3 అంగుళాల అధిక స్వచ్ఛత (అన్డోప్ చేయబడింది) సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్లు సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ సిక్ సబ్స్ట్రేట్లు (HPSl)
లక్షణాలు
1. భౌతిక మరియు నిర్మాణ లక్షణాలు
●మెటీరియల్ రకం: అధిక స్వచ్ఛత (అన్డోప్డ్) సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)
●వ్యాసం: 3 అంగుళాలు (76.2 మిమీ)
●మందం: 0.33-0.5 మిమీ, అప్లికేషన్ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూలీకరించదగినది.
●క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్: షట్కోణ లాటిస్తో 4H-SiC పాలీటైప్, అధిక ఎలక్ట్రాన్ మొబిలిటీ మరియు థర్మల్ స్టెబిలిటీకి ప్రసిద్ధి.
●ధోరణి:
oStandard: [0001] (C-ప్లేన్), విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలకు అనుకూలం.
ఐచ్ఛికం: పరికర లేయర్ల మెరుగైన ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల కోసం ఆఫ్-యాక్సిస్ (4° లేదా 8° వంపు).
●చదును: మొత్తం మందం వైవిధ్యం (TTV) ●ఉపరితల నాణ్యత:
oLow-defect డెన్సిటీకి (<10/cm² మైక్రోపైప్ డెన్సిటీ) పాలిష్ చేయబడింది. 2. ఎలక్ట్రికల్ ప్రాపర్టీస్ ●రెసిస్టివిటీ: >109^99 Ω·cm, ఉద్దేశపూర్వక డోపాంట్ల తొలగింపు ద్వారా నిర్వహించబడుతుంది.
●విద్యుద్వాహక శక్తి: కనిష్ట విద్యుద్వాహక నష్టాలతో అధిక వోల్టేజ్ సహనం, అధిక-శక్తి అనువర్తనాలకు అనువైనది.
●థర్మల్ కండక్టివిటీ: 3.5-4.9 W/cm·K, అధిక-పనితీరు గల పరికరాలలో ప్రభావవంతమైన వేడి వెదజల్లడాన్ని అనుమతిస్తుంది.
3. థర్మల్ మరియు మెకానికల్ లక్షణాలు
●వైడ్ బ్యాండ్గ్యాప్: 3.26 eV, అధిక వోల్టేజ్, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక రేడియేషన్ పరిస్థితులలో సహాయక చర్య.
●కాఠిన్యం: మొహ్స్ స్కేల్ 9, ప్రాసెసింగ్ సమయంలో మెకానికల్ దుస్తులకు వ్యతిరేకంగా పటిష్టతను నిర్ధారిస్తుంది.
●థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, ఉష్ణోగ్రత వైవిధ్యాలలో డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
పరామితి | ఉత్పత్తి గ్రేడ్ | పరిశోధన గ్రేడ్ | డమ్మీ గ్రేడ్ | యూనిట్ |
గ్రేడ్ | ఉత్పత్తి గ్రేడ్ | పరిశోధన గ్రేడ్ | డమ్మీ గ్రేడ్ | |
వ్యాసం | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
మందం | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
వేఫర్ ఓరియంటేషన్ | ఆన్-యాక్సిస్: <0001> ± 0.5° | ఆన్-యాక్సిస్: <0001> ± 2.0° | ఆన్-యాక్సిస్: <0001> ± 2.0° | డిగ్రీ |
మైక్రోపైప్ డెన్సిటీ (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
ఎలక్ట్రికల్ రెసిస్టివిటీ | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω· సెం.మీ |
డోపాంట్ | అన్డోప్ చేయబడింది | అన్డోప్ చేయబడింది | అన్డోప్ చేయబడింది | |
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | డిగ్రీ |
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
సెకండరీ ఫ్లాట్ పొడవు | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
సెకండరీ ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ± 5.0° నుండి 90° CW | ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ± 5.0° నుండి 90° CW | ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ± 5.0° నుండి 90° CW | డిగ్రీ |
ఎడ్జ్ మినహాయింపు | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/బో/వార్ప్ | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5 / 15 / ± 40 / 45 | µm |
ఉపరితల కరుకుదనం | Si-ముఖం: CMP, C-ముఖం: పాలిష్ | Si-ముఖం: CMP, C-ముఖం: పాలిష్ | Si-ముఖం: CMP, C-ముఖం: పాలిష్ | |
పగుళ్లు (అధిక-తీవ్రత కాంతి) | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | |
హెక్స్ ప్లేట్లు (అధిక-తీవ్రత కాంతి) | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం 10% | % |
పాలీటైప్ ప్రాంతాలు (అధిక-తీవ్రత కాంతి) | సంచిత ప్రాంతం 5% | సంచిత ప్రాంతం 20% | సంచిత ప్రాంతం 30% | % |
గీతలు (అధిక-తీవ్రత కాంతి) | ≤ 5 గీతలు, సంచిత పొడవు ≤ 150 | ≤ 10 గీతలు, సంచిత పొడవు ≤ 200 | ≤ 10 గీతలు, సంచిత పొడవు ≤ 200 | mm |
ఎడ్జ్ చిప్పింగ్ | ఏదీ లేదు ≥ 0.5 mm వెడల్పు/లోతు | 2 అనుమతించబడింది ≤ 1 mm వెడల్పు/లోతు | 5 అనుమతించబడింది ≤ 5 mm వెడల్పు/లోతు | mm |
ఉపరితల కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
అప్లికేషన్లు
1. పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్
HPSI SiC సబ్స్ట్రేట్ల యొక్క విస్తృత బ్యాండ్గ్యాప్ మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత వాటిని తీవ్రమైన పరిస్థితులలో పనిచేసే పవర్ పరికరాలకు అనువైనవిగా చేస్తాయి, అవి:
●అధిక-వోల్టేజ్ పరికరాలు: సమర్థవంతమైన శక్తి మార్పిడి కోసం MOSFETలు, IGBTలు మరియు షాట్కీ బారియర్ డయోడ్లు (SBDలు)తో సహా.
