SiC నీలమణి Si GAAs వేఫర్ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ చక్
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ చక్ యొక్క అవలోకనం
దిసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ చక్సెమీకండక్టర్ తనిఖీ, వేఫర్ తయారీ మరియు బంధన అనువర్తనాల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల ప్లాట్ఫారమ్. అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలతో నిర్మించబడింది—సహాసింటర్డ్ SiC (SSiC), ప్రతిచర్య-బంధిత SiC (RSiC), సిలికాన్ నైట్రైడ్, మరియుఅల్యూమినియం నైట్రైడ్— ఇది అందిస్తుందిఅధిక దృఢత్వం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం.
ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్ మరియు అత్యాధునిక పాలిషింగ్తో, చక్ అందిస్తుందిసబ్-మైక్రాన్ ఫ్లాట్నెస్, మిర్రర్-నాణ్యత ఉపరితలాలు మరియు దీర్ఘకాలిక డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం, ఇది కీలకమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ఆదర్శవంతమైన పరిష్కారంగా మారుతుంది.
కీలక ప్రయోజనాలు
-
అధిక ఖచ్చితత్వం
లోపల ఫ్లాట్నెస్ నియంత్రించబడుతుంది0.3–0.5 μm, వేఫర్ స్థిరత్వం మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. -
మిర్రర్ పాలిషింగ్
సాధిస్తుందిరా 0.02 μmఉపరితల కరుకుదనం, వేఫర్ గీతలు మరియు కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం-అతి శుభ్రమైన వాతావరణాలకు సరైనది. -
అల్ట్రా-తేలికైనది
క్వార్ట్జ్ లేదా మెటల్ సబ్స్ట్రేట్ల కంటే బలంగా ఉన్నప్పటికీ తేలికైనది, చలన నియంత్రణ, ప్రతిస్పందన మరియు స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. -
అధిక దృఢత్వం
ఎక్సెప్షనల్ యంగ్ యొక్క మాడ్యులస్ భారీ లోడ్లు మరియు హై-స్పీడ్ ఆపరేషన్ కింద డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీని నిర్ధారిస్తుంది. -
తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ
CTE సిలికాన్ వేఫర్లకు దగ్గరగా సరిపోతుంది, ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ విశ్వసనీయతను పెంచుతుంది. -
అత్యుత్తమ దుస్తులు నిరోధకత
దీర్ఘకాలిక, అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ వాడకంలో కూడా విపరీతమైన కాఠిన్యం ఫ్లాట్నెస్ మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని కాపాడుతుంది.
తయారీ విధానం
-
ముడి పదార్థాల తయారీ
నియంత్రిత కణ పరిమాణం మరియు అతి తక్కువ మలినాలతో అధిక-స్వచ్ఛత గల SiC పౌడర్లు. -
ఫార్మింగ్ & సింటరింగ్
వంటి సాంకేతికతలుపీడన రహిత సింటరింగ్ (SSiC) or ప్రతిచర్య బంధం (RSiC)దట్టమైన, ఏకరీతి సిరామిక్ ఉపరితలాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. -
ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్
CNC గ్రైండింగ్, లేజర్ ట్రిమ్మింగ్ మరియు అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్ ±0.01 mm టాలరెన్స్ మరియు ≤3 μm సమాంతరతను సాధిస్తాయి. -
ఉపరితల చికిత్స
Ra 0.02 μm కు బహుళ-దశల గ్రైండింగ్ మరియు పాలిషింగ్; తుప్పు నిరోధకత లేదా అనుకూలీకరించిన ఘర్షణ లక్షణాల కోసం ఐచ్ఛిక పూతలు అందుబాటులో ఉన్నాయి. -
తనిఖీ & నాణ్యత నియంత్రణ
ఇంటర్ఫెరోమీటర్లు మరియు కరుకుదనం పరీక్షించేవారు సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా ఉన్నాయో లేదో ధృవీకరిస్తారు.
సాంకేతిక లక్షణాలు
| పరామితి | విలువ | యూనిట్ |
|---|---|---|
| చదునుగా ఉండటం | ≤0.5 | μm |
| వేఫర్ పరిమాణాలు | 6'', 8'', 12'' (కస్టమ్ అందుబాటులో ఉంది) | — |
| ఉపరితల రకం | పిన్ రకం / రింగ్ రకం | — |
| పిన్ ఎత్తు | 0.05–0.2 | mm |
| కనిష్ట పిన్ వ్యాసం | ϕ0.2 | mm |
| కనిష్ట పిన్ అంతరం | 3 | mm |
| కనీస సీల్ రింగ్ వెడల్పు | 0.7 మాగ్నెటిక్స్ | mm |
| ఉపరితల కరుకుదనం | రా 0.02 | μm |
| మందం సహనం | ±0.01 | mm |
| వ్యాసం సహనం | ±0.01 | mm |
| సమాంతరత సహనం | ≤3 | μm |
ప్రధాన అప్లికేషన్లు
-
సెమీకండక్టర్ వేఫర్ తనిఖీ పరికరాలు
-
వేఫర్ తయారీ మరియు బదిలీ వ్యవస్థలు
-
వేఫర్ బాండింగ్ & ప్యాకేజింగ్ సాధనాలు
-
అధునాతన ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీ
-
అల్ట్రా-ఫ్లాట్, అల్ట్రా-క్లీన్ ఉపరితలాలు అవసరమయ్యే ప్రెసిషన్ పరికరాలు
ప్రశ్నోత్తరాలు – సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ చక్
Q1: SiC సిరామిక్ చక్లు క్వార్ట్జ్ లేదా మెటల్ చక్లతో ఎలా పోలుస్తాయి?
A1: SiC చక్లు తేలికైనవి, దృఢమైనవి మరియు సిలికాన్ వేఫర్లకు దగ్గరగా CTE కలిగి ఉంటాయి, ఉష్ణ వైకల్యాన్ని తగ్గిస్తాయి. అవి ఉన్నతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఎక్కువ జీవితకాలం కూడా అందిస్తాయి.
Q2: ఎలాంటి ఫ్లాట్నెస్ సాధించవచ్చు?
A2: లోపల నియంత్రించబడుతుంది0.3–0.5 μm, సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లను తీరుస్తుంది.
Q3: ఉపరితలం వేఫర్లను గీకుతుందా?
A3: కాదు—అద్దం పాలిష్ చేయబడిందిరా 0.02 μm, గీతలు లేని హ్యాండ్లింగ్ మరియు తగ్గిన కణ ఉత్పత్తిని నిర్ధారిస్తుంది.
Q4: ఏ వేఫర్ పరిమాణాలకు మద్దతు ఉంది?
A4: ప్రామాణిక పరిమాణాలు6'', 8'', మరియు 12'', అనుకూలీకరణ అందుబాటులో ఉంది.
Q5: ఉష్ణ నిరోధకత ఎలా ఉంది?
A5: SiC సిరామిక్స్ థర్మల్ సైక్లింగ్ కింద కనిష్ట వైకల్యంతో అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత పనితీరును అందిస్తాయి.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్లో రాణిస్తున్నాము.









