నీలమణి SiC Si కోసం అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్
వివరణాత్మక రేఖాచిత్రం


అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క ఉత్పత్తి అవలోకనం

అయాన్ బీమ్ ఫిగరింగ్ మరియు పాలిషింగ్ మెషిన్ అయాన్ స్పట్టరింగ్ సూత్రంపై ఆధారపడి ఉంటుంది. అధిక-వాక్యూమ్ చాంబర్ లోపల, ఒక అయాన్ మూలం ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది అధిక-శక్తి అయాన్ బీమ్గా వేగవంతం అవుతుంది. ఈ బీమ్ ఆప్టికల్ భాగం యొక్క ఉపరితలంపై బాంబు దాడి చేస్తుంది, అల్ట్రా-ఖచ్చితమైన ఉపరితల దిద్దుబాటు మరియు ముగింపును సాధించడానికి అణు స్కేల్ వద్ద పదార్థాన్ని తొలగిస్తుంది.
నాన్-కాంటాక్ట్ ప్రక్రియగా, అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ యాంత్రిక ఒత్తిడిని తొలగిస్తుంది మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని నివారిస్తుంది, ఇది ఖగోళ శాస్త్రం, అంతరిక్షం, సెమీకండక్టర్లు మరియు అధునాతన పరిశోధన అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించే అధిక-ఖచ్చితమైన ఆప్టిక్స్ తయారీకి అనువైనదిగా చేస్తుంది.
అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క పని సూత్రం
అయాన్ జనరేషన్
జడ వాయువు (ఉదా. ఆర్గాన్) వాక్యూమ్ చాంబర్లోకి ప్రవేశపెట్టబడుతుంది మరియు ప్లాస్మాను ఏర్పరచడానికి విద్యుత్ ఉత్సర్గ ద్వారా అయనీకరణం చేయబడుతుంది.
త్వరణం & పుంజం నిర్మాణం
అయాన్లు అనేక వందల లేదా వేల ఎలక్ట్రాన్ వోల్ట్లకు (eV) త్వరణం చెందుతాయి మరియు స్థిరమైన, కేంద్రీకృత పుంజం బిందువుగా ఆకృతి చేయబడతాయి.
మెటీరియల్ తొలగింపు
రసాయన ప్రతిచర్యలను ప్రారంభించకుండానే అయాన్ పుంజం ఉపరితలం నుండి అణువులను భౌతికంగా చిమ్ముతుంది.
ఎర్రర్ డిటెక్షన్ & పాత్ ప్లానింగ్
ఉపరితల ఫిగర్ విచలనాలను ఇంటర్ఫెరోమెట్రీతో కొలుస్తారు. నివాస సమయాలను నిర్ణయించడానికి మరియు ఆప్టిమైజ్ చేసిన సాధన మార్గాలను రూపొందించడానికి తొలగింపు విధులు వర్తించబడతాయి.
క్లోజ్డ్-లూప్ కరెక్షన్
RMS/PV ఖచ్చితత్వ లక్ష్యాలను సాధించే వరకు ప్రాసెసింగ్ మరియు కొలత యొక్క పునరావృత చక్రాలు కొనసాగుతాయి.
అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు
సార్వత్రిక ఉపరితల అనుకూలత– చదునైన, గోళాకార, ఆస్ఫెరికల్ మరియు ఫ్రీఫార్మ్ ఉపరితలాలను ప్రాసెస్ చేస్తుంది
అల్ట్రా-స్టేబుల్ రిమూవల్ రేట్– సబ్-నానోమీటర్ ఫిగర్ కరెక్షన్ను ప్రారంభిస్తుంది
నష్టం లేని ప్రాసెసింగ్- ఉపరితల లోపాలు లేదా నిర్మాణ మార్పులు లేవు
స్థిరమైన పనితీరు- వివిధ రకాల కాఠిన్యం ఉన్న పదార్థాలపై సమానంగా పనిచేస్తుంది
తక్కువ/మధ్యస్థ ఫ్రీక్వెన్సీ దిద్దుబాటు- మిడ్/హై-ఫ్రీక్వెన్సీ ఆర్టిఫ్యాక్ట్లను ఉత్పత్తి చేయకుండా లోపాలను తొలగిస్తుంది.
