SiC సిరామిక్ ట్రే ఎండ్ ఎఫెక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కస్టమ్-మేడ్ కాంపోనెంట్స్
SiC సిరామిక్ & అల్యూమినా సిరామిక్ కస్టమ్ కాంపోనెంట్స్ బ్రీఫ్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ కస్టమ్ కాంపోనెంట్స్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ కస్టమ్ భాగాలు అధిక-పనితీరు గల పారిశ్రామిక సిరామిక్ పదార్థాలు, వాటిచాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం, అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, అసాధారణ తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ కస్టమ్ భాగాలు నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడానికి వీలు కల్పిస్తాయిబలమైన ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు కరిగిన లోహాల నుండి కోతను నిరోధించేటప్పుడు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలు. SiC సిరామిక్స్ వంటి ప్రక్రియల ద్వారా తయారు చేయబడతాయిపీడనరహిత సింటరింగ్, ప్రతిచర్య సింటరింగ్ లేదా హాట్-ప్రెస్ సింటరింగ్మరియు మెకానికల్ సీల్ రింగులు, షాఫ్ట్ స్లీవ్లు, నాజిల్లు, ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు, వేఫర్ బోట్లు మరియు వేర్-రెసిస్టెంట్ లైనింగ్ ప్లేట్లతో సహా సంక్లిష్టమైన ఆకారాలలోకి అనుకూలీకరించవచ్చు.
అల్యూమినా సిరామిక్ కస్టమ్ కాంపోనెంట్స్
అల్యూమినా (Al₂O₃) సిరామిక్ కస్టమ్ భాగాలు నొక్కి చెబుతాయిఅధిక ఇన్సులేషన్, మంచి యాంత్రిక బలం మరియు దుస్తులు నిరోధకత. స్వచ్ఛత తరగతుల ద్వారా వర్గీకరించబడింది (ఉదా., 95%, 99%), ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్తో అల్యూమినా (Al₂O₃) సిరామిక్ కస్టమ్ భాగాలు వాటిని ఇన్సులేటర్లు, బేరింగ్లు, కటింగ్ టూల్స్ మరియు మెడికల్ ఇంప్లాంట్లుగా రూపొందించడానికి అనుమతిస్తుంది. అల్యూమినా సిరామిక్స్ ప్రధానంగా దీని ద్వారా తయారు చేయబడతాయిడ్రై ప్రెస్సింగ్, ఇంజెక్షన్ మోల్డింగ్ లేదా ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ ప్రక్రియలు, ఉపరితలాలను మిర్రర్ ఫినిషింగ్కు పాలిష్ చేయవచ్చు.
XKH పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి (R&D) మరియు కస్టమ్ ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది,సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మరియు అల్యూమినా (Al₂O₃) సిరామిక్స్. SiC సిరామిక్ ఉత్పత్తులు అధిక-ఉష్ణోగ్రత, అధిక-ధర మరియు తుప్పు పట్టే వాతావరణాలపై దృష్టి పెడతాయి, సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్లను (ఉదా., వేఫర్ బోట్లు, కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్, ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు) అలాగే థర్మల్ ఫీల్డ్ భాగాలు మరియు కొత్త శక్తి రంగాల కోసం హై-ఎండ్ సీల్లను కవర్ చేస్తాయి. అల్యూమినా సిరామిక్ ఉత్పత్తులు ఇన్సులేషన్, సీలింగ్ మరియు బయోమెడికల్ లక్షణాలను నొక్కి చెబుతాయి, వీటిలో ఎలక్ట్రానిక్ సబ్స్ట్రేట్లు, మెకానికల్ సీల్ రింగులు మరియు మెడికల్ ఇంప్లాంట్లు ఉన్నాయి. వంటి సాంకేతికతలను ఉపయోగించడంఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్, ప్రెజర్లెస్ సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్, మేము సెమీకండక్టర్లు, ఫోటోవోల్టాయిక్స్, ఏరోస్పేస్, మెడికల్ మరియు కెమికల్ ప్రాసెసింగ్ వంటి పరిశ్రమలకు అధిక-పనితీరు గల అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము, తీవ్రమైన పరిస్థితుల్లో భాగాలు ఖచ్చితత్వం, దీర్ఘాయువు మరియు విశ్వసనీయత కోసం కఠినమైన అవసరాలను తీరుస్తాయని నిర్ధారిస్తాము.
SiC సిరామిక్ ఫంక్షనల్ చక్స్ & CMP గ్రైండింగ్ డిస్క్లు పరిచయం
SiC సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్స్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్స్ అనేవి అధిక-పనితీరు గల సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ పదార్థం నుండి తయారు చేయబడిన అధిక-ఖచ్చితత్వ శోషణ సాధనాలు. ఇవి సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్ మరియు ప్రెసిషన్ తయారీ పరిశ్రమలు వంటి తీవ్ర శుభ్రత మరియు స్థిరత్వాన్ని కోరుకునే అనువర్తనాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. వాటి ప్రధాన ప్రయోజనాలు: అద్దం-స్థాయి పాలిష్ చేసిన ఉపరితలం (0.3–0.5 μm లోపల ఫ్లాట్నెస్ నియంత్రించబడుతుంది), అల్ట్రా-హై దృఢత్వం మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం (నానో-స్థాయి ఆకారం మరియు స్థాన స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది), చాలా తేలికైన నిర్మాణం (చలన జడత్వాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది), మరియు అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకత (9.5 వరకు మోహ్స్ కాఠిన్యం, మెటల్ చక్ల జీవితకాలం కంటే చాలా ఎక్కువ). ఈ లక్షణాలు అధిక మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రతలు, బలమైన తుప్పు మరియు అధిక-వేగ నిర్వహణతో ప్రత్యామ్నాయ వాతావరణాలలో స్థిరమైన ఆపరేషన్ను ప్రారంభిస్తాయి, వేఫర్లు మరియు ఆప్టికల్ మూలకాల వంటి ఖచ్చితత్వ భాగాల కోసం ప్రాసెసింగ్ దిగుబడి మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తాయి.
కొలతల శాస్త్రం మరియు తనిఖీ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) బంప్ వాక్యూమ్ చక్
వేఫర్ లోపం తనిఖీ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడిన ఈ అధిక-ఖచ్చితమైన అధిశోషణ సాధనం సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ పదార్థం నుండి తయారు చేయబడింది. దీని ప్రత్యేకమైన ఉపరితల బంప్ నిర్మాణం వేఫర్తో సంపర్క ప్రాంతాన్ని తగ్గించేటప్పుడు శక్తివంతమైన వాక్యూమ్ అధిశోషణ శక్తిని అందిస్తుంది, తద్వారా వేఫర్ ఉపరితలానికి నష్టం లేదా కాలుష్యాన్ని నివారిస్తుంది మరియు తనిఖీ సమయంలో స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. చక్ అసాధారణమైన ఫ్లాట్నెస్ (0.3–0.5 μm) మరియు అద్దం-పాలిష్ చేసిన ఉపరితలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది అల్ట్రా-లైట్ బరువు మరియు అధిక-వేగ కదలిక సమయంలో స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అధిక దృఢత్వంతో కలిపి ఉంటుంది. దీని అత్యంత తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని హామీ ఇస్తుంది, అయితే అత్యుత్తమ దుస్తులు నిరోధకత సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. ఉత్పత్తి వివిధ వేఫర్ పరిమాణాల తనిఖీ అవసరాలను తీర్చడానికి 6, 8 మరియు 12-అంగుళాల స్పెసిఫికేషన్లలో అనుకూలీకరణకు మద్దతు ఇస్తుంది.
ఫ్లిప్ చిప్ బాండింగ్ చక్
ఫ్లిప్ చిప్ బాండింగ్ చక్ అనేది చిప్ ఫ్లిప్-చిప్ బాండింగ్ ప్రక్రియలలో ఒక ప్రధాన భాగం, ఇది హై-స్పీడ్, హై-ప్రెసిషన్ బాండింగ్ ఆపరేషన్ల సమయంలో స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి వేఫర్లను ఖచ్చితంగా శోషించడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. ఇది అద్దం-పాలిష్ చేసిన ఉపరితలం (ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరత ≤1 μm) మరియు వేఫర్ స్థానభ్రంశం లేదా నష్టాన్ని నివారిస్తూ ఏకరీతి వాక్యూమ్ శోషణ శక్తిని సాధించడానికి ఖచ్చితమైన గ్యాస్ ఛానల్ గ్రూవ్లను కలిగి ఉంటుంది. దీని అధిక దృఢత్వం మరియు అల్ట్రా-తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (సిలికాన్ పదార్థానికి దగ్గరగా) అధిక-ఉష్ణోగ్రత బంధన వాతావరణాలలో డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, అయితే అధిక-సాంద్రత కలిగిన పదార్థం (ఉదా, సిలికాన్ కార్బైడ్ లేదా ప్రత్యేక సిరామిక్స్) గ్యాస్ పారగమ్యతను సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది, దీర్ఘకాలిక వాక్యూమ్ విశ్వసనీయతను నిర్వహిస్తుంది. ఈ లక్షణాలు సమిష్టిగా మైక్రాన్-స్థాయి బాండింగ్ ఖచ్చితత్వానికి మద్దతు ఇస్తాయి మరియు చిప్ ప్యాకేజింగ్ దిగుబడిని గణనీయంగా పెంచుతాయి.
SiC బాండింగ్ చక్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) బాండింగ్ చక్ అనేది చిప్ బాండింగ్ ప్రక్రియలలో ఒక ప్రధాన ఫిక్చర్, ఇది ప్రత్యేకంగా వేఫర్లను ఖచ్చితంగా శోషించడం మరియు భద్రపరచడం కోసం రూపొందించబడింది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-పీడన బంధ పరిస్థితులలో అల్ట్రా-స్టేబుల్ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది. అధిక-సాంద్రత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ (పోరోసిటీ <0.1%) నుండి తయారు చేయబడిన ఇది నానోమీటర్-స్థాయి మిర్రర్ పాలిషింగ్ (ఉపరితల కరుకుదనం Ra <0.1 μm) మరియు ఖచ్చితత్వ గ్యాస్ ఛానల్ గ్రూవ్లు (రంధ్రాల వ్యాసం: 5-50 μm) ద్వారా ఏకరీతి శోషణ శక్తి పంపిణీని (విచలనం <5%) సాధిస్తుంది, ఇది వేఫర్ స్థానభ్రంశం లేదా ఉపరితల నష్టాన్ని నివారిస్తుంది. దీని అల్ట్రా-తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (4.5×10⁻⁶/℃) సిలికాన్ వేఫర్లతో దగ్గరగా సరిపోతుంది, ఉష్ణ ఒత్తిడి-ప్రేరిత వార్పేజీని తగ్గిస్తుంది. అధిక దృఢత్వం (ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ >400 GPa) మరియు ≤1 μm ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరతతో కలిపి, ఇది బంధం అమరిక ఖచ్చితత్వాన్ని హామీ ఇస్తుంది. సెమీకండక్టర్ ప్యాకేజింగ్, 3D స్టాకింగ్ మరియు చిప్లెట్ ఇంటిగ్రేషన్లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది నానోస్కేల్ ఖచ్చితత్వం మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం అవసరమయ్యే హై-ఎండ్ తయారీ అనువర్తనాలకు మద్దతు ఇస్తుంది.
CMP గ్రైండింగ్ డిస్క్
CMP గ్రైండింగ్ డిస్క్ అనేది కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) పరికరాలలో ఒక ప్రధాన భాగం, ఇది హై-స్పీడ్ పాలిషింగ్ సమయంలో వేఫర్లను సురక్షితంగా పట్టుకుని స్థిరీకరించడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది, ఇది నానోమీటర్-స్థాయి గ్లోబల్ ప్లానరైజేషన్ను అనుమతిస్తుంది. అధిక-దృఢత్వం, అధిక-సాంద్రత కలిగిన పదార్థాల నుండి (ఉదా., సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ లేదా ప్రత్యేక మిశ్రమలోహాలు) నిర్మించబడింది, ఇది ఖచ్చితత్వంతో ఇంజనీర్ చేయబడిన గ్యాస్ ఛానల్ గ్రూవ్ల ద్వారా ఏకరీతి వాక్యూమ్ శోషణను నిర్ధారిస్తుంది. దీని అద్దం-పాలిష్ చేసిన ఉపరితలం (ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరత ≤3 μm) వేఫర్లతో ఒత్తిడి-రహిత సంబంధాన్ని హామీ ఇస్తుంది, అయితే అతి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (సిలికాన్తో సరిపోలింది) మరియు అంతర్గత శీతలీకరణ ఛానెల్లు ఉష్ణ వైకల్యాన్ని సమర్థవంతంగా అణిచివేస్తాయి. 12-అంగుళాల (750 మిమీ వ్యాసం) వేఫర్లతో అనుకూలంగా ఉంటుంది, డిస్క్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు ఒత్తిళ్ల కింద బహుళస్థాయి నిర్మాణాల యొక్క అతుకులు లేని ఏకీకరణ మరియు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడానికి డిఫ్యూజన్ బాండింగ్ టెక్నాలజీని ప్రభావితం చేస్తుంది, CMP ప్రక్రియ ఏకరూపత మరియు దిగుబడిని గణనీయంగా పెంచుతుంది.
అనుకూలీకరించిన వివిధ SiC సెరామిక్స్ భాగాలు పరిచయం
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) స్క్వేర్ మిర్రర్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) స్క్వేర్ మిర్రర్ అనేది అధునాతన సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్తో తయారు చేయబడిన అధిక-ఖచ్చితమైన ఆప్టికల్ భాగం, ఇది ప్రత్యేకంగా లితోగ్రఫీ యంత్రాల వంటి హై-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాల కోసం రూపొందించబడింది. ఇది హేతుబద్ధమైన తేలికైన నిర్మాణ రూపకల్పన (ఉదా., వెనుక వైపు తేనెగూడు హాలోయింగ్) ద్వారా అతి తక్కువ బరువు మరియు అధిక దృఢత్వం (ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ >400 GPa) సాధిస్తుంది, అయితే దాని అత్యంత తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (≈4.5×10⁻⁶/℃) ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. అద్దం ఉపరితలం, ఖచ్చితమైన పాలిషింగ్ తర్వాత, ≤1 μm ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరతను పొందుతుంది మరియు దాని అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకత (మోహ్స్ కాఠిన్యం 9.5) సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. ఇది లితోగ్రఫీ మెషిన్ వర్క్స్టేషన్లు, లేజర్ రిఫ్లెక్టర్లు మరియు స్పేస్ టెలిస్కోప్లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇక్కడ అల్ట్రా-హై ప్రెసిషన్ మరియు స్థిరత్వం కీలకం.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఎయిర్ ఫ్లోటేషన్ గైడ్లు
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఎయిర్ ఫ్లోటేషన్ గైడ్లు నాన్-కాంటాక్ట్ ఏరోస్టాటిక్ బేరింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగిస్తాయి, ఇక్కడ కంప్రెస్డ్ గ్యాస్ మైక్రాన్-లెవల్ ఎయిర్ ఫిల్మ్ను (సాధారణంగా 3-20μm) ఏర్పరుస్తుంది, ఇది ఘర్షణ లేని మరియు కంపనం లేని మృదువైన కదలికను సాధిస్తుంది. అవి నానోమెట్రిక్ మోషన్ ఖచ్చితత్వాన్ని (±75nm వరకు పునరావృత స్థాన ఖచ్చితత్వం) మరియు సబ్-మైక్రాన్ రేఖాగణిత ఖచ్చితత్వాన్ని (స్ట్రెయిట్నెస్ ±0.1-0.5μm, ఫ్లాట్నెస్ ≤1μm) అందిస్తాయి, ఇది ప్రెసిషన్ గ్రేటింగ్ స్కేల్స్ లేదా లేజర్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్లతో క్లోజ్డ్-లూప్ ఫీడ్బ్యాక్ నియంత్రణ ద్వారా ప్రారంభించబడుతుంది. కోర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ మెటీరియల్ (ఎంపికలలో కోరెసిక్® SP/మార్వెల్ సిక్ సిరీస్ ఉన్నాయి) అల్ట్రా-హై దృఢత్వం (ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ >400 GPa), అల్ట్రా-తక్కువ థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్ (4.0–4.5×10⁻⁶/K, మ్యాచింగ్ సిలికాన్) మరియు అధిక సాంద్రత (సచ్ఛిద్రత <0.1%) అందిస్తుంది. దీని తేలికైన డిజైన్ (సాంద్రత 3.1g/cm³, అల్యూమినియం తర్వాత రెండవది) చలన జడత్వాన్ని తగ్గిస్తుంది, అయితే అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకత (మోహ్స్ కాఠిన్యం 9.5) మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం అధిక-వేగం (1m/s) మరియు అధిక-త్వరణం (4G) పరిస్థితులలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి. ఈ గైడ్లను సెమీకండక్టర్ లితోగ్రఫీ, వేఫర్ తనిఖీ మరియు అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్లో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్రాస్-బీమ్స్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్రాస్-బీమ్లు సెమీకండక్టర్ పరికరాలు మరియు హై-ఎండ్ ఇండస్ట్రియల్ అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడిన కోర్ మోషన్ భాగాలు, ఇవి ప్రధానంగా వేఫర్ దశలను మోసుకెళ్లడానికి మరియు హై-స్పీడ్, అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మోషన్ కోసం పేర్కొన్న పథాల వెంట వాటిని మార్గనిర్దేశం చేయడానికి పనిచేస్తాయి. హై-పెర్ఫార్మెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ (ఎంపికలలో కోరెసిక్® SP లేదా మార్వెల్ సిక్ సిరీస్ ఉన్నాయి) మరియు తేలికపాటి నిర్మాణ రూపకల్పనను ఉపయోగించి, అవి అధిక దృఢత్వం (ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ >400 GPa)తో అల్ట్రా-లైట్ బరువును సాధిస్తాయి, అలాగే థర్మల్ విస్తరణ యొక్క అల్ట్రా-తక్కువ గుణకం (≈4.5×10⁻⁶/℃) మరియు అధిక సాంద్రత (పోరోసిటీ <0.1%)తో పాటు, థర్మల్ మరియు మెకానికల్ ఒత్తిళ్ల కింద నానోమెట్రిక్ స్థిరత్వాన్ని (ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరత ≤1μm) నిర్ధారిస్తాయి. వాటి ఇంటిగ్రేటెడ్ లక్షణాలు హై-స్పీడ్ మరియు హై-యాక్సిలరేషన్ ఆపరేషన్లకు (ఉదా., 1మీ/సె, 4G) మద్దతు ఇస్తాయి, వీటిని లితోగ్రఫీ యంత్రాలు, వేఫర్ తనిఖీ వ్యవస్థలు మరియు ఖచ్చితత్వ తయారీకి అనువైనవిగా చేస్తాయి, చలన ఖచ్చితత్వం మరియు డైనమిక్ ప్రతిస్పందన సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా పెంచుతాయి.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) చలన భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మోషన్ కాంపోనెంట్స్ అనేవి హై-ప్రెసిషన్ సెమీకండక్టర్ మోషన్ సిస్టమ్స్ కోసం రూపొందించబడిన కీలకమైన భాగాలు, ఇవి హై-డెన్సిటీ SiC మెటీరియల్స్ (ఉదా., కోర్సిక్® SP లేదా మార్వెల్ సిక్ సిరీస్, పోరోసిటీ <0.1%) మరియు లైట్ వెయిట్ స్ట్రక్చరల్ డిజైన్ను ఉపయోగించి అధిక దృఢత్వం (ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ >400 GPa)తో అల్ట్రా-లైట్ వెయిట్ను సాధించడానికి ఉపయోగిస్తాయి. అల్ట్రా-తక్కువ థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్ (≈4.5×10⁻⁶/℃)తో, అవి థర్మల్ హెచ్చుతగ్గుల కింద నానోమెట్రిక్ స్థిరత్వాన్ని (ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరత ≤1μm) నిర్ధారిస్తాయి. ఈ ఇంటిగ్రేటెడ్ లక్షణాలు హై-స్పీడ్ మరియు హై-యాక్సిలరేషన్ ఆపరేషన్లకు (ఉదా., 1మీ/సె, 4G) మద్దతు ఇస్తాయి, ఇవి లితోగ్రఫీ యంత్రాలు, వేఫర్ తనిఖీ వ్యవస్థలు మరియు ప్రెసిషన్ తయారీకి అనువైనవిగా చేస్తాయి, మోషన్ ఖచ్చితత్వం మరియు డైనమిక్ ప్రతిస్పందన సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా పెంచుతాయి.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఆప్టికల్ పాత్ ప్లేట్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఆప్టికల్ పాత్ ప్లేట్ అనేది వేఫర్ తనిఖీ పరికరాలలో డ్యూయల్-ఆప్టికల్-పాత్ సిస్టమ్ల కోసం రూపొందించబడిన కోర్ బేస్ ప్లాట్ఫామ్. అధిక-పనితీరు గల సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్తో తయారు చేయబడిన ఇది, తేలికైన నిర్మాణ రూపకల్పన ద్వారా అతి తేలికైన (సాంద్రత ≈3.1 గ్రా/సెం.మీ³) మరియు అధిక దృఢత్వం (సాగే మాడ్యులస్ >400 GPa)ను సాధిస్తుంది, అదే సమయంలో అతి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (≈4.5×10⁻⁶/℃) మరియు అధిక సాంద్రత (సచ్ఛిద్రత <0.1%) కలిగి ఉంటుంది, ఇది ఉష్ణ మరియు యాంత్రిక హెచ్చుతగ్గుల కింద నానోమెట్రిక్ స్థిరత్వాన్ని (ఫ్లాట్నెస్/సమాంతరత ≤0.02mm) నిర్ధారిస్తుంది. దాని పెద్ద గరిష్ట పరిమాణం (900×900mm) మరియు అసాధారణమైన సమగ్ర పనితీరుతో, ఇది ఆప్టికల్ సిస్టమ్ల కోసం దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన మౌంటు బేస్లైన్ను అందిస్తుంది, తనిఖీ ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతను గణనీయంగా పెంచుతుంది. ఇది సెమీకండక్టర్ మెట్రాలజీ, ఆప్టికల్ అలైన్మెంట్ మరియు హై-ప్రెసిషన్ ఇమేజింగ్ సిస్టమ్లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
