సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వేఫర్ బోట్

చిన్న వివరణ:

సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వేఫర్ బోట్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత SiC పదార్థంతో తయారు చేయబడిన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ క్యారియర్, ఇది ఎపిటాక్సీ, ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ వంటి క్లిష్టమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో వేఫర్‌లను పట్టుకుని రవాణా చేయడానికి రూపొందించబడింది.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

లక్షణాలు

వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం

క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ యొక్క అవలోకనం

పవర్ సెమీకండక్టర్లు మరియు వైడ్ బ్యాండ్‌గ్యాప్ పరికరాల వేగవంతమైన అభివృద్ధితో, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పడవలు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద వైకల్యం, తీవ్రమైన కణ కాలుష్యం మరియు తక్కువ సేవా జీవితం వంటి పరిమితులను ఎదుర్కొంటున్నాయి. ఉన్నతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, తక్కువ కాలుష్యం మరియు పొడిగించిన జీవితకాలం కలిగిన SiC వేఫర్ పడవలు, క్వార్ట్జ్ పడవలను ఎక్కువగా భర్తీ చేస్తున్నాయి మరియు SiC పరికరాల తయారీలో ప్రాధాన్యత ఎంపికగా మారుతున్నాయి.

ముఖ్య లక్షణాలు

1. మెటీరియల్ ప్రయోజనాలు

అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC నుండి తయారు చేయబడిందిఅధిక కాఠిన్యం మరియు బలం.
2700°C కంటే ఎక్కువ ద్రవీభవన స్థానం, క్వార్ట్జ్ కంటే చాలా ఎక్కువ, తీవ్రమైన వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

2. ఉష్ణ లక్షణాలు

వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ బదిలీ కోసం అధిక ఉష్ణ వాహకత, పొర ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది.
థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్ (CTE) SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు దగ్గరగా సరిపోతుంది, వేఫర్ వంగడం మరియు పగుళ్లను తగ్గిస్తుంది.

3. రసాయన స్థిరత్వం

అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు వివిధ వాతావరణాలలో (H₂, N₂, Ar, NH₃, మొదలైనవి) స్థిరంగా ఉంటుంది.
అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత, కుళ్ళిపోవడాన్ని మరియు కణాల ఉత్పత్తిని నివారిస్తుంది.

4. ప్రక్రియ పనితీరు

మృదువైన మరియు దట్టమైన ఉపరితలం కణాల తొలగింపు మరియు కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం తర్వాత డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం మరియు లోడ్ సామర్థ్యాన్ని నిర్వహిస్తుంది.

5. ఖర్చు సామర్థ్యం

క్వార్ట్జ్ పడవల కంటే 3–5 రెట్లు ఎక్కువ సేవా జీవితం.
నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గించడం, డౌన్‌టైమ్ మరియు భర్తీ ఖర్చులను తగ్గించడం.

అప్లికేషన్లు

SiC ఎపిటాక్సీ: అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో 4-అంగుళాల, 6-అంగుళాల మరియు 8-అంగుళాల SiC ఉపరితలాలకు మద్దతు ఇస్తుంది.
విద్యుత్ పరికరాల తయారీ: SiC MOSFETలు, షాట్కీ బారియర్ డయోడ్‌లు (SBDలు), IGBTలు మరియు ఇతర పరికరాలకు అనువైనది.
థర్మల్ ట్రీట్మెంట్: ఎనియలింగ్, నైట్రిడేషన్ మరియు కార్బొనైజేషన్ ప్రక్రియలు.
ఆక్సీకరణ & వ్యాప్తి: అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి కోసం స్థిరమైన వేఫర్ మద్దతు వేదిక.

సాంకేతిక లక్షణాలు

అంశం	స్పెసిఫికేషన్
మెటీరియల్	అధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)
వేఫర్ సైజు	4-అంగుళాలు / 6-అంగుళాలు / 8-అంగుళాలు (అనుకూలీకరించదగినది)
గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత.	≤ 1800°C ఉష్ణోగ్రత
థర్మల్ విస్తరణ CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (SiC ఉపరితలానికి దగ్గరగా)
ఉష్ణ వాహకత	120–200 W/m·K
ఉపరితల కరుకుదనం	రా < 0.2 μm
సమాంతరత	±0.1 మిమీ
సేవా జీవితం	క్వార్ట్జ్ పడవల కంటే ≥ 3× పొడవు

పోలిక: క్వార్ట్జ్ బోట్ vs. SiC బోట్

డైమెన్షన్	క్వార్ట్జ్ పడవ	SiC పడవ
ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత	≤ 1200°C, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద రూపాంతరం చెందుతుంది.	≤ 1800°C, ఉష్ణపరంగా స్థిరంగా ఉంటుంది
SiC తో CTE మ్యాచ్	పెద్ద అసమతుల్యత, పొర ఒత్తిడి ప్రమాదం	క్లోజ్ మ్యాచ్, వేఫర్ పగుళ్లను తగ్గిస్తుంది
కణ కాలుష్యం	ఎక్కువ, మలినాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది	తక్కువ, మృదువైన మరియు దట్టమైన ఉపరితలం
సేవా జీవితం	చిన్న, తరచుగా భర్తీ	దీర్ఘకాలం, 3–5× ఎక్కువ జీవితకాలం
తగిన ప్రక్రియ	సాంప్రదాయ Si ఎపిటాక్సీ	SiC ఎపిటాక్సీ & పవర్ పరికరాల కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు - సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వేఫర్ బోట్లు

1. SiC వేఫర్ బోట్ అంటే ఏమిటి?

SiC వేఫర్ బోట్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడిన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్ క్యారియర్. ఇది ఎపిటాక్సీ, ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో వేఫర్‌లను పట్టుకోవడానికి మరియు రవాణా చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ బోట్‌లతో పోలిస్తే, SiC వేఫర్ బోట్‌లు అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం, తక్కువ కాలుష్యం మరియు ఎక్కువ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తాయి.

2. క్వార్ట్జ్ బోట్ల కంటే SiC వేఫర్ బోట్లను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: క్వార్ట్జ్ (≤1200°C) తో పోలిస్తే 1800°C వరకు స్థిరంగా ఉంటుంది.
మెరుగైన CTE సరిపోలిక: SiC ఉపరితలాలకు దగ్గరగా, వేఫర్ ఒత్తిడి మరియు పగుళ్లను తగ్గిస్తుంది.
దిగువ కణ ఉత్పత్తి: మృదువైన, దట్టమైన ఉపరితలం కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
ఎక్కువ జీవితకాలం: క్వార్ట్జ్ పడవల కంటే 3–5 రెట్లు ఎక్కువ, యాజమాన్య ఖర్చు తగ్గుతుంది.

3. SiC వేఫర్ బోట్లు ఏ వేఫర్ పరిమాణాలకు మద్దతు ఇవ్వగలవు?

మేము ప్రామాణిక డిజైన్లను అందిస్తాము4-అంగుళాలు, 6-అంగుళాలు మరియు 8-అంగుళాలువేఫర్‌లు, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చడానికి పూర్తి అనుకూలీకరణతో అందుబాటులో ఉన్నాయి.

4. SiC వేఫర్ బోట్లను సాధారణంగా ఏ ప్రక్రియలలో ఉపయోగిస్తారు?

SiC ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల
పవర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీ (SiC MOSFETలు, SBDలు, IGBTలు)
అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్, నైట్రిడేషన్ మరియు కార్బొనైజేషన్
ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ప్రక్రియలు

మా గురించి

XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్‌లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్‌ప్రైజ్‌గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్‌లో రాణిస్తున్నాము.