ప్రస్తుతం, మా కంపెనీ 8inchN రకం SiC వేఫర్‌ల యొక్క చిన్న బ్యాచ్‌ని సరఫరా చేయడం కొనసాగించవచ్చు, మీకు నమూనా అవసరాలు ఉంటే, దయచేసి నన్ను సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.రవాణా చేయడానికి మా వద్ద కొన్ని నమూనా పొరలు సిద్ధంగా ఉన్నాయి.
సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్స్ రంగంలో, కంపెనీ పెద్ద సైజు SiC స్ఫటికాల పరిశోధన మరియు అభివృద్ధిలో ఒక ప్రధాన పురోగతిని సాధించింది.అనేక రౌండ్ల వ్యాసం విస్తరణ తర్వాత దాని స్వంత విత్తన స్ఫటికాలను ఉపయోగించడం ద్వారా, కంపెనీ 8-అంగుళాల N-రకం SiC స్ఫటికాలను విజయవంతంగా పెంచింది, ఇది వృద్ధి ప్రక్రియలో అసమాన ఉష్ణోగ్రత క్షేత్రం, క్రిస్టల్ క్రాకింగ్ మరియు గ్యాస్ ఫేజ్ ముడి పదార్థాల పంపిణీ వంటి క్లిష్ట సమస్యలను పరిష్కరిస్తుంది. 8-అంగుళాల SIC స్ఫటికాలు, మరియు పెద్ద సైజు SIC స్ఫటికాలు మరియు స్వయంప్రతిపత్త మరియు నియంత్రించదగిన ప్రాసెసింగ్ సాంకేతికత వృద్ధిని వేగవంతం చేస్తుంది.SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్‌స్ట్రేట్ పరిశ్రమలో కంపెనీ యొక్క ప్రధాన పోటీతత్వాన్ని బాగా పెంచండి.అదే సమయంలో, కంపెనీ పెద్ద సైజు సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ తయారీ ప్రయోగాత్మక లైన్ యొక్క సాంకేతికత మరియు ప్రక్రియను చేరడం చురుకుగా ప్రోత్సహిస్తుంది, అప్‌స్ట్రీమ్ మరియు డౌన్‌స్ట్రీమ్ ఫీల్డ్‌లలో సాంకేతిక మార్పిడి మరియు పారిశ్రామిక సహకారాన్ని బలోపేతం చేస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి పనితీరును నిరంతరం పునరావృతం చేయడానికి వినియోగదారులతో సహకరిస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాల పారిశ్రామిక అప్లికేషన్ యొక్క వేగాన్ని ప్రోత్సహిస్తుంది.
| 8అంగుళాల N-రకం SiC DSP స్పెక్స్ | |||||
| సంఖ్య | అంశం | యూనిట్ | ఉత్పత్తి | పరిశోధన | డమ్మీ |
| 1. పారామితులు | |||||
| 1.1 | పాలీటైప్ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ఉపరితల ధోరణి | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2. విద్యుత్ పరామితి | |||||
| 2.1 | డోపాంట్ | -- | n-రకం నైట్రోజన్ | n-రకం నైట్రోజన్ | n-రకం నైట్రోజన్ |
| 2.2 | రెసిస్టివిటీ | ఓం · సెం.మీ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3. మెకానికల్ పరామితి | |||||
| 3.1 | వ్యాసం | mm | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 |
| 3.2 | మందం | μm | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
| 3.3 | నాచ్ ఓరియంటేషన్ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | నాచ్ లోతు | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10మిమీ*10మిమీ) | ≤5(10మిమీ*10మిమీ) | ≤10(10మిమీ*10మిమీ) |
| 3.6 | టిటివి | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | విల్లు | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | వార్ప్ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | రా≤0.2 | రా≤0.2 | రా≤0.2 |
| 4. నిర్మాణం | |||||
| 4.1 | మైక్రోపైప్ సాంద్రత | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | మెటల్ కంటెంట్ | అణువులు/సెం2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. సానుకూల నాణ్యత | |||||
| 5.1 | ముందు | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ఉపరితల ముగింపు | -- | Si-ఫేస్ CMP | Si-ఫేస్ CMP | Si-ఫేస్ CMP |
| 5.3 | కణం | ea/wafer | ≤100(పరిమాణం≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | స్క్రాచ్ | ea/wafer | ≤5,మొత్తం పొడవు≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | అంచు చిప్స్ / ఇండెంట్లు / పగుళ్లు / మరకలు / కాలుష్యం | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | NA |
| 5.6 | పాలీటైప్ ప్రాంతాలు | -- | ఏదీ లేదు | ప్రాంతం ≤10% | ప్రాంతం ≤30% |
| 5.7 | ముందు మార్కింగ్ | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు |
| 6. వెనుక నాణ్యత | |||||
| 6.1 | తిరిగి ముగింపు | -- | సి-ఫేస్ ఎంపీ | సి-ఫేస్ ఎంపీ | సి-ఫేస్ ఎంపీ |
| 6.2 | స్క్రాచ్ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | వెనుక లోపాలు అంచు చిప్స్/ఇండెంట్లు | -- | ఏదీ లేదు | ఏదీ లేదు | NA |
| 6.4 | వెనుక కరుకుదనం | nm | రా≤5 | రా≤5 | రా≤5 |
| 6.5 | వెనుక మార్కింగ్ | -- | గీత | గీత | గీత |
| 7. అంచు | |||||
| 7.1 | అంచు | -- | చాంఫెర్ | చాంఫెర్ | చాంఫెర్ |
| 8. ప్యాకేజీ | |||||
| 8.1 | ప్యాకేజింగ్ | -- | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది ప్యాకేజింగ్ |
| 8.2 | ప్యాకేజింగ్ | -- | బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | బహుళ పొర క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ |
పోస్ట్ సమయం: ఏప్రిల్-18-2023