గ్రాఫైట్ + టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గైడ్ రింగ్
గ్రాఫైట్ + టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గైడ్ రింగ్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ పరికరాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన కీలకమైన భాగం. దీని ప్రధాన విధి అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాయు ప్రవాహాన్ని ఖచ్చితంగా నిర్దేశించడం, ప్రతిచర్య గదిలోని ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్రవాహ క్షేత్రాల ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడం. CVD-డిపాజిటెడ్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పొర (కోటింగ్ అశుద్ధత కంటెంట్ <5 ppm)తో పూత పూయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ ఉపరితలం (స్వచ్ఛత >99.99%) నుండి తయారు చేయబడిన ఇది అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత (≈120 W/m·K) మరియు తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతల కింద (2200°C వరకు తట్టుకునే) రసాయన జడత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, సిలికాన్ ఆవిరి తుప్పును సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది మరియు అశుద్ధ వ్యాప్తిని అణిచివేస్తుంది. పూత యొక్క అధిక ఏకరూపత (విచలనం <3%, పూర్తి-ప్రాంత కవరేజ్) స్థిరమైన వాయువు మార్గదర్శకత్వం మరియు దీర్ఘకాలిక సేవా విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది, SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల నాణ్యత మరియు దిగుబడిని గణనీయంగా పెంచుతుంది.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఫర్నేస్ ట్యూబ్ సారాంశం
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వర్టికల్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) వర్టికల్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ అనేది అధిక-ఉష్ణోగ్రత పారిశ్రామిక పరికరాల కోసం రూపొందించబడిన కీలకమైన భాగం, ప్రధానంగా గాలి వాతావరణంలో ఫర్నేస్లో ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారించడానికి బాహ్య రక్షణ ట్యూబ్గా పనిచేస్తుంది, సాధారణ ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత 1200°C. 3D ప్రింటింగ్ ఇంటిగ్రేటెడ్ ఫార్మింగ్ టెక్నాలజీ ద్వారా తయారు చేయబడిన ఇది బేస్ మెటీరియల్ ఇంప్యూరిటీ కంటెంట్ <300 ppmని కలిగి ఉంటుంది మరియు ఐచ్ఛికంగా CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (కోటింగ్ మలినాలు <5 ppm)తో అమర్చవచ్చు. అధిక ఉష్ణ వాహకత (≈20 W/m·K) మరియు అసాధారణమైన థర్మల్ షాక్ స్టెబిలిటీ (థర్మల్ గ్రేడియంట్స్>800°Cని నిరోధించడం) కలిపి, సెమీకండక్టర్ హీట్ ట్రీట్మెంట్, ఫోటోవోల్టాయిక్ మెటీరియల్ సింటరింగ్ మరియు ప్రెసిషన్ సిరామిక్ ఉత్పత్తి వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో ఇది విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది పరికరాల ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను గణనీయంగా పెంచుతుంది.
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్ ట్యూబ్
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్ ట్యూబ్ అనేది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడిన ఒక ప్రధాన భాగం, ఇది ఆక్సిజన్ (రియాక్టివ్ గ్యాస్), నైట్రోజన్ (రక్షిత వాయువు) మరియు ట్రేస్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ కలిగిన వాతావరణంలో పనిచేసే ప్రాసెస్ ట్యూబ్గా పనిచేస్తుంది, ఇది సాధారణ ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత 1250°C. 3D ప్రింటింగ్ ఇంటిగ్రేటెడ్ ఫార్మింగ్ టెక్నాలజీ ద్వారా తయారు చేయబడిన ఇది బేస్ మెటీరియల్ ఇంప్యూరిటీ కంటెంట్ <300 ppmని కలిగి ఉంటుంది మరియు ఐచ్ఛికంగా CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత (పూత మలినాలను <5 ppm)తో అమర్చవచ్చు. అధిక ఉష్ణ వాహకత (≈20 W/m·K) మరియు అసాధారణమైన ఉష్ణ షాక్ స్థిరత్వం (థర్మల్ గ్రేడియంట్లు>800°C నిరోధకత) కలిపి, ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు సన్నని-పొర నిక్షేపణ వంటి సెమీకండక్టర్ అనువర్తనాలను డిమాండ్ చేయడానికి, తీవ్రమైన పరిస్థితులలో నిర్మాణ సమగ్రత, వాతావరణ స్వచ్ఛత మరియు దీర్ఘకాలిక ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడం కోసం ఇది అనువైనది.
SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్స్ పరిచయం
సెమీకండక్టర్ తయారీ
సెమీకండక్టర్ వేఫర్ తయారీలో, SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్లను ప్రధానంగా వేఫర్లను బదిలీ చేయడానికి మరియు ఉంచడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇవి సాధారణంగా ఇక్కడ కనిపిస్తాయి:
- వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలు: వేఫర్ క్యాసెట్లు మరియు ప్రాసెస్ బోట్లు వంటివి, ఇవి అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు పట్టే ప్రక్రియ వాతావరణాలలో స్థిరంగా పనిచేస్తాయి.
- లితోగ్రఫీ యంత్రాలు: దశలు, గైడ్లు మరియు రోబోటిక్ ఆర్మ్లు వంటి ఖచ్చితత్వ భాగాలలో ఉపయోగించబడతాయి, ఇక్కడ వాటి అధిక దృఢత్వం మరియు తక్కువ ఉష్ణ వైకల్యం నానోమీటర్-స్థాయి చలన ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.
- ఎచింగ్ మరియు డిఫ్యూజన్ ప్రక్రియలు: సెమీకండక్టర్ డిఫ్యూజన్ ప్రక్రియలకు ICP ఎచింగ్ ట్రేలు మరియు భాగాలుగా పనిచేస్తాయి, వాటి అధిక స్వచ్ఛత మరియు తుప్పు నిరోధకత ప్రక్రియ గదులలో కాలుష్యాన్ని నివారిస్తాయి.
పారిశ్రామిక ఆటోమేషన్ మరియు రోబోటిక్స్
SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్లు అధిక పనితీరు గల పారిశ్రామిక రోబోట్లు మరియు ఆటోమేటెడ్ పరికరాలలో కీలకమైన భాగాలు:
- రోబోటిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు: హ్యాండ్లింగ్, అసెంబ్లీ మరియు ప్రెసిషన్ ఆపరేషన్లకు ఉపయోగిస్తారు. వాటి తేలికపాటి లక్షణాలు (సాంద్రత ~3.21 గ్రా/సెం.మీ³) రోబోట్ వేగం మరియు సామర్థ్యాన్ని పెంచుతాయి, అయితే వాటి అధిక కాఠిన్యం (వికర్స్ కాఠిన్యం ~2500) అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకతను నిర్ధారిస్తుంది.
