సిలికాన్ కార్బైడ్ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మెషిన్ 4/6/8/12 అంగుళాల SiC ఇంగోట్ ప్రాసెసింగ్

చిన్న వివరణ:

సిలికాన్ కార్బైడ్ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మెషిన్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఇంగోట్ స్లైస్‌కు అంకితం చేయబడిన ఒక రకమైన హై-ప్రెసిషన్ ప్రాసెసింగ్ పరికరం, డైమండ్ వైర్ సా టెక్నాలజీని ఉపయోగించి, హై-స్పీడ్ మూవింగ్ డైమండ్ వైర్ (లైన్ వ్యాసం 0.1~0.3mm) ద్వారా SiC ఇంగోట్ మల్టీ-వైర్ కటింగ్‌కు, అధిక-ఖచ్చితత్వం, తక్కువ-నష్టం కలిగిన వేఫర్ తయారీని సాధించడానికి. ఈ పరికరాలు SiC పవర్ సెమీకండక్టర్ (MOSFET/SBD), రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరం (GaN-on-SiC) మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికర సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్‌లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, ఇది SiC పరిశ్రమ గొలుసులో కీలకమైన పరికరం.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

పని సూత్రం:

1. ఇంగోట్ స్థిరీకరణ: స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని (± 0.02mm) నిర్ధారించడానికి ఫిక్చర్ ద్వారా కట్టింగ్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌పై SiC ఇంగోట్ (4H/6H-SiC) స్థిరంగా ఉంటుంది.

2. డైమండ్ లైన్ కదలిక: డైమండ్ లైన్ (ఉపరితలంపై ఎలక్ట్రోప్లేటెడ్ డైమండ్ కణాలు) హై-స్పీడ్ సర్క్యులేషన్ కోసం గైడ్ వీల్ సిస్టమ్ ద్వారా నడపబడుతుంది (లైన్ వేగం 10~30మీ/సె).

3. కట్టింగ్ ఫీడ్: ఇంగోట్ సెట్ దిశలో ఫీడ్ చేయబడుతుంది మరియు డైమండ్ లైన్ బహుళ సమాంతర రేఖలతో (100~500 పంక్తులు) ఏకకాలంలో కత్తిరించబడి బహుళ వేఫర్‌లను ఏర్పరుస్తుంది.

4. శీతలీకరణ మరియు చిప్ తొలగింపు: వేడి నష్టాన్ని తగ్గించడానికి మరియు చిప్‌లను తొలగించడానికి కోత ప్రదేశంలో కూలెంట్ (డీయోనైజ్డ్ నీరు + సంకలనాలు) పిచికారీ చేయండి.

కీలక పారామితులు:

1. కట్టింగ్ వేగం: 0.2~1.0mm/min (స్ఫటిక దిశ మరియు SiC మందాన్ని బట్టి).

2. లైన్ టెన్షన్: 20~50N (చాలా ఎక్కువ, సులభంగా బ్రేక్ చేయగల లైన్, చాలా తక్కువ కటింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది).

3.వేఫర్ మందం: ప్రామాణిక 350~500μm, వేఫర్ 100μm చేరుకుంటుంది.

ప్రధాన లక్షణాలు:

(1) కట్టింగ్ ఖచ్చితత్వం
మందం సహనం: ±5μm (@350μm వేఫర్), సాంప్రదాయ మోర్టార్ కటింగ్ (±20μm) కంటే మెరుగైనది.

ఉపరితల కరుకుదనం: Ra<0.5μm (తదుపరి ప్రాసెసింగ్ మొత్తాన్ని తగ్గించడానికి అదనపు గ్రైండింగ్ అవసరం లేదు).

వార్‌పేజ్: <10μm (తదుపరి పాలిషింగ్ కష్టాన్ని తగ్గించండి).

(2) ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యం
బహుళ-లైన్ కటింగ్: ఒకేసారి 100 ~ 500 ముక్కలను కత్తిరించడం, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని 3 ~ 5 రెట్లు పెంచడం (వర్సెస్ సింగిల్ లైన్ కట్).

లైన్ జీవితకాలం: డైమండ్ లైన్ 100~300కిమీ SiCని తగ్గించగలదు (ఇంగోట్ కాఠిన్యం మరియు ప్రక్రియ ఆప్టిమైజేషన్ ఆధారంగా).

