుబాటులో ఉన్నాయి. 300 mm మరియు అంతకంటే ఎక్కువ పొడవు గల వేఫర్లకు మద్దతు ఇవ్వడానికి అనుకూలీకరించిన కొలతలు అందుబాటులో ఉన్నాయి.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్లో రాణిస్తున్నాము.











