క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్ కొలత కోసం వేఫర్ ఓరియంటేషన్ సిస్టమ్
పరికరాల పరిచయం
వేఫర్ ఓరియంటేషన్ సాధనాలు అనేవి ఎక్స్-రే డిఫ్రాక్షన్ (XRD) సూత్రాలపై ఆధారపడిన ఖచ్చితమైన పరికరాలు, వీటిని ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ, ఆప్టికల్ మెటీరియల్స్, సిరామిక్స్ మరియు ఇతర స్ఫటికాకార పదార్థ పరిశ్రమలలో ఉపయోగిస్తారు.
ఈ పరికరాలు క్రిస్టల్ లాటిస్ విన్యాసాన్ని నిర్ణయిస్తాయి మరియు ఖచ్చితమైన కటింగ్ లేదా పాలిషింగ్ ప్రక్రియలను మార్గనిర్దేశం చేస్తాయి. ముఖ్య లక్షణాలు:
- అధిక-ఖచ్చితత్వ కొలతలు:0.001° వరకు కోణీయ రిజల్యూషన్‌లతో క్రిస్టల్లోగ్రాఫిక్ ప్లేన్‌లను పరిష్కరించగల సామర్థ్యం.
- పెద్ద నమూనా అనుకూలత:450 మిమీ వ్యాసం మరియు 30 కిలోల బరువున్న వేఫర్‌లకు మద్దతు ఇస్తుంది, సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC), నీలమణి మరియు సిలికాన్ (Si) వంటి పదార్థాలకు అనువైనది.
- మాడ్యులర్ డిజైన్:విస్తరించదగిన కార్యాచరణలలో రాకింగ్ కర్వ్ విశ్లేషణ, 3D ఉపరితల లోపం మ్యాపింగ్ మరియు బహుళ-నమూనా ప్రాసెసింగ్ కోసం స్టాకింగ్ పరికరాలు ఉన్నాయి.
కీలక సాంకేతిక పారామితులు
| పరామితి వర్గం | సాధారణ విలువలు/కాన్ఫిగరేషన్ |
| ఎక్స్-రే మూలం | Cu-Kα (0.4×1 mm ఫోకల్ స్పాట్), 30 kV యాక్సిలరేటింగ్ వోల్టేజ్, 0–5 mA సర్దుబాటు చేయగల ట్యూబ్ కరెంట్ |
| కోణీయ పరిధి | θ: -10° నుండి +50°; 2θ: -10° నుండి +100° |
| ఖచ్చితత్వం | టిల్ట్ యాంగిల్ రిజల్యూషన్: 0.001°, ఉపరితల లోప గుర్తింపు: ±30 ఆర్క్ సెకన్లు (రాకింగ్ కర్వ్) |
| స్కానింగ్ వేగం | ఒమేగా స్కాన్ 5 సెకన్లలో పూర్తి లాటిస్ ఓరియంటేషన్‌ను పూర్తి చేస్తుంది; తీటా స్కాన్ ~1 నిమిషం పడుతుంది. |
| నమూనా దశ. | V-గ్రూవ్, వాయు చూషణ, బహుళ-కోణ భ్రమణం, 2–8-అంగుళాల వేఫర్‌లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. |
| విస్తరించదగిన విధులు | రాకింగ్ కర్వ్ విశ్లేషణ, 3D మ్యాపింగ్, స్టాకింగ్ పరికరం, ఆప్టికల్ లోప గుర్తింపు (గీతలు, GBలు) |
పని సూత్రం
1. ఎక్స్-రే డిఫ్రాక్షన్ ఫౌండేషన్
- X-కిరణాలు స్ఫటిక లాటిస్‌లో అణు కేంద్రకాలు మరియు ఎలక్ట్రాన్‌లతో సంకర్షణ చెందుతాయి, వివర్తన నమూనాలను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. బ్రాగ్స్ లా (nλ = 2d sinθ) వివర్తన కోణాలు (θ) మరియు లాటిస్ అంతరం (d) మధ్య సంబంధాన్ని నియంత్రిస్తుంది.
డిటెక్టర్లు ఈ నమూనాలను సంగ్రహిస్తాయి, వీటిని స్ఫటికాకార నిర్మాణాన్ని పునర్నిర్మించడానికి విశ్లేషిస్తారు.
2. ఒమేగా స్కానింగ్ టెక్నాలజీ
- ఆ స్ఫటికం ఒక స్థిర అక్షం చుట్టూ నిరంతరం తిరుగుతూ ఉంటుంది, అయితే X-కిరణాలు దానిని ప్రకాశింపజేస్తాయి.
- డిటెక్టర్లు బహుళ క్రిస్టల్లోగ్రాఫిక్ ప్లేన్‌లలో డిఫ్రాక్షన్ సిగ్నల్‌లను సేకరిస్తాయి, 5 సెకన్లలో పూర్తి లాటిస్ ఓరియంటేషన్ నిర్ణయాన్ని అనుమతిస్తుంది.
3. రాకింగ్ కర్వ్ విశ్లేషణ
- లాటిస్ లోపాలు మరియు స్ట్రెయిన్‌ను అంచనా వేయడానికి, పీక్ వెడల్పు (FWHM) ను కొలవడానికి వివిధ ఎక్స్-రే ఇన్సిడెన్స్ కోణాలతో స్థిర క్రిస్టల్ కోణం.