- ఆటోమేటెడ్ ప్రొడక్షన్ లైన్లు: అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ, అధిక-ఖచ్చితత్వ నిర్వహణ (ఉదా., ఇ-కామర్స్ గిడ్డంగులు, ఫ్యాక్టరీ నిల్వ) అవసరమయ్యే సందర్భాలలో, SiC ఫోర్క్ ఆర్మ్లు దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన పనితీరును హామీ ఇస్తాయి.
ఏరోస్పేస్ మరియు న్యూ ఎనర్జీ
తీవ్రమైన వాతావరణాలలో, SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్లు వాటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు థర్మల్ షాక్ నిరోధకతను ప్రభావితం చేస్తాయి:
- ఏరోస్పేస్: అంతరిక్ష నౌకలు మరియు డ్రోన్ల యొక్క కీలకమైన భాగాలలో వీటిని ఉపయోగిస్తారు, ఇక్కడ వాటి తేలికైన మరియు అధిక-బలం లక్షణాలు బరువును తగ్గించడానికి మరియు పనితీరును మెరుగుపరచడంలో సహాయపడతాయి.
- న్యూ ఎనర్జీ: ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ కోసం ఉత్పత్తి పరికరాలలో (ఉదా., డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు) మరియు లిథియం-అయాన్ బ్యాటరీ తయారీలో ఖచ్చితమైన నిర్మాణ భాగాలుగా వర్తించబడుతుంది.
అధిక-ఉష్ణోగ్రత పారిశ్రామిక ప్రాసెసింగ్
SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్లు 1600°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలవు, ఇవి వీటికి అనుకూలంగా ఉంటాయి:
- లోహశాస్త్రం, సిరామిక్స్ మరియు గాజు పరిశ్రమలు: అధిక-ఉష్ణోగ్రత మానిప్యులేటర్లు, సెట్టర్ ప్లేట్లు మరియు పుష్ ప్లేట్లలో ఉపయోగించబడుతుంది.
- అణుశక్తి: వాటి రేడియేషన్ నిరోధకత కారణంగా, అవి అణు రియాక్టర్లలోని కొన్ని భాగాలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.
వైద్య పరికరాలు
వైద్య రంగంలో, SiC సిరామిక్ ఫోర్క్ ఆర్మ్లను ప్రధానంగా వీటి కోసం ఉపయోగిస్తారు:
- వైద్య రోబోలు మరియు శస్త్రచికిత్సా పరికరాలు: వాటి జీవ అనుకూలత, తుప్పు నిరోధకత మరియు స్టెరిలైజేషన్ వాతావరణాలలో స్థిరత్వానికి విలువైనవి.
SiC పూత అవలోకనం
| సాధారణ లక్షణాలు | యూనిట్లు | విలువలు |
| నిర్మాణం |
| FCC β దశ |
| దిశానిర్దేశం | భిన్నం (%) | 111 ప్రాధాన్యత |
| బల్క్ సాంద్రత | గ్రా/సెం.మీ³ | 3.21 తెలుగు |
| కాఠిన్యం | విక్కర్స్ కాఠిన్యం | 2500 రూపాయలు |
| ఉష్ణ సామర్థ్యం | జ·కిలో-1 ·కిలో-1 | 640 తెలుగు in లో |
| ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6 కె-1 | 4.5 अगिराला |
| యంగ్ మాడ్యులస్ | Gpa (4pt వంపు, 1300℃) | 430 తెలుగు in లో |
| గ్రెయిన్ సైజు | μm | 2~10 |
| సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | ℃ ℃ అంటే | 2700 తెలుగు |
| ఫెలెక్సురల్ బలం | MPa (RT 4-పాయింట్) | 415 తెలుగు in లో |
| ఉష్ణ వాహకత | (వా/మి.మీ) | 300లు |
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ స్ట్రక్చరల్ పార్ట్స్ అవలోకనం
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ స్ట్రక్చరల్ భాగాలు సింటరింగ్ ద్వారా కలిసి బంధించబడిన సిలికాన్ కార్బైడ్ కణాల నుండి పొందబడతాయి. ఇవి ఆటోమోటివ్, యంత్రాలు, రసాయన, సెమీకండక్టర్, అంతరిక్ష సాంకేతికత, మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు శక్తి రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, ఈ పరిశ్రమలలోని వివిధ అనువర్తనాల్లో కీలక పాత్ర పోషిస్తున్నాయి. వాటి అసాధారణ లక్షణాల కారణంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ స్ట్రక్చరల్ భాగాలు అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం, తుప్పు మరియు దుస్తులు వంటి కఠినమైన పరిస్థితులకు అనువైన పదార్థంగా మారాయి, సవాలుతో కూడిన ఆపరేటింగ్ వాతావరణాలలో నమ్మకమైన పనితీరు మరియు దీర్ఘాయువును అందిస్తాయి.SiC సీల్ భాగాల అవలోకనం
SiC సీల్స్ అసాధారణమైన కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత (1600°C లేదా 2000°C వరకు ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోవడం) మరియు తుప్పు నిరోధకత కారణంగా కఠినమైన వాతావరణాలకు (అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం, తుప్పు మీడియా మరియు అధిక-వేగ దుస్తులు వంటివి) అనువైన ఎంపిక. వాటి అధిక ఉష్ణ వాహకత సమర్థవంతమైన ఉష్ణ వెదజల్లడాన్ని సులభతరం చేస్తుంది, అయితే వాటి తక్కువ ఘర్షణ గుణకం మరియు స్వీయ-కందెన లక్షణాలు తీవ్రమైన ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులలో సీలింగ్ విశ్వసనీయత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని మరింత నిర్ధారిస్తాయి. ఈ లక్షణాలు SiC సీల్స్ను పెట్రోకెమికల్స్, మైనింగ్, సెమీకండక్టర్ తయారీ, మురుగునీటి శుద్ధి మరియు శక్తి వంటి పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించుకుంటాయి, నిర్వహణ ఖర్చులను గణనీయంగా తగ్గిస్తాయి, డౌన్టైమ్ను తగ్గిస్తాయి మరియు పరికరాల కార్యాచరణ సామర్థ్యం మరియు భద్రతను పెంచుతాయి.
SiC సిరామిక్ ప్లేట్ల సంక్షిప్త వివరణ
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ ప్లేట్లు వాటి అసాధారణమైన కాఠిన్యం (9.5 వరకు మోహ్స్ కాఠిన్యం, వజ్రం తర్వాత రెండవది), అత్యుత్తమ ఉష్ణ వాహకత (సమర్థవంతమైన ఉష్ణ నిర్వహణ కోసం చాలా సిరామిక్లను మించిపోయింది) మరియు అద్భుతమైన రసాయన జడత్వం మరియు ఉష్ణ షాక్ నిరోధకత (బలమైన ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను తట్టుకోగలవు) కు ప్రసిద్ధి చెందాయి. ఈ లక్షణాలు తీవ్రమైన వాతావరణాలలో (ఉదా., అధిక ఉష్ణోగ్రత, రాపిడి మరియు తుప్పు) నిర్మాణ స్థిరత్వం మరియు నమ్మకమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి, అదే సమయంలో సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తాయి మరియు నిర్వహణ అవసరాలను తగ్గిస్తాయి.