(3) తక్కువ నష్టం ప్రాసెసింగ్
అంచు విచ్ఛిన్నం: <15μm (సాంప్రదాయ కటింగ్ >50μm), వేఫర్ దిగుబడిని మెరుగుపరచండి.

ఉపరితల నష్ట పొర: <5μm (పాలిషింగ్ తొలగింపును తగ్గించండి).

(4) పర్యావరణ పరిరక్షణ మరియు ఆర్థిక వ్యవస్థ
మోర్టార్ కాలుష్యం లేదు: మోర్టార్ కటింగ్‌తో పోలిస్తే వ్యర్థ ద్రవ పారవేయడం ఖర్చులు తగ్గాయి.

పదార్థ వినియోగం: <100μm/ కట్టర్ నష్టాన్ని తగ్గించడం, SiC ముడి పదార్థాలను ఆదా చేయడం.

కట్టింగ్ ప్రభావం:

1. వేఫర్ నాణ్యత: ఉపరితలంపై స్థూల పగుళ్లు లేవు, కొన్ని సూక్ష్మ లోపాలు (నియంత్రించదగిన డిస్‌లోకేషన్ ఎక్స్‌టెన్షన్). నేరుగా రఫ్ పాలిషింగ్ లింక్‌లోకి ప్రవేశించవచ్చు, ప్రక్రియ ప్రవాహాన్ని తగ్గించవచ్చు.

2. స్థిరత్వం: బ్యాచ్‌లోని పొర యొక్క మందం విచలనం <±3%, ఆటోమేటెడ్ ఉత్పత్తికి అనుకూలం.

3.వర్తనీయత: వాహక/సెమీ-ఇన్సులేటెడ్ రకానికి అనుకూలమైన 4H/6H-SiC ఇంగోట్ కటింగ్‌కు మద్దతు.

సాంకేతిక వివరణ:

స్పెసిఫికేషన్	వివరాలు
కొలతలు (L × W × H)	2500x2300x2500 లేదా అనుకూలీకరించండి
ప్రాసెసింగ్ మెటీరియల్ సైజు పరిధి	4, 6, 8, 10, 12 అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్
ఉపరితల కరుకుదనం	రా≤0.3u
సగటు కట్టింగ్ వేగం	0.3మి.మీ/నిమి
బరువు	5.5టన్
కట్టింగ్ ప్రక్రియ సెట్టింగ్ దశలు	≤30 అడుగులు
పరికరాల శబ్దం	≤80 డిబి
స్టీల్ వైర్ టెన్షన్	0~110N(0.25 వైర్ టెన్షన్ 45N)
స్టీల్ వైర్ వేగం	0~30మీ/సె
మొత్తం శక్తి	50కిలోవాట్లు
డైమండ్ వైర్ వ్యాసం	≥0.18మి.మీ
ముగింపు చదునుగా ఉండటం	≤0.05మి.మీ
కోత మరియు విరిగిపోయే రేటు	≤1% (మానవ కారణాలు, సిలికాన్ పదార్థం, లైన్, నిర్వహణ మరియు ఇతర కారణాలు తప్ప)

XKH సేవలు:

XKH సిలికాన్ కార్బైడ్ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మెషిన్ యొక్క మొత్తం ప్రాసెస్ సర్వీస్‌ను అందిస్తుంది, ఇందులో పరికరాల ఎంపిక (వైర్ వ్యాసం/వైర్ వేగం సరిపోలిక), ప్రాసెస్ డెవలప్‌మెంట్ (కటింగ్ పారామీటర్ ఆప్టిమైజేషన్), వినియోగ వస్తువుల సరఫరా (డైమండ్ వైర్, గైడ్ వీల్) మరియు అమ్మకాల తర్వాత మద్దతు (పరికరాల నిర్వహణ, కట్టింగ్ నాణ్యత విశ్లేషణ) ఉన్నాయి, ఇది కస్టమర్‌లు అధిక దిగుబడిని (> 95%), తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన SiC వేఫర్ మాస్ ప్రొడక్షన్‌ను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది. ఇది 4-8 వారాల లీడ్ టైమ్‌తో అనుకూలీకరించిన అప్‌గ్రేడ్‌లను (అల్ట్రా-థిన్ కటింగ్, ఆటోమేటెడ్ లోడింగ్ మరియు అన్‌లోడింగ్ వంటివి) కూడా అందిస్తుంది.