అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ SiC ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్

చిన్న వివరణ:

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క నిరంతర పరిణామంతో, ప్రాసెసింగ్ మరియు తనిఖీ పరికరాలకు ఎప్పటికప్పుడు అధిక పనితీరు అవసరం. మోషన్ కంట్రోల్ మరియు నానోమీటర్-స్థాయి పొజిషనింగ్‌లో విస్తృతమైన నైపుణ్యాన్ని పెంపొందించుకుంటూ, మేము ప్లానార్ H-టైప్ డ్యూయల్-యాక్సిస్ అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్‌ను అభివృద్ధి చేసాము.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

లక్షణాలు

వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం

అవలోకనం

పరిమిత-మూలకం-ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ నిర్మాణం మరియు పరిహార గాలి-బేరింగ్ సాంకేతికతతో రూపొందించబడిన ఈ స్టేజ్ అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వం, దృఢత్వం మరియు డైనమిక్ ప్రతిస్పందనను అందిస్తుంది. ఇది వీటికి అనువైనది:

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు తనిఖీ
సూక్ష్మ/నానో తయారీ మరియు కొలత శాస్త్రం
నానోమీటర్-స్కేల్ ఫ్లై-కటింగ్ మరియు పాలిషింగ్
హై-స్పీడ్ ప్రెసిషన్ స్కానింగ్

ముఖ్య లక్షణాలు

SiC ఎయిర్-బేరింగ్ గైడ్‌వేఅత్యంత అధిక దృఢత్వం మరియు ఖచ్చితత్వం కోసం
అధిక డైనమిక్స్: 1 మీ/సె వరకు వేగం, 4 గ్రా వరకు త్వరణం, వేగంగా స్థిరపడటం
డ్యూయల్-డ్రైవ్ గాంట్రీ Y-యాక్సిస్అధిక భార సామర్థ్యం మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది
ఎన్‌కోడర్ ఎంపికలు: ఆప్టికల్ గ్రేటింగ్ లేదా లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్
స్థాన ఖచ్చితత్వం: ±0.15 μm;పునరావృతం: ±75 ఎన్ఎమ్
ఆప్టిమైజ్ చేసిన కేబుల్ రూటింగ్శుభ్రమైన డిజైన్ మరియు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయత కోసం
అనుకూలీకరించదగిన కాన్ఫిగరేషన్‌లుఅప్లికేషన్-నిర్దిష్ట అవసరాల కోసం

అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ డిజైన్ & డైరెక్ట్-డ్రైవ్, నాన్-కాంటాక్ట్ ఆర్కిటెక్చర్

SiC సిరామిక్ ఫ్రేమ్: అల్యూమినియం మిశ్రమం యొక్క ~5× దృఢత్వం మరియు ~5× తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ, అధిక-వేగ స్థిరత్వం మరియు ఉష్ణ దృఢత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
పరిహారం పొందిన ఎయిర్-బేరింగ్: యాజమాన్య డిజైన్ దృఢత్వం, లోడ్ సామర్థ్యం మరియు చలన స్థిరత్వాన్ని పెంచుతుంది.
డైనమిక్ పనితీరు: 1 మీ/సె వేగం మరియు 4 గ్రా త్వరణానికి మద్దతు ఇస్తుంది, అధిక-నిర్గమాంశ ప్రక్రియలకు అనువైనది.
సజావుగా ఇంటిగ్రేషన్: వైబ్రేషన్ ఐసోలేషన్ సిస్టమ్‌లు, రోటరీ దశలు, టిల్ట్ మాడ్యూల్స్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లతో అనుకూలమైనది.
కేబుల్ నిర్వహణ: నియంత్రిత బెండింగ్ వ్యాసార్థం పొడిగించిన సేవా జీవితానికి ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది.

కోర్‌లెస్ లీనియర్ మోటార్: సున్నా కోగింగ్ ఫోర్స్‌తో స్మూత్ మోషన్.
మల్టీ-మోటార్ డ్రైవ్: లోడ్-ప్లేన్ మోటార్ ప్లేస్‌మెంట్ సరళత, చదును మరియు కోణీయ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.
థర్మల్ ఐసోలేషన్: మోటార్లు స్టేజ్ నిర్మాణం నుండి వేరుచేయబడతాయి; అధిక-డ్యూటీ చక్రాల కోసం ఐచ్ఛిక గాలి లేదా నీటి శీతలీకరణ.