●పునరుత్పాదక శక్తి వ్యవస్థలు: సోలార్ ఇన్వర్టర్లు మరియు విండ్ టర్బైన్ కంట్రోలర్లు వంటివి.
●ఎలక్ట్రిక్ వాహనాలు (EVలు): సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి మరియు పరిమాణాన్ని తగ్గించడానికి ఇన్వర్టర్లు, ఛార్జర్లు మరియు పవర్ట్రెయిన్ సిస్టమ్లలో ఉపయోగిస్తారు.
2. RF మరియు మైక్రోవేవ్ అప్లికేషన్స్
HPSI పొరల యొక్క అధిక రెసిస్టివిటీ మరియు తక్కువ విద్యుద్వాహక నష్టాలు రేడియో-ఫ్రీక్వెన్సీ (RF) మరియు మైక్రోవేవ్ సిస్టమ్లకు అవసరం, వీటిలో:
●టెలికమ్యూనికేషన్ ఇన్ఫ్రాస్ట్రక్చర్: 5G నెట్వర్క్లు మరియు శాటిలైట్ కమ్యూనికేషన్ల కోసం బేస్ స్టేషన్లు.
●ఏరోస్పేస్ మరియు డిఫెన్స్: రాడార్ సిస్టమ్స్, ఫేజ్డ్-అరే యాంటెన్నాలు మరియు ఏవియానిక్స్ భాగాలు.
3. ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్
4H-SiC యొక్క పారదర్శకత మరియు విస్తృత బ్యాండ్గ్యాప్ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలలో దాని వినియోగాన్ని అనుమతిస్తుంది, అవి:
●UV ఫోటోడెటెక్టర్లు: పర్యావరణ పర్యవేక్షణ మరియు వైద్య విశ్లేషణల కోసం.
●హై-పవర్ LEDలు: సాలిడ్-స్టేట్ లైటింగ్ సిస్టమ్లకు సపోర్టింగ్.
●లేజర్ డయోడ్లు: పారిశ్రామిక మరియు వైద్య అనువర్తనాల కోసం.
4. పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి
HPSI SiC సబ్స్ట్రేట్లు అకడమిక్ మరియు ఇండస్ట్రియల్ R&D ల్యాబ్లలో అధునాతన మెటీరియల్ ప్రాపర్టీస్ మరియు డివైజ్ ఫ్యాబ్రికేషన్ కోసం విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటితో సహా:
●ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ గ్రోత్: లోపం తగ్గింపు మరియు లేయర్ ఆప్టిమైజేషన్పై అధ్యయనాలు.
●క్యారియర్ మొబిలిటీ స్టడీస్: అధిక స్వచ్ఛత పదార్థాలలో ఎలక్ట్రాన్ మరియు హోల్ రవాణాపై పరిశోధన.
●ప్రోటోటైపింగ్: నవల పరికరాలు మరియు సర్క్యూట్ల ప్రారంభ అభివృద్ధి.
ప్రయోజనాలు
ఉన్నతమైన నాణ్యత:
అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ లోపం సాంద్రత అధునాతన అనువర్తనాలకు నమ్మదగిన వేదికను అందిస్తాయి.
ఉష్ణ స్థిరత్వం:
అద్భుతమైన వేడి వెదజల్లే లక్షణాలు అధిక శక్తి మరియు ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో పరికరాలు సమర్థవంతంగా పనిచేయడానికి అనుమతిస్తాయి.
విస్తృత అనుకూలత:
అందుబాటులో ఉన్న దిశలు మరియు అనుకూల మందం ఎంపికలు వివిధ పరికర అవసరాలకు అనుకూలతను నిర్ధారిస్తాయి.
మన్నిక:
అసాధారణమైన కాఠిన్యం మరియు నిర్మాణ స్థిరత్వం ప్రాసెసింగ్ మరియు ఆపరేషన్ సమయంలో దుస్తులు మరియు వైకల్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.
బహుముఖ ప్రజ్ఞ:
పునరుత్పాదక శక్తి నుండి ఏరోస్పేస్ మరియు టెలికమ్యూనికేషన్స్ వరకు అనేక రకాల పరిశ్రమలకు అనుకూలం.
తీర్మానం
3-అంగుళాల హై ప్యూరిటీ సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర అధిక-పవర్, హై-ఫ్రీక్వెన్సీ మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల కోసం సబ్స్ట్రేట్ టెక్నాలజీ యొక్క పరాకాష్టను సూచిస్తుంది. అద్భుతమైన థర్మల్, ఎలక్ట్రికల్ మరియు మెకానికల్ లక్షణాల కలయిక సవాలు వాతావరణంలో నమ్మకమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది. పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు RF సిస్టమ్స్ నుండి ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు అధునాతన R&D వరకు, ఈ HPSI సబ్స్ట్రేట్లు రేపటి ఆవిష్కరణలకు పునాదిని అందిస్తాయి.
మరింత సమాచారం కోసం లేదా ఆర్డర్ చేయడానికి, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించండి. మీ అవసరాలకు అనుగుణంగా మార్గదర్శకత్వం మరియు అనుకూలీకరణ ఎంపికలను అందించడానికి మా సాంకేతిక బృందం అందుబాటులో ఉంది.