MOS లేదా SBD ఉత్పత్తి పరిశోధన మరియు డమ్మీ గ్రేడ్ కోసం 6 అంగుళాల 150mm సిలికాన్ కార్బైడ్ SiC వేఫర్లు 4H-N రకం
అప్లికేషన్ ఫీల్డ్లు
6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్స్ట్రేట్ బహుళ పరిశ్రమలలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. మొదట, ఇది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో పవర్ ట్రాన్సిస్టర్లు, ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు మరియు పవర్ మాడ్యూల్స్ వంటి అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీకి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. దీని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మెరుగైన ఉష్ణ వెదజల్లడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, ఫలితంగా మెరుగైన సామర్థ్యం మరియు విశ్వసనీయత ఏర్పడుతుంది. రెండవది, కొత్త పదార్థాలు మరియు పరికరాల అభివృద్ధికి పరిశోధన రంగాలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్లు అవసరం. అదనంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ LEDలు మరియు లేజర్ డయోడ్ల తయారీతో సహా ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్ రంగంలో విస్తృతమైన అనువర్తనాలను కనుగొంటుంది.
వస్తువు వివరాలు
6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్స్ట్రేట్ 6 అంగుళాల వ్యాసం (సుమారు 152.4 మిమీ) కలిగి ఉంటుంది. ఉపరితల కరుకుదనం Ra < 0.5 nm, మరియు మందం 600 ± 25 μm. కస్టమర్ అవసరాల ఆధారంగా సబ్స్ట్రేట్ను N-రకం లేదా P-రకం వాహకతతో అనుకూలీకరించవచ్చు. అంతేకాకుండా, ఇది అసాధారణమైన యాంత్రిక స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, ఒత్తిడి మరియు కంపనాలను తట్టుకోగలదు.
వ్యాసం | 150±2.0మిమీ(6అంగుళాలు) | ||||
మందం | 350 μm±25μm | ||||
దిశానిర్దేశం | అక్షం మీద: <0001>±0.5° | ఆఫ్ యాక్సిస్: 4.0° 1120±0.5° వైపు | |||
పాలీటైప్ | 4H | ||||
రెసిస్టివిటీ(Ω·సెం.మీ) | 4H-ఎన్ | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6హెచ్-ఎస్ఐ | >1E5 | ||||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | {10-10}±5.0° | ||||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు (మిమీ) | 47.5 మిమీ±2.5 మిమీ | ||||
అంచు | చాంఫర్ | ||||
TTV/బో /వార్ప్ (ఉమ్) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM ఫ్రంట్ (సై-ఫేస్) | పోలిష్ Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
ఎల్టివి | ≤3μm(10మిమీ*10మిమీ) | ≤5μm(10మిమీ*10మిమీ) | ≤10μm(10మిమీ*10మిమీ) | ||
టీటీవీ | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
నారింజ తొక్క/గుంటలు/పగుళ్లు/కాలుష్యం/మరకలు/చారలు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ||
ఇండెంట్లు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
6-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్స్ట్రేట్ అనేది సెమీకండక్టర్, పరిశోధన మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించే అధిక-పనితీరు గల పదార్థం. ఇది అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, యాంత్రిక స్థిరత్వం మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను అందిస్తుంది, ఇది అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీకి మరియు కొత్త మెటీరియల్ పరిశోధనకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. విభిన్న కస్టమర్ డిమాండ్లను తీర్చడానికి మేము వివిధ స్పెసిఫికేషన్లు మరియు అనుకూలీకరణ ఎంపికలను అందిస్తాము.సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ల గురించి మరిన్ని వివరాల కోసం మమ్మల్ని సంప్రదించండి!
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం

