4 అంగుళాల SiC వేఫర్‌లు 6H సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు ప్రైమ్, రీసెర్చ్ మరియు డమ్మీ గ్రేడ్
ఉత్పత్తి వివరణ
| గ్రేడ్ | జీరో MPD ప్రొడక్షన్ గ్రేడ్ (Z గ్రేడ్) | ప్రామాణిక ఉత్పత్తి గ్రేడ్ (పి గ్రేడ్) | డమ్మీ గ్రేడ్ (D గ్రేడ్) | ||||||||
| వ్యాసం | 99.5 మిమీ~100.0 మిమీ | ||||||||||
| 4H-SI తెలుగు in లో | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | |||||||||
| వేఫర్ ఓరియంటేషన్ |
ఆఫ్ అక్షం: 4.0° వైపు< 1120 > ±0.5° 4H-N కోసం, ఆన్ అక్షం: <0001> 4H-SI కోసం ±0.5° | ||||||||||
| 4H-SI తెలుగు in లో | ≤1 సెం.మీ.-2 | ≤5 సెం.మీ.-2 | ≤15 సెం.మీ.-2 | ||||||||
| 4H-SI తెలుగు in లో | ≥1E9 Ω·సెం.మీ. | ≥1E5 Ω·సెం.మీ. | |||||||||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | {10-10} ±5.0° | ||||||||||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 32.5 మిమీ±2.0 మిమీ | ||||||||||
| ద్వితీయ ఫ్లాట్ పొడవు | 18.0 మిమీ±2.0 మిమీ | ||||||||||
| ద్వితీయ ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | సిలికాన్ ఫేస్ అప్: 90° CW. ప్రైమ్ ఫ్లాట్ ±5.0° నుండి. | ||||||||||
| అంచు మినహాయింపు | 3 మిమీ | ||||||||||
| LTV/TTV/బో/వార్ప్ | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
| కరుకుదనం | సి ముఖం | పోలిష్ | రా≤1 ఎన్ఎమ్ | ||||||||
| సి ముఖం | సిఎంపి | రా≤0.2 ఎన్ఎమ్ | రా≤0.5 ఎన్ఎమ్ | ||||||||
| అధిక తీవ్రత కాంతి వల్ల అంచు పగుళ్లు | ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు ≤ 10 మిమీ, సింగిల్ పొడవు≤2 మిమీ | |||||||||
| హై ఇంటెన్సిటీ లైట్ ద్వారా హెక్స్ ప్లేట్లు | సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% | సంచిత ప్రాంతం ≤0.1% | |||||||||
| అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా పాలిటైప్ ప్రాంతాలు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం≤3% | |||||||||
| విజువల్ కార్బన్ చేరికలు | సంచిత ప్రాంతం ≤0.05% | సంచిత ప్రాంతం ≤3% | |||||||||
| అధిక తీవ్రత కాంతి ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల గీతలు | ఏదీ లేదు | సంచిత పొడవు≤1＊వేఫర్ వ్యాసం | |||||||||
| ఎడ్జ్ చిప్స్ హై బై ఇంటెన్సిటీ లైట్ | వెడల్పు మరియు లోతు ≥0.2 మిమీ కంటే తక్కువ ఉండకూడదు. | 5 అనుమతించబడ్డాయి, ఒక్కొక్కటి ≤1 మి.మీ. | |||||||||
| అధిక తీవ్రత ద్వారా సిలికాన్ ఉపరితల కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | ||||||||||
| ప్యాకేజింగ్ | మల్టీ-వేఫర్ క్యాసెట్ లేదా సింగిల్ వేఫర్ కంటైనర్ | ||||||||||
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం
సంబంధిత ఉత్పత్తులు
మీ సందేశాన్ని ఇక్కడ వ్రాసి మాకు పంపండి.