SiC సిరామిక్ ప్లేట్లు అధిక పనితీరు గల రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి:
•అబ్రాసివ్లు మరియు గ్రైండింగ్ టూల్స్: గ్రైండింగ్ వీల్స్ మరియు పాలిషింగ్ టూల్స్ తయారీకి అల్ట్రా-హై కాఠిన్యాన్ని ఉపయోగించడం, రాపిడి వాతావరణంలో ఖచ్చితత్వం మరియు మన్నికను పెంచుతుంది.
• వక్రీభవన పదార్థాలు: ఫర్నేస్ లైనింగ్లు మరియు కిల్న్ భాగాలుగా పనిచేస్తాయి, ఉష్ణ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి మరియు నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గించడానికి 1600°C కంటే ఎక్కువ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహిస్తాయి.
• సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ: అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలకు (ఉదా., పవర్ డయోడ్లు మరియు RF యాంప్లిఫైయర్లు) సబ్స్ట్రేట్లుగా పనిచేస్తాయి, విశ్వసనీయత మరియు శక్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచడానికి అధిక-వోల్టేజ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత కార్యకలాపాలకు మద్దతు ఇస్తాయి.
•కాస్టింగ్ మరియు స్మెల్టింగ్: లోహ ప్రాసెసింగ్లో సాంప్రదాయ పదార్థాలను భర్తీ చేయడం ద్వారా సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను నిర్ధారించడం, లోహశోధన నాణ్యత మరియు ఖర్చు-ప్రభావాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC వేఫర్ బోట్ సారాంశం
XKH SiC సిరామిక్ పడవలు అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం, రసాయన జడత్వం, ఖచ్చితత్వ ఇంజనీరింగ్ మరియు ఆర్థిక సామర్థ్యాన్ని అందిస్తాయి, సెమీకండక్టర్ తయారీకి అధిక-పనితీరు గల క్యారియర్ పరిష్కారాన్ని అందిస్తాయి. అవి వేఫర్ నిర్వహణ భద్రత, శుభ్రత మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా పెంచుతాయి, అధునాతన వేఫర్ తయారీలో వాటిని అనివార్యమైన భాగాలుగా చేస్తాయి.
SiC సిరామిక్ పడవల అనువర్తనాలు:
SiC సిరామిక్ పడవలు ఫ్రంట్-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వాటిలో:
• నిక్షేపణ ప్రక్రియలు: LPCVD (తక్కువ-పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) మరియు PECVD (ప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) వంటివి.
•అధిక-ఉష్ణోగ్రత చికిత్సలు: థర్మల్ ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్, వ్యాప్తి మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్తో సహా.
• తడి & శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలు: వేఫర్ శుభ్రపరచడం మరియు రసాయన నిర్వహణ దశలు.
వాతావరణ మరియు వాక్యూమ్ ప్రక్రియ వాతావరణాలతో అనుకూలంగా ఉంటుంది,
కాలుష్య ప్రమాదాలను తగ్గించడానికి మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి ప్రయత్నిస్తున్న ఫ్యాబ్లకు అవి అనువైనవి.
SiC వేఫర్ బోట్ యొక్క పారామితులు:
| సాంకేతిక లక్షణాలు | ||||
| సూచిక | యూనిట్ | విలువ | ||
| మెటీరియల్ పేరు | ప్రతిచర్య సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ | ఒత్తిడి లేని సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ | పునఃస్ఫటికీకరించిన సిలికాన్ కార్బైడ్ | |
| కూర్పు | ఆర్బిఎస్ఐసి | ఎస్ఎస్ఐసి | ఆర్-సిఐసి | |
| బల్క్ డెన్సిటీ | గ్రా/సెం.మీ3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| ఫ్లెక్సురల్ బలం | MPa (kpsi) | 338(49) अनिका अनिका अनु | 380(55) अनुका | 80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
| సంపీడన బలం | MPa (kpsi) | 1120(158) తెలుగు | 3970(560) ద్వారా మరిన్ని | > 600 |
| కాఠిన్యం | నూప్ | 2700 తెలుగు | 2800 తెలుగు | / |
| దృఢత్వాన్ని దెబ్బతీస్తోంది | MPa m1/2 | 4.5 अगिराला | 4 | / |
| ఉష్ణ వాహకత | పశ్చిమ/పశ్చిమ | 95 | 120 తెలుగు | 23 |
| ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం | 10-6.1/°C | 5 | 4 | 4.7 समानिक समानी स्तु� |
| నిర్దిష్ట వేడి | జూల్/గ్రా 0k | 0.8 समानिक समानी | 0.67 తెలుగు in లో | / |
| గాలిలో గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత | ℃ ℃ అంటే | 1200 తెలుగు | 1500 అంటే ఏమిటి? | 1600 తెలుగు in లో |
| ఎలాస్టిక్ మాడ్యులస్ | జీపీఏ | 360 తెలుగు in లో | 410 తెలుగు | 240 తెలుగు |
SiC సెరామిక్స్ వివిధ కస్టమ్ కాంపోనెంట్స్ డిస్ప్లే
SiC సిరామిక్ మెంబ్రేన్
SiC సిరామిక్ పొర అనేది స్వచ్ఛమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ నుండి రూపొందించబడిన అధునాతన వడపోత పరిష్కారం, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ ప్రక్రియల ద్వారా రూపొందించబడిన బలమైన మూడు-పొరల నిర్మాణం (సపోర్ట్ లేయర్, ట్రాన్సిషన్ లేయర్ మరియు సెపరేషన్ మెంబ్రేన్)ను కలిగి ఉంటుంది. ఈ డిజైన్ అసాధారణమైన యాంత్రిక బలం, ఖచ్చితమైన రంధ్రాల పరిమాణ పంపిణీ మరియు అత్యుత్తమ మన్నికను నిర్ధారిస్తుంది. ఇది ద్రవాలను సమర్ధవంతంగా వేరు చేయడం, కేంద్రీకరించడం మరియు శుద్ధి చేయడం ద్వారా విభిన్న పారిశ్రామిక అనువర్తనాల్లో రాణిస్తుంది. నీరు మరియు మురుగునీటి శుద్ధి (సస్పెండ్ చేయబడిన ఘనపదార్థాలు, బ్యాక్టీరియా మరియు సేంద్రీయ కాలుష్య కారకాలను తొలగించడం), ఆహారం మరియు పానీయాల ప్రాసెసింగ్ (రసాలు, పాల మరియు పులియబెట్టిన ద్రవాలను స్పష్టం చేయడం మరియు కేంద్రీకరించడం), ఔషధ మరియు బయోటెక్నాలజీ కార్యకలాపాలు (బయోఫ్లూయిడ్లు మరియు ఇంటర్మీడియట్లను శుద్ధి చేయడం), రసాయన ప్రాసెసింగ్ (తినివేయు ద్రవాలు మరియు ఉత్ప్రేరకాలను ఫిల్టర్ చేయడం), మరియు చమురు మరియు గ్యాస్ అనువర్తనాలు (ఉత్పత్తి చేయబడిన నీరు మరియు కలుషిత తొలగింపును చికిత్స చేయడం) ముఖ్యమైన ఉపయోగాలు.
