సిలికాన్ / సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వేఫర్ ఫోర్-స్టేజ్ లింక్డ్ పాలిషింగ్ ఆటోమేషన్ లైన్ (ఇంటిగ్రేటెడ్ పోస్ట్-పోలిష్ హ్యాండ్లింగ్ లైన్)

ఈ ఫోర్-స్టేజ్ లింక్డ్ పాలిషింగ్ ఆటోమేషన్ లైన్ అనేది దీని కోసం రూపొందించబడిన ఇంటిగ్రేటెడ్, ఇన్-లైన్ సొల్యూషన్.పోస్ట్-పాలిష్ / పోస్ట్-CMPయొక్క కార్యకలాపాలుసిలికాన్మరియుసిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)పొరలు. చుట్టూ నిర్మించబడిందిసిరామిక్ క్యారియర్లు (సిరామిక్ ప్లేట్లు), ఈ వ్యవస్థ బహుళ దిగువ పనులను ఒక సమన్వయ లైన్‌గా మిళితం చేస్తుంది - ఫ్యాబ్‌లు మాన్యువల్ హ్యాండ్లింగ్‌ను తగ్గించడానికి, టేక్ టైమ్‌ను స్థిరీకరించడానికి మరియు కాలుష్య నియంత్రణను బలోపేతం చేయడానికి సహాయపడుతుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో,CMP తర్వాత ప్రభావవంతమైన శుభ్రపరచడంతదుపరి ప్రక్రియకు ముందు లోపాలను తగ్గించడానికి కీలకమైన దశగా విస్తృతంగా గుర్తించబడింది మరియు అధునాతన విధానాలు (సహామెగాసోనిక్ శుభ్రపరచడం) కణ తొలగింపు పనితీరును మెరుగుపరచడానికి సాధారణంగా చర్చించబడతాయి.

ముఖ్యంగా SiC కి, దానిఅధిక కాఠిన్యం మరియు రసాయన జడత్వంపాలిషింగ్‌ను సవాలుతో కూడుకున్నదిగా చేస్తుంది (తరచుగా తక్కువ పదార్థ తొలగింపు రేటు మరియు ఉపరితలం/ఉపరితల నష్టం యొక్క అధిక ప్రమాదంతో ముడిపడి ఉంటుంది), ఇది స్థిరమైన పోస్ట్-పాలిష్ ఆటోమేషన్ మరియు నియంత్రిత శుభ్రపరచడం/నిర్వహణను ముఖ్యంగా విలువైనదిగా చేస్తుంది.