తక్కువ నిర్వహణ అవసరం- తక్కువ సమయం పనిచేయకపోవడంతో దీర్ఘకాలం నిరంతర ఆపరేషన్.
అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రధాన సాంకేతిక లక్షణాలు
అంశం | స్పెసిఫికేషన్ |
ప్రాసెసింగ్ పద్ధతి | అధిక-వాక్యూమ్ వాతావరణంలో అయాన్ స్పట్టరింగ్ |
ప్రాసెసింగ్ రకం | నాన్-కాంటాక్ట్ సర్ఫేస్ ఫిగరింగ్ & పాలిషింగ్ |
గరిష్ట వర్క్పీస్ పరిమాణం | Φ4000 మిమీ |
మోషన్ అక్షాలు | 3-అక్షం / 5-అక్షం |
తొలగింపు స్థిరత్వం | ≥95% |
ఉపరితల ఖచ్చితత్వం | PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (సాధారణ RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
ఫ్రీక్వెన్సీ కరెక్షన్ సామర్థ్యం | మధ్య/అధిక పౌనఃపున్య లోపాలను ప్రవేశపెట్టకుండా తక్కువ-మధ్యస్థ పౌనఃపున్య లోపాలను తొలగిస్తుంది. |
నిరంతర ఆపరేషన్ | వాక్యూమ్ నిర్వహణ లేకుండా 3–5 వారాలు |
నిర్వహణ ఖర్చు | తక్కువ |
అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యాలు
మద్దతు ఉన్న ఉపరితల రకాలు
సరళమైనది: చదునైన, గోళాకార, ప్రిజం
కాంప్లెక్స్: సిమెట్రిక్/అసమాన ఆస్పియర్, ఆఫ్-యాక్సిస్ ఆస్పియర్, స్థూపాకార
స్పెషల్: అల్ట్రా-థిన్ ఆప్టిక్స్, స్లాట్ ఆప్టిక్స్, హెమిస్పెరికల్ ఆప్టిక్స్, కన్ఫార్మల్ ఆప్టిక్స్, ఫేజ్ ప్లేట్లు, ఫ్రీఫార్మ్ సర్ఫేస్లు
మద్దతు ఉన్న పదార్థాలు
ఆప్టికల్ గ్లాస్: క్వార్ట్జ్, మైక్రోక్రిస్టలైన్, K9, మొదలైనవి.
పరారుణ పదార్థాలు: సిలికాన్, జెర్మేనియం, మొదలైనవి.
లోహాలు: అల్యూమినియం, స్టెయిన్లెస్ స్టీల్, టైటానియం మిశ్రమం మొదలైనవి.
స్ఫటికాలు: YAG, సింగిల్-స్ఫటిక సిలికాన్ కార్బైడ్, మొదలైనవి.
గట్టి/పెళుసు పదార్థాలు: సిలికాన్ కార్బైడ్, మొదలైనవి.
ఉపరితల నాణ్యత / ఖచ్చితత్వం
పివి < 10 ఎన్ఎమ్
RMS ≤ 0.5 ఎన్ఎమ్


అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రాసెసింగ్ కేస్ స్టడీస్
కేసు 1 – స్టాండర్డ్ ఫ్లాట్ మిర్రర్
వర్క్పీస్: D630 mm క్వార్ట్జ్ ఫ్లాట్
ఫలితం: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm
కేసు 2 – ఎక్స్-రే రిఫ్లెక్టివ్ మిర్రర్
వర్క్పీస్: 150 × 30 మిమీ సిలికాన్ ఫ్లాట్
ఫలితం: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; వాలు 0.13 µrad
కేస్ 3 – ఆఫ్-యాక్సిస్ మిర్రర్
వర్క్పీస్: D326 mm ఆఫ్-యాక్సిస్ గ్రౌండ్ మిర్రర్
ఫలితం: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm
క్వార్ట్జ్ గ్లాసెస్ యొక్క తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు
తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు - అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్
Q1: అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ అంటే ఏమిటి?