లక్షణాలు

మోడల్	400-400	500-500	600-600
అక్షాలు	X (స్కాన్) / Y (దశ)	X (స్కాన్) / Y (దశ)	X (స్కాన్) / Y (దశ)
ప్రయాణం (మిమీ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
ఖచ్చితత్వం (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
పునరావృతత (nm)	±75	±100	±100
రిజల్యూషన్ (nm)	0.3 समानिक समानी	0.3 समानिक समानी	0.3 समानिक समानी
గరిష్ట వేగం (మీ/సె)	1	1	1
త్వరణం (గ్రా)	4	4	4
నిటారుగా (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
స్థిరత్వం (nm)	±5	±5	±5
గరిష్ట లోడ్ (కిలోలు)	20	20	20
పిచ్/రోల్/యా (ఆర్క్-సెకన్)	±1	±1	±1

పరీక్ష పరిస్థితులు:

గాలి సరఫరా: శుభ్రంగా, పొడిగా; మంచు బిందువు ≤ 0°F; కణ వడపోత ≤ 0.25 μm; లేదా 99.99% నత్రజని.
20±1 °C, 40–60% RH వద్ద స్టేజ్ సెంటర్ పైన 25 మి.మీ. ఖచ్చితత్వాన్ని కొలుస్తారు.

అప్లికేషన్లు

సెమీకండక్టర్ లితోగ్రఫీ, తనిఖీ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్
సూక్ష్మ/నానో తయారీ మరియు ఖచ్చితత్వ కొలత శాస్త్రం
హై-ఎండ్ ఆప్టిక్స్ తయారీ మరియు ఇంటర్ఫెరోమెట్రీ
అంతరిక్ష మరియు అధునాతన శాస్త్రీయ పరిశోధన

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు – సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎయిర్-బేరింగ్ స్టేజ్

1. గాలి మోసే దశ అంటే ఏమిటి?

గాలిని మోసే వేదిక వేదిక మరియు గైడ్‌వే మధ్య పీడన గాలి యొక్క పలుచని పొరను ఉపయోగించిఘర్షణ లేని, దుస్తులు ధరించని మరియు అతి సున్నితమైన కదలికసాంప్రదాయిక మెకానికల్ బేరింగ్‌ల మాదిరిగా కాకుండా, ఇది స్టిక్-స్లిప్‌ను తొలగిస్తుంది, నానోమీటర్-స్థాయి ఖచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది మరియు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతకు మద్దతు ఇస్తుంది.

2. స్టేజ్ నిర్మాణం కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఎందుకు ఉపయోగించాలి?

అధిక దృఢత్వం: ~5× అల్యూమినియం మిశ్రమం, డైనమిక్ మోషన్ సమయంలో వైకల్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ: అల్యూమినియం కంటే ~5× తక్కువ, ఉష్ణోగ్రత వైవిధ్యాల కింద ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్వహిస్తుంది.
తేలికైనది: ఉక్కుతో పోలిస్తే తక్కువ సాంద్రత, అధిక-వేగం మరియు అధిక-త్వరణం ఆపరేషన్‌ను అనుమతిస్తుంది.
అద్భుతమైన స్థిరత్వం: అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ పొజిషనింగ్ కోసం సుపీరియర్ డంపింగ్ మరియు దృఢత్వం.

3. వేదికకు లూబ్రికేషన్ లేదా నిర్వహణ అవసరమా?

సాంప్రదాయ లూబ్రికేషన్ అవసరం లేదు ఎందుకంటేయాంత్రిక సంబంధం లేదుసిఫార్సు చేయబడిన నిర్వహణలో ఇవి ఉన్నాయి:

సరఫరా చేస్తోందిశుభ్రమైన, పొడి సంపీడన గాలి లేదా నైట్రోజన్
ఫిల్టర్లు మరియు డ్రైయర్ల యొక్క కాలానుగుణ తనిఖీ
కేబుల్స్ మరియు శీతలీకరణ వ్యవస్థలను పర్యవేక్షించడం

4. వాయు సరఫరా అవసరాలు ఏమిటి?

మంచు బిందువు: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
కణ వడపోత: ≤ 0.25 μm
శుభ్రమైన, పొడి గాలి లేదా 99.99% స్వచ్ఛమైన నత్రజని
కనిష్ట హెచ్చుతగ్గులతో స్థిరమైన ఒత్తిడి

మా గురించి

XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్‌లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్‌ప్రైజ్‌గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్‌లో రాణిస్తున్నాము.