SiC పైప్స్
SiC (సిలికాన్ కార్బైడ్) గొట్టాలు సెమీకండక్టర్ ఫర్నేస్ సిస్టమ్స్ కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల సిరామిక్ భాగాలు, అధునాతన సింటరింగ్ పద్ధతుల ద్వారా అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన ఫైన్-గ్రెయిన్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ నుండి తయారు చేయబడతాయి. అవి అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం (1600°C కంటే ఎక్కువ తట్టుకోవడం) మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తాయి. వాటి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు అధిక యాంత్రిక బలం తీవ్ర ఉష్ణ సైక్లింగ్ కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి, ఉష్ణ ఒత్తిడి వైకల్యం మరియు ధరించడాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తాయి. SiC గొట్టాలు విస్తరణ కొలిమిలు, ఆక్సీకరణ కొలిమిలు మరియు LPCVD/PECVD వ్యవస్థలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులను వేఫర్ లోపాలను తగ్గించడానికి మరియు సన్నని-పొర నిక్షేపణ సజాతీయతను మెరుగుపరచడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. అదనంగా, SiC యొక్క దట్టమైన, నాన్-పోరస్ నిర్మాణం మరియు రసాయన జడత్వం ఆక్సిజన్, హైడ్రోజన్ మరియు అమ్మోనియా వంటి రియాక్టివ్ వాయువుల నుండి కోతను నిరోధించాయి, సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తాయి మరియు ప్రక్రియ శుభ్రతను నిర్ధారిస్తాయి. SiC గొట్టాలను పరిమాణం మరియు గోడ మందంలో అనుకూలీకరించవచ్చు, లామినార్ ప్రవాహాన్ని మరియు సమతుల్య ఉష్ణ ప్రొఫైల్లకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మృదువైన లోపలి ఉపరితలాలు మరియు అధిక సాంద్రతను సాధించే ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్తో. ఉపరితల పాలిషింగ్ లేదా పూత ఎంపికలు కణాల ఉత్పత్తిని మరింత తగ్గిస్తాయి మరియు తుప్పు నిరోధకతను పెంచుతాయి, ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయత కోసం సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీరుస్తాయి.
SiC సిరామిక్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్
SiC కాంటిలివర్ బ్లేడ్ల యొక్క మోనోలిథిక్ డిజైన్ యాంత్రిక దృఢత్వం మరియు ఉష్ణ ఏకరూపతను గణనీయంగా పెంచుతుంది, అదే సమయంలో మిశ్రమ పదార్థాలలో సాధారణంగా కనిపించే కీళ్ళు మరియు బలహీనమైన పాయింట్లను తొలగిస్తుంది. వాటి ఉపరితలం అద్దం ముగింపుకు దగ్గరగా ఖచ్చితత్వంతో పాలిష్ చేయబడింది, కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తుంది మరియు క్లీన్రూమ్ ప్రమాణాలను చేరుకుంటుంది. SiC యొక్క స్వాభావిక రసాయన జడత్వం రియాక్టివ్ వాతావరణాలలో (ఉదా., ఆక్సిజన్, ఆవిరి) అవుట్గ్యాసింగ్, తుప్పు మరియు ప్రక్రియ కాలుష్యాన్ని నిరోధిస్తుంది, వ్యాప్తి/ఆక్సీకరణ ప్రక్రియలలో స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది. వేగవంతమైన థర్మల్ సైక్లింగ్ ఉన్నప్పటికీ, SiC నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది, సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు నిర్వహణ డౌన్టైమ్ను తగ్గిస్తుంది. SiC యొక్క తేలికైన స్వభావం వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రతిస్పందనను అనుమతిస్తుంది, తాపన/శీతలీకరణ రేట్లను వేగవంతం చేస్తుంది మరియు ఉత్పాదకత మరియు శక్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. ఈ బ్లేడ్లు అనుకూలీకరించదగిన పరిమాణాలలో (100mm నుండి 300mm+ వేఫర్లకు అనుకూలంగా ఉంటాయి) అందుబాటులో ఉంటాయి మరియు వివిధ ఫర్నేస్ డిజైన్లకు అనుగుణంగా ఉంటాయి, ఫ్రంట్-ఎండ్ మరియు బ్యాక్-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో స్థిరమైన పనితీరును అందిస్తాయి.
అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్ పరిచయం
Al₂O₃ వాక్యూమ్ చక్లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలకమైన సాధనాలు, బహుళ ప్రక్రియలలో స్థిరమైన మరియు ఖచ్చితమైన మద్దతును అందిస్తాయి:•సన్నబడటం: వేఫర్ సన్నబడటం సమయంలో ఏకరీతి మద్దతును అందిస్తుంది, చిప్ వేడి వెదజల్లడం మరియు పరికర పనితీరును మెరుగుపరచడానికి అధిక-ఖచ్చితమైన ఉపరితల తగ్గింపును నిర్ధారిస్తుంది.
•డైసింగ్: వేఫర్ డైసింగ్ సమయంలో సురక్షితమైన శోషణను అందిస్తుంది, నష్టం ప్రమాదాలను తగ్గిస్తుంది మరియు వ్యక్తిగత చిప్లకు శుభ్రమైన కట్లను నిర్ధారిస్తుంది.
•శుభ్రపరచడం: దీని మృదువైన, ఏకరీతి శోషణ ఉపరితలం శుభ్రపరిచే ప్రక్రియల సమయంలో వేఫర్లకు నష్టం జరగకుండా ప్రభావవంతమైన కలుషిత తొలగింపును అనుమతిస్తుంది.
•రవాణా: వేఫర్ నిర్వహణ మరియు రవాణా సమయంలో నమ్మకమైన మరియు సురక్షితమైన మద్దతును అందిస్తుంది, నష్టం మరియు కాలుష్య ప్రమాదాలను తగ్గిస్తుంది.
1.యూనిఫాం మైక్రో-పోరస్ సిరామిక్ టెక్నాలజీ
•నానో-పౌడర్లను ఉపయోగించి సమానంగా పంపిణీ చేయబడిన మరియు పరస్పరం అనుసంధానించబడిన రంధ్రాలను సృష్టిస్తుంది, దీని ఫలితంగా అధిక సచ్ఛిద్రత మరియు స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన వేఫర్ మద్దతు కోసం ఏకరీతిగా దట్టమైన నిర్మాణం ఏర్పడుతుంది.
2.అసాధారణ పదార్థ లక్షణాలు
-అల్ట్రా-ప్యూర్ 99.99% అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడిన ఇది వీటిని ప్రదర్శిస్తుంది:
•ఉష్ణ లక్షణాలు: అధిక ఉష్ణ నిరోధకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ వాతావరణాలకు అనుకూలం.
•యాంత్రిక లక్షణాలు: అధిక బలం మరియు కాఠిన్యం మన్నిక, దుస్తులు నిరోధకత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.
•అదనపు ప్రయోజనాలు: అధిక విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు తుప్పు నిరోధకత, విభిన్న తయారీ పరిస్థితులకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.
3.సుపీరియర్ ఫ్లాట్నెస్ మరియు సమాంతరత•అధిక ఫ్లాట్నెస్ మరియు సమాంతరతతో ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ను నిర్ధారిస్తుంది, నష్ట ప్రమాదాలను తగ్గిస్తుంది మరియు స్థిరమైన ప్రాసెసింగ్ ఫలితాలను నిర్ధారిస్తుంది. దీని మంచి గాలి పారగమ్యత మరియు ఏకరీతి శోషణ శక్తి కార్యాచరణ విశ్వసనీయతను మరింత పెంచుతుంది.