ఎ1:అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ అనేది ఒక నాన్-కాంటాక్ట్ ప్రక్రియ, ఇది వర్క్పీస్ ఉపరితలం నుండి పదార్థాన్ని తొలగించడానికి అయాన్ల (ఆర్గాన్ అయాన్లు వంటివి) కేంద్రీకృత పుంజాన్ని ఉపయోగిస్తుంది. అయాన్లు వేగవంతం చేయబడతాయి మరియు ఉపరితలం వైపు మళ్ళించబడతాయి, దీనివల్ల అణు-స్థాయి పదార్థ తొలగింపు జరుగుతుంది, ఫలితంగా అల్ట్రా-స్మూత్ ఫినిషింగ్లు జరుగుతాయి. ఈ ప్రక్రియ యాంత్రిక ఒత్తిడి మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని తొలగిస్తుంది, ఇది ఖచ్చితమైన ఆప్టికల్ భాగాలకు అనువైనదిగా చేస్తుంది.
Q2: అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ ఏ రకమైన ఉపరితలాలను ప్రాసెస్ చేయగలదు?
ఎ2:దిఅయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్సాధారణ ఆప్టికల్ భాగాలతో సహా వివిధ రకాల ఉపరితలాలను ప్రాసెస్ చేయగలదుఫ్లాట్లు, గోళాలు మరియు ప్రిజమ్లు, అలాగే సంక్లిష్ట జ్యామితి వంటిఅక్షం వెలుపల అక్షం, మరియుఫ్రీఫార్మ్ ఉపరితలాలు. ఇది ముఖ్యంగా ఆప్టికల్ గ్లాస్, ఇన్ఫ్రారెడ్ ఆప్టిక్స్, లోహాలు మరియు గట్టి/పెళుసుగా ఉండే పదార్థాలపై ప్రభావవంతంగా ఉంటుంది.
Q3: అయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్ ఏ పదార్థాలతో పని చేయగలదు?
ఎ3:దిఅయాన్ బీమ్ పాలిషింగ్ మెషిన్విస్తృత శ్రేణి పదార్థాలను పాలిష్ చేయగలదు, వాటిలో:
-
ఆప్టికల్ గ్లాస్: క్వార్ట్జ్, మైక్రోక్రిస్టలైన్, K9, మొదలైనవి.
-
పరారుణ పదార్థాలు: సిలికాన్, జెర్మేనియం, మొదలైనవి.
-
లోహాలు: అల్యూమినియం, స్టెయిన్లెస్ స్టీల్, టైటానియం మిశ్రమం మొదలైనవి.
-
క్రిస్టల్ పదార్థాలు: YAG, సింగిల్-స్ఫటిక సిలికాన్ కార్బైడ్, మొదలైనవి.
-
ఇతర గట్టి/పెళుసు పదార్థాలు: సిలికాన్ కార్బైడ్, మొదలైనవి.
మా గురించి
XKH ప్రత్యేక ఆప్టికల్ గ్లాస్ మరియు కొత్త క్రిస్టల్ పదార్థాల హై-టెక్ అభివృద్ధి, ఉత్పత్తి మరియు అమ్మకాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ఆప్టికల్ ఎలక్ట్రానిక్స్, కన్స్యూమర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు మిలిటరీకి సేవలు అందిస్తాయి. మేము సఫైర్ ఆప్టికల్ భాగాలు, మొబైల్ ఫోన్ లెన్స్ కవర్లు, సెరామిక్స్, LT, సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC, క్వార్ట్జ్ మరియు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ వేఫర్లను అందిస్తున్నాము. నైపుణ్యం కలిగిన నైపుణ్యం మరియు అత్యాధునిక పరికరాలతో, మేము ప్రముఖ ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మెటీరియల్ హై-టెక్ ఎంటర్ప్రైజ్గా ఉండాలనే లక్ష్యంతో ప్రామాణికం కాని ఉత్పత్తి ప్రాసెసింగ్లో రాణిస్తున్నాము.
