అధిక-వాల్యూమ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ కోసం 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
12 అంగుళాల నీలమణి పొర పరిచయం
12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్ పెద్ద-ప్రాంతం, అధిక-త్రూపుట్ సెమీకండక్టర్ మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ తయారీకి పెరుగుతున్న డిమాండ్ను తీర్చడానికి రూపొందించబడింది. పరికర నిర్మాణాలు స్కేల్ అవుతూనే ఉంటాయి మరియు ఉత్పత్తి లైన్లు పెద్ద వేఫర్ ఫార్మాట్ల వైపు కదులుతున్నప్పుడు, అల్ట్రా-లార్జ్ వ్యాసం కలిగిన నీలమణి సబ్స్ట్రేట్లు ఉత్పాదకత, దిగుబడి ఆప్టిమైజేషన్ మరియు వ్యయ నియంత్రణలో స్పష్టమైన ప్రయోజనాలను అందిస్తాయి.
అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సింగిల్-క్రిస్టల్ Al₂O₃ నుండి తయారు చేయబడిన మా 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్లు అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు ఉపరితల నాణ్యతను మిళితం చేస్తాయి. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్రిస్టల్ పెరుగుదల మరియు ఖచ్చితమైన వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ ద్వారా, ఈ సబ్స్ట్రేట్లు అధునాతన LED, GaN మరియు ప్రత్యేక సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్లకు నమ్మకమైన పనితీరును అందిస్తాయి.

మెటీరియల్ లక్షణాలు
నీలమణి (సింగిల్-స్ఫటిక అల్యూమినియం ఆక్సైడ్, Al₂O₃) దాని అత్యుత్తమ భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాలకు ప్రసిద్ధి చెందింది. 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్లు నీలమణి పదార్థం యొక్క అన్ని ప్రయోజనాలను వారసత్వంగా పొందుతాయి, అదే సమయంలో చాలా పెద్ద ఉపయోగించదగిన ఉపరితల వైశాల్యాన్ని అందిస్తాయి.
ముఖ్యమైన పదార్థ లక్షణాలు:
-
చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత
-
అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు అధిక ద్రవీభవన స్థానం
-
ఆమ్లాలు మరియు క్షారాలకు అధిక రసాయన నిరోధకత
-
UV నుండి IR తరంగదైర్ఘ్యాల వరకు అధిక ఆప్టికల్ పారదర్శకత
-
అద్భుతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ లక్షణాలు
ఈ లక్షణాలు 12 అంగుళాల నీలమణి పొరలను కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ వాతావరణాలకు మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా చేస్తాయి.
తయారీ విధానం
12 అంగుళాల నీలమణి పొరల ఉత్పత్తికి అధునాతన క్రిస్టల్ పెరుగుదల మరియు అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ ప్రాసెసింగ్ సాంకేతికతలు అవసరం. సాధారణ తయారీ ప్రక్రియలో ఇవి ఉంటాయి:
-
సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్
అధిక-స్వచ్ఛత గల నీలమణి స్ఫటికాలను KY లేదా ఇతర పెద్ద-వ్యాసం కలిగిన స్ఫటిక పెరుగుదల సాంకేతికతలు వంటి అధునాతన పద్ధతులను ఉపయోగించి పెంచుతారు, ఇది ఏకరీతి స్ఫటిక ధోరణి మరియు తక్కువ అంతర్గత ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది. -
క్రిస్టల్ షేపింగ్ మరియు స్లైసింగ్
నీలమణి కడ్డీని ఖచ్చితంగా ఆకృతి చేసి, 12 అంగుళాల పొరలుగా ముక్కలు చేసి, ఉపరితల నష్టాన్ని తగ్గించడానికి అధిక-ఖచ్చితత్వ కట్టింగ్ పరికరాలను ఉపయోగిస్తారు. -
లాపింగ్ మరియు పాలిషింగ్
అద్భుతమైన ఉపరితల కరుకుదనం, చదును మరియు మందం ఏకరూపతను సాధించడానికి బహుళ-దశల ల్యాపింగ్ మరియు రసాయన యాంత్రిక పాలిషింగ్ (CMP) ప్రక్రియలను వర్తింపజేస్తారు. -
శుభ్రపరచడం మరియు తనిఖీ
ప్రతి 12 అంగుళాల నీలమణి పొరను ఉపరితల నాణ్యత, TTV, విల్లు, వార్ప్ మరియు లోపాల విశ్లేషణతో సహా క్షుణ్ణంగా శుభ్రపరచడం మరియు కఠినమైన తనిఖీకి గురి చేస్తారు.
అప్లికేషన్లు
12 అంగుళాల నీలమణి పొరలు అధునాతన మరియు అభివృద్ధి చెందుతున్న సాంకేతిక పరిజ్ఞానాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వాటిలో:
-
అధిక శక్తి మరియు అధిక ప్రకాశం కలిగిన LED సబ్స్ట్రేట్లు
-
GaN-ఆధారిత విద్యుత్ పరికరాలు మరియు RF పరికరాలు
-
సెమీకండక్టర్ పరికరాల క్యారియర్ మరియు ఇన్సులేటింగ్ సబ్స్ట్రేట్లు
-
ఆప్టికల్ విండోలు మరియు పెద్ద-ప్రాంత ఆప్టికల్ భాగాలు
-
అధునాతన సెమీకండక్టర్ ప్యాకేజింగ్ మరియు ప్రత్యేక ప్రక్రియ వాహకాలు
పెద్ద వ్యాసం సామూహిక ఉత్పత్తిలో అధిక నిర్గమాంశ మరియు మెరుగైన వ్యయ సామర్థ్యాన్ని అనుమతిస్తుంది.
12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్ల ప్రయోజనాలు
-
ప్రతి వేఫర్కు అధిక పరికర అవుట్పుట్ కోసం పెద్ద ఉపయోగించగల ప్రాంతం
-
ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరచడం
-
అధిక-పరిమాణ ఉత్పత్తిలో పరికరానికి తగ్గిన ఖర్చు
-
పెద్ద-పరిమాణ నిర్వహణకు అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం
-
విభిన్న అనువర్తనాల కోసం అనుకూలీకరించదగిన స్పెసిఫికేషన్లు

అనుకూలీకరణ ఎంపికలు
మేము 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్ల కోసం సౌకర్యవంతమైన అనుకూలీకరణను అందిస్తున్నాము, వీటిలో:
-
క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్ (సి-ప్లేన్, ఎ-ప్లేన్, ఆర్-ప్లేన్, మొదలైనవి)
-
మందం మరియు వ్యాసం సహనం
-
సింగిల్-సైడ్ లేదా డబుల్-సైడ్ పాలిషింగ్
-
ఎడ్జ్ ప్రొఫైల్ మరియు చాంఫర్ డిజైన్
-
ఉపరితల కరుకుదనం మరియు చదును అవసరాలు
| పరామితి | స్పెసిఫికేషన్ | గమనికలు |
|---|---|---|
| వేఫర్ వ్యాసం | 12 అంగుళాలు (300 మిమీ) | ప్రామాణిక పెద్ద-వ్యాసం గల వేఫర్ |
| మెటీరియల్ | సింగిల్-స్ఫటిక నీలమణి (Al₂O₃) | అధిక స్వచ్ఛత, ఎలక్ట్రానిక్/ఆప్టికల్ గ్రేడ్ |
| క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్ | సి-ప్లేన్ (0001), ఎ-ప్లేన్ (11-20), ఆర్-ప్లేన్ (1-102) | ఐచ్ఛిక ధోరణులు అందుబాటులో ఉన్నాయి |
| మందం | 430–500 μm | అభ్యర్థనపై కస్టమ్ మందం అందుబాటులో ఉంది |
| మందం సహనం | ±10 μm | అధునాతన పరికరాలకు గట్టి సహనం |
| మొత్తం మందం వైవిధ్యం (TTV) | ≤10 μm | వేఫర్ అంతటా ఏకరీతి ప్రాసెసింగ్ను నిర్ధారిస్తుంది |
| విల్లు | ≤50 μm | మొత్తం వేఫర్ పై కొలుస్తారు |
| వార్ప్ | ≤50 μm | మొత్తం వేఫర్ పై కొలుస్తారు |
| ఉపరితల ముగింపు | సింగిల్-సైడ్ పాలిష్డ్ (SSP) / డబుల్-సైడ్ పాలిష్డ్ (DSP) | అధిక ఆప్టికల్ నాణ్యత ఉపరితలం |
| ఉపరితల కరుకుదనం (Ra) | ≤0.5 nm (పాలిష్ చేయబడింది) | ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు అణు-స్థాయి సున్నితత్వం |
| ఎడ్జ్ ప్రొఫైల్ | చాంఫర్ / గుండ్రని అంచు | నిర్వహణ సమయంలో చిప్పింగ్ నివారించడానికి |
| దిశానిర్దేశం ఖచ్చితత్వం | ±0.5° | సరైన ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది |
| లోపం సాంద్రత | <10 సెం.మీ⁻² | ఆప్టికల్ తనిఖీ ద్వారా కొలుస్తారు |
| చదునుగా ఉండటం | ≤2 μm / 100 మి.మీ. | ఏకరీతి లితోగ్రఫీ మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది |
| శుభ్రత | 100వ తరగతి – 1000వ తరగతి | క్లీన్రూమ్ అనుకూలమైనది |
| ఆప్టికల్ ట్రాన్స్మిషన్ | >85% (UV–IR) | తరంగదైర్ఘ్యం మరియు మందం మీద ఆధారపడి ఉంటుంది |
12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్ తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు
Q1: 12 అంగుళాల నీలమణి పొర యొక్క ప్రామాణిక మందం ఎంత?
A: ప్రామాణిక మందం 430 μm నుండి 500 μm వరకు ఉంటుంది.కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా కస్టమ్ మందాలను కూడా ఉత్పత్తి చేయవచ్చు.
Q2: 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్లకు ఏ క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్లు అందుబాటులో ఉన్నాయి?
A: మేము C-ప్లేన్ (0001), A-ప్లేన్ (11-20), మరియు R-ప్లేన్ (1-102) ఓరియంటేషన్లను అందిస్తున్నాము. నిర్దిష్ట పరికర అవసరాల ఆధారంగా ఇతర ఓరియంటేషన్లను అనుకూలీకరించవచ్చు.
Q3: వేఫర్ యొక్క మొత్తం మందం వైవిధ్యం (TTV) ఎంత?
A: మా 12 అంగుళాల నీలమణి వేఫర్లు సాధారణంగా TTV ≤10 μm కలిగి ఉంటాయి, అధిక-నాణ్యత పరికర తయారీ కోసం మొత్తం వేఫర్ ఉపరితలం అంతటా ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తాయి.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్లో రాణిస్తున్నాము.