4. ఆటోమేటెడ్ కంట్రోల్
- PLC మరియు టచ్‌స్క్రీన్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు ప్రీసెట్ కట్టింగ్ యాంగిల్స్, రియల్-టైమ్ ఫీడ్‌బ్యాక్ మరియు క్లోజ్డ్-లూప్ నియంత్రణ కోసం కట్టింగ్ మెషీన్‌లతో ఏకీకరణను ప్రారంభిస్తాయి.
ప్రయోజనాలు మరియు లక్షణాలు
1. ఖచ్చితత్వం మరియు సామర్థ్యం
- కోణీయ ఖచ్చితత్వం ±0.001°, లోప గుర్తింపు రిజల్యూషన్ <30 ఆర్క్ సెకన్లు.
- సాంప్రదాయ తీటా స్కాన్‌ల కంటే ఒమేగా స్కాన్ వేగం 200× వేగంగా ఉంటుంది.
2. మాడ్యులారిటీ మరియు స్కేలబిలిటీ
- ప్రత్యేక అనువర్తనాలకు విస్తరించదగినది (ఉదా., SiC వేఫర్‌లు, టర్బైన్ బ్లేడ్‌లు).
- రియల్-టైమ్ ఉత్పత్తి పర్యవేక్షణ కోసం MES వ్యవస్థలతో అనుసంధానిస్తుంది.
3. అనుకూలత మరియు స్థిరత్వం
- సక్రమంగా ఆకారంలో లేని నమూనాలను (ఉదా., పగిలిన నీలమణి కడ్డీలు) ఉంచుతుంది.
- ఎయిర్-కూల్డ్ డిజైన్ నిర్వహణ అవసరాలను తగ్గిస్తుంది.
4. ఇంటెలిజెంట్ ఆపరేషన్
- ఒక-క్లిక్ క్రమాంకనం మరియు బహుళ-పని ప్రాసెసింగ్.
- మానవ తప్పిదాలను తగ్గించడానికి రిఫరెన్స్ స్ఫటికాలతో ఆటో-క్యాలిబ్రేషన్.
అప్లికేషన్లు
1. సెమీకండక్టర్ తయారీ
- వేఫర్ డైసింగ్ ఓరియంటేషన్: ఆప్టిమైజ్ చేసిన కటింగ్ సామర్థ్యం కోసం Si, SiC, GaN వేఫర్ ఓరియంటేషన్‌లను నిర్ణయిస్తుంది.
- లోపాల మ్యాపింగ్: చిప్ దిగుబడిని మెరుగుపరచడానికి ఉపరితల గీతలు లేదా తొలగుటలను గుర్తిస్తుంది.
2. ఆప్టికల్ మెటీరియల్స్
- లేజర్ పరికరాల కోసం నాన్ లీనియర్ స్ఫటికాలు (ఉదా. LBO, BBO).
- LED సబ్‌స్ట్రేట్‌ల కోసం నీలమణి వేఫర్ రిఫరెన్స్ ఉపరితల మార్కింగ్.
3. సెరామిక్స్ మరియు మిశ్రమాలు
- అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల కోసం Si3N4 మరియు ZrO2 లలో ధాన్యం విన్యాసాన్ని విశ్లేషిస్తుంది.
4. పరిశోధన మరియు నాణ్యత నియంత్రణ
- కొత్త పదార్థ అభివృద్ధి కోసం విశ్వవిద్యాలయాలు/ప్రయోగశాలలు (ఉదా., అధిక-ఎంట్రోపీ మిశ్రమలోహాలు).
- బ్యాచ్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి పారిశ్రామిక QC.
XKH సేవలు
XKH వేఫర్ ఓరియంటేషన్ పరికరాల కోసం సమగ్ర జీవితచక్ర సాంకేతిక మద్దతును అందిస్తుంది, వీటిలో ఇన్‌స్టాలేషన్, ప్రాసెస్ పారామీటర్ ఆప్టిమైజేషన్, రాకింగ్ కర్వ్ విశ్లేషణ మరియు 3D ఉపరితల లోపం మ్యాపింగ్ ఉన్నాయి. సెమీకండక్టర్ మరియు ఆప్టికల్ మెటీరియల్ ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని 30% కంటే ఎక్కువ పెంచడానికి టైలర్డ్ సొల్యూషన్స్ (ఉదా., ఇంగోట్ స్టాకింగ్ టెక్నాలజీ) అందించబడతాయి. అంకితమైన బృందం ఆన్-సైట్ శిక్షణను నిర్వహిస్తుంది, అయితే 24/7 రిమోట్ సపోర్ట్ మరియు వేగవంతమైన విడిభాగాల భర్తీ పరికరాల విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.
సంబంధిత ఉత్పత్తులు
-
UV లేజర్ మేకర్ మెషిన్ సెన్సిటివ్ మెటీరియల్స్ నో H...
-
SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ SiC ఇంగోట్ గ్రోయింగ్ 4i...
-
CNC ఇంగోట్ రౌండింగ్ మెషిన్ (నీలమణి, SiC కోసం, ...
-
12 అంగుళాల పూర్తిగా ఆటోమేటిక్ ప్రెసిషన్ డైసింగ్ సా ఈక్వి...
-
హార్డ్ &... కోసం ప్రెసిషన్ మైక్రోజెట్ లేజర్ సిస్టమ్
-
లేజర్ నకిలీ నిరోధక మార్కింగ్ పరికరాలు సాప్...