Al₂O₃ వాక్యూమ్ చక్ అధునాతన మైక్రో-పోరస్ టెక్నాలజీ, అసాధారణమైన పదార్థ లక్షణాలు మరియు అధిక ఖచ్చితత్వాన్ని సమగ్రపరచడం ద్వారా కీలకమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు మద్దతు ఇస్తుంది, సన్నబడటం, డైసింగ్, శుభ్రపరచడం మరియు రవాణా దశలలో సామర్థ్యం, విశ్వసనీయత మరియు కాలుష్య నియంత్రణను నిర్ధారిస్తుంది.
అల్యూమినా రోబోట్ ఆర్మ్ & అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ బ్రీఫ్
అల్యూమినా (Al₂O₃) సిరామిక్ రోబోటిక్ ఆర్మ్స్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్కు కీలకమైన భాగాలు. అవి నేరుగా వేఫర్లను సంప్రదిస్తాయి మరియు వాక్యూమ్ లేదా అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితుల వంటి డిమాండ్ వాతావరణాలలో ఖచ్చితమైన బదిలీ మరియు స్థానానికి బాధ్యత వహిస్తాయి. వాటి ప్రధాన విలువ వేఫర్ భద్రతను నిర్ధారించడం, కాలుష్యాన్ని నివారించడం మరియు అసాధారణమైన పదార్థ లక్షణాల ద్వారా పరికరాల కార్యాచరణ సామర్థ్యం మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరచడం.
| ఫీచర్ డైమెన్షన్ | వివరణాత్మక వివరణ |
| యాంత్రిక లక్షణాలు | అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా (ఉదా. >99%) అధిక కాఠిన్యాన్ని (మోహ్స్ కాఠిన్యం 9 వరకు) మరియు వంగుట బలాన్ని (250-500 MPa వరకు) అందిస్తుంది, ఇది దుస్తులు నిరోధకత మరియు వైకల్య నివారణను నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
|
| విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ | గది ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత 10¹⁵ Ω·cm వరకు మరియు 15 kV/mm ఇన్సులేషన్ బలం ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ డిశ్చార్జ్ (ESD) ను సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది, సున్నితమైన వేఫర్లను విద్యుత్ జోక్యం మరియు నష్టం నుండి రక్షిస్తుంది.
|
| ఉష్ణ స్థిరత్వం | 2050°C వరకు ద్రవీభవన స్థానం సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలను (ఉదా. RTA, CVD) తట్టుకోగలదు. తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం వార్పింగ్ను తగ్గిస్తుంది మరియు వేడి కింద డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహిస్తుంది.
|
| రసాయన జడత్వం | చాలా ఆమ్లాలు, క్షారాలు, ప్రక్రియ వాయువులు మరియు శుభ్రపరిచే ఏజెంట్లకు జడత్వం, కణ కాలుష్యం లేదా లోహ అయాన్ విడుదలను నివారిస్తుంది. ఇది అల్ట్రా-క్లీన్ ఉత్పత్తి వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు వేఫర్ ఉపరితల కాలుష్యాన్ని నివారిస్తుంది.
|
| ఇతర ప్రయోజనాలు | పరిణతి చెందిన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ అధిక ఖర్చు-సమర్థతను అందిస్తుంది; ఉపరితలాలను తక్కువ కరుకుదనం వరకు ఖచ్చితత్వంతో పాలిష్ చేయవచ్చు, కణాల ఉత్పత్తి ప్రమాదాలను మరింత తగ్గిస్తుంది.
|
అల్యూమినా సిరామిక్ రోబోటిక్ ఆర్మ్లను ప్రధానంగా ఫ్రంట్-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఉపయోగిస్తారు, వాటిలో:
•వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు పొజిషనింగ్: వాక్యూమ్ లేదా హై-స్వచ్ఛత జడ వాయువు వాతావరణాలలో వేఫర్లను (ఉదా. 100mm నుండి 300mm+ పరిమాణాలు) సురక్షితంగా మరియు ఖచ్చితంగా బదిలీ చేసి, ఉంచడం, నష్టం మరియు కాలుష్య ప్రమాదాలను తగ్గించడం.
•అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలు: వేగవంతమైన థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA), రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటివి, ఇక్కడ అవి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరత్వాన్ని నిర్వహిస్తాయి, ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు దిగుబడిని నిర్ధారిస్తాయి.
• ఆటోమేటెడ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్స్: పరికరాల మధ్య వేఫర్ బదిలీని ఆటోమేట్ చేయడానికి, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచడానికి, ఎండ్ ఎఫెక్టర్లుగా వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ రోబోట్లలో విలీనం చేయబడింది.
ముగింపు
XKH కస్టమైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మరియు అల్యూమినా (Al₂O₃) సిరామిక్ భాగాల పరిశోధన మరియు అభివృద్ధిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, వీటిలో రోబోటిక్ చేతులు, కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్, వాక్యూమ్ చక్స్, వేఫర్ బోట్లు, ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు మరియు ఇతర అధిక-పనితీరు గల భాగాలు, సెమీకండక్టర్లను అందించడం, కొత్త శక్తి, ఏరోస్పేస్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిశ్రమలు ఉన్నాయి. అసాధారణమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, యాంత్రిక బలం, రసాయన జడత్వం మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి మేము ఖచ్చితమైన తయారీ, కఠినమైన నాణ్యత నియంత్రణ మరియు సాంకేతిక ఆవిష్కరణలకు కట్టుబడి ఉంటాము, అధునాతన సింటరింగ్ ప్రక్రియలను (ఉదా., పీడన రహిత సింటరింగ్, రియాక్షన్ సింటరింగ్) మరియు ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ పద్ధతులను (ఉదా., CNC గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్) ఉపయోగిస్తాము. మేము డ్రాయింగ్ల ఆధారంగా అనుకూలీకరణకు మద్దతు ఇస్తాము, నిర్దిష్ట క్లయింట్ అవసరాలను తీర్చడానికి కొలతలు, ఆకారాలు, ఉపరితల ముగింపులు మరియు మెటీరియల్ గ్రేడ్ల కోసం అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలను అందిస్తున్నాము. ప్రపంచ హై-ఎండ్ తయారీకి నమ్మకమైన మరియు సమర్థవంతమైన సిరామిక్ భాగాలను అందించడానికి, మా కస్టమర్ల కోసం పరికరాల పనితీరు మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము.
సంబంధిత ఉత్పత్తులు
-
డయా3mm SiC సిరామిక్ బాల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్...
-
ఇన్ఫ్రారెడ్ ఆప్ట్ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రిజం / మిర్రర్...
-
సిలికాన్ కార్బైడ్ బీమ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ బీమ్ రీడెఫ్...
-
అల్యూమినా సిరామిక్ ఆర్మ్ కస్టమ్ సిరామిక్ రోబోటిక్ ఆర్మ్
-
పాలీక్రిస్టలైన్ Al2O3 అల్యూమినా సిరామిక్స్ అనుకూలీకరించబడింది...
-
SiC సిరామిక్ చక్ ట్రే సిరామిక్ సక్షన్ కప్పులు ప్